Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте www.za4et.net.ru

Компьютеры, Программирование Компьютеры, Программирование     Компьютерные сети Компьютерные сети

Методы получения тонких пленок

Брелок LED "Лампочка" классическая.
Брелок работает в двух автоматических режимах и горит в разных цветовых гаммах. Материал: металл, акрил. Для работы нужны 3 батарейки
131 руб
Раздел: Металлические брелоки
Чашка "Неваляшка".
Ваши дети во время приёма пищи вечно проливают что-то на ковёр и пол, пачкают руки, а Вы потом тратите уйму времени на выведение пятен с
222 руб
Раздел: Тарелки
Фонарь садовый «Тюльпан».
Дачные фонари на солнечных батареях были сделаны с использованием технологии аккумулирования солнечной энергии. Уличные светильники для
106 руб
Раздел: Уличное освещение

СодержаниеВведение 1 Физические вакуумные методы 1.1 Термовакуумное напыление 1.2 Ионно-плазменные методы получения тонких пленок 1.2.1 Катодное распыление 1.2.2 Трехэлектродная система распыления 1.2.3 Высокочастотное распыление 1.2.4 Реактивное распыление 1.2.5 Магнетронное распыление 1.3 Ионно-лучевые методы получения тонких пленок 1.4 Молекулярно-лучевая эпитаксия 1.5 Лазерное распыление 2 Химические вакуумные методы 2.1 Реактивное катодное распыление 2.2 Газофазная МОС-гидридная эпитаксия с использованием металлоорганических соединений 2.3 Жидкофазная эпитаксия 3 Химические вневакуумные методы 3.1 Электрохимическое осаждение покрытий 3.2 Химическая металлизация Заключение Список литературы Введение Один из современных способов модификаций изделий машиностроения и приборостроения - уменьшение геометрических размеров их элементов. Многие из них включают в себя тонкопленочные покрытия, характеристики которых можно менять, варьируя их толщину. По функциональному назначению такие покрытия связаны практически со всеми разделами физики: механикой, электричеством, магнетизмом, оптикой, а в качестве материалов для них используется большинство элементов Периодической системы. В отраслях промышленности, производящих электронные, в том числе микроэлектронные устройства, используют разнообразные технологические процессы, в которых исходные материалы и полуфабрикаты преобразуются в сложные изделия, выполняющие различные радио-, опто- или акустоэлектрические функции. При изготовлении всех видов полупроводниковых приборов и ИМС в том или ином объеме используется технологический процесс нанесения тонких пленок в вакууме – тонкопленочная технология. В данной работе представлены основные методы получения тонких пленок, их схемы работы, а так же достоинства и недостатки этих методов. Физические вакуумные методы Физические методы осаждения различных материалов хорошо известны и достаточно подробно обсуждаются в научной литературе. Можно сказать, что все эти технологии возможны для получения оксидных пленок. Ниже приведен краткий обзор этих методов получения пленок в вакууме. Термовакуумное напыление Термовакуумный метод получения тонких пленок основан на нагреве в вакууме вещества до его активного испарения и конденсации испаренных атомов на поверхности подложки. К достоинствам метода осаждения тонких пленок термическим испарением относятся высокая чистота осаждаемого материала (процесс проводится при высоком и сверхвысоком вакууме), универсальность (наносят пленки металлов, сплавов, полупроводников, диэлектриков) и относительная простота реализации. Ограничениями метода являются нерегулируемая скорость осаждения, низкая, непостоянная и нерегулируемая энергия осаждаемых частиц. Сущность метода термовакуумного напыления можно пояснить с помощью упрощенной схемы установки, представленной на рис.1. Рис. 1 Схема установки термовакуумного испарения Вещество, подлежащее напылению, помещают в устройство нагрева (испаритель) 1, где оно при достаточно высокой температуре интенсивно испаряется. В вакууме, который создается внутри камеры специальными насосами, молекулы испаренного вещества свободно и быстро распространяются в окружающее пространство, достигая, в частности, поверхности подложки 2.

Если температура подложки не превышает критического значения, происходит конденсация вещества на подложке, то есть рост пленки. На начальном этапе испарения во избежание загрязнения пленки за счет примесей, адсорбированных поверхностью испаряемого вещества, а также для вывода испарителя на рабочую температуру используется заслонка 4, временно перекрывающая поток вещества на подложку. В зависимости от функционального назначения пленки в процессе осаждения контролируется время напыления, толщина, электрическое сопротивления или какой-либо другой параметр. По достижении заданного значения параметра заслонка вновь перекрывает поток вещества и процесс роста пленки прекращается. Нагрев подложки с помощью нагревателя 3 перед напылением способствует десорбции адсорбированных на ее поверхности атомов, а в процессе осаждения создает условия для улучшения структуры растущей пленки. Непрерывно работающая система откачки поддерживает вакуум порядка 10-4 Па. Разогрев испаряемого вещества до температур, при которых оно интенсивно испаряется, осуществляют электронным или лазерным лучом, СВЧ-излучением, с помощью резистивных подогревателей (путем непосредственного пропускания электрического тока через образец из нужного вещества или теплопередачей от нагретой спирали). В целом метод отличается большим разнообразием как по способам разогрева испаряемого вещества, так и по конструкциям испарителей. Если требуется получить пленку из многокомпонентного вещества, то используют несколько испарителей. Поскольку скорости испарения у различных компонентов разные, то обеспечить воспроизводимость химического состава получаемых многокомпонентных пленок довольно сложно. Поэтому метод термовакуумного напыления используют в основном для чистых металлов. Весь процесс термовакуумного напыления можно разбить на три стадии: испарение атомов вещества, перенос их к подложке и конденсация. Испарение вещества с поверхности имеет место, вообще говоря, при любой температуре, отличной от абсолютного нуля. Если допустить, что процесс испарения молекул (атомов) вещества протекает в камере, стенки которой достаточно сильно нагреты и не конденсируют пар (отражают молекулы), то процесс испарения становится равновесным, то есть число молекул, покидающих поверхность вещества, равно числу молекул, возвращающихся в вещество. Давление пара, соответствующее равновесному состоянию системы, называется давлением насыщенного пара, или его упругостью. Практика показывает, что процесс осаждения пленок на подложку происходит с приемлемой для производства скоростью, если давление насыщенного пара примерно равно 1,3 Па. Температура вещества, при которой ри = 1,3 Па (ри – давление насыщенного пара при температуре испарения), называют условной температурой Тусл. Для некоторых веществ условная температура выше температуры плавления Тпл, для некоторых – ниже. Если Тусл &l ; Тпл, то это вещество можно интенсивно испарять из твердой фазы (возгонкой). В противном случае испарение осуществляют из жидкой фазы. Зависимости давления насыщенного пара от температуры для всех веществ, используемых для напыления тонких пленок, представлены в различных справочниках в форме подробных таблиц или графиков.

Вторая стадия процесса напыления тонких пленок – перенос молекул вещества от испарителя к подложке. Если обеспечить прямолинейное и направленное движение молекул к подложке, то можно получить высокий коэффициент использования материала, что особенно важно при осаждении дорогостоящих материалов. При прочих равных условиях это повышает также и скорость роста пленки на подложке. По мере испарения вещества интенсивность потока и диаграмма направленности для большинства типов испарителей постепенно меняются. В этих условиях последовательная обработка неподвижных подложек приводит к разбросу в значениях параметров пленки в пределах партии, обработанной за один вакуумный цикл. Для повышения воспроизводимости подложки устанавливаются на вращающийся диск-карусель. При вращении карусели подложки поочередно и многократно проходят над испарителем, за счет чего нивелируются условия осаждения для каждой подложки и устраняется влияние временной нестабильности испарителя. Третьей стадией процесса напыления тонких пленок является стадия конденсации атомов и молекул вещества на поверхности подложки. Эту стадию условно можно разбить на два этапа: начальный этап – от момента адсорбции первых атомов (молекул) на подложку до момента образования сплошного покрытия, и завершающий этап, на котором происходит гомогенный рост пленки до заданной толщины. 1.2 Ионно-плазменные методы получения тонких пленок Ионно-плазменные методы получили широкое распространение в технологии электронных средств благодаря своей универсальности и ряду преимуществ по сравнению с другими технологическими методами. Универсальность определяется тем, что с их помощью можно осуществлять различные технологические операции: формировать тонкие пленки на поверхности подложки, травить поверхность подложки с целью создания на ней заданного рисунка интегральной микросхемы, осуществлять очистку поверхности. К преимуществу ионно-плазменных методов относится высокая управляемость процессом; возможность получения пленок тугоплавких материалов, а также химических соединений и сплавов заданного состава; лучшая адгезия пленок к поверхности и так далее. Суть методов ионно-плазменного напыления тонких пленок заключается в обработке поверхности мишени из нужного вещества ионами и выбивании атомов (молекул) из мишени. Энергия ионов при этом составляет величину порядка сотен и тысяч электрон-вольт. Образующийся атомный поток направляется на подложку, где происходит конденсация вещества и формируется пленка. Различают ионно-лучевое распыление, осуществляемое бомбардировкой мишени пучком ускоренных ионов, сформированным в автономном ионном источнике, и собственно ионно-плазменное распыление, при котором мишень является одним из электродов в газоразрядной камере и ее бомбардировка осуществляется ионами, образующимися в результате газового разряда. Для распыления мишени используются ионы инертных газов (обычно аргон высокой чистоты). Источником ионов служит либо самостоятельный тлеющий разряд, либо плазма несамостоятельного разряда (дугового или высокочастотного). В настоящее время в производстве применяют различные процессы распыления, отличающиеся: - характером питающего напряжения (постоянное, переменное, высокочастотное); - способом возбуждения и поддержания разряда (автоэлектронная эмиссия, термоэмиссия, магнитное поле, электрическое высокочастотное поле); - количеством электродов в газоразрядной камере (двухэлектродные, трехэлектродные и многоэлектродные системы).

На обратном явлении — преобразовании в З. пучка света от источника, находящегося в фокусе, в параллельный пучок — основано действие прожектора. З., применяемые в сочетании с линзами, образуют обширную группу зеркально-линзовых систем. В лазерах З. применяют в качестве элементов оптических резонаторов. Отсутствие хроматических аберраций обусловило использование З. в монохроматорах (особенно инфракрасного излучения) и многих др. приборах.   Помимо измерительных и оптических приборов, З. применяют и в др. областях техники, например в гелиоконцентраторах, гелиоустановках и установках для зонной плавки (действие этих устройств основано на свойстве вогнутых З. концентрировать в небольшом объёме энергию излучения). В медицине из З. наиболее распространён лобный рефлектор — вогнутое З. с отверстием посередине, предназначенное для направления узкого пучка света внутрь глаза, уха, носа, глотки и гортани. З. многообразных конструкций и форм применяют также для исследований в стоматологии, хирургии, гинекологии и т.д.   Лит.: Слюсарев Г. Г., Методы расчёта оптических систем, М. — Л., 1937; Зоннефельд А., Вогнутые зеркала, пер. с нем., М. — Л., 1935; Максутов Д. Д., Астрономическая оптика, М. — Л., 1946; Винокуров В. М., Химические методы серебрения зеркал, М., 1950; Тудоровский А. И., Теория оптических приборов, ч. 2, М. — Л., 1952; Розенберг Г. В., Оптика тонкослойных покрытий, М., 1958; Данилин Б. С., Вакуумное нанесение тонких пленок, М., 1967; Глюк И., И все это делают зеркала, пер. с англ., М., 1970.   И. И. Борисова, В. Н. Рождественский. Настенное зеркало

1. Способы нанесения тонких пленок

2. Исследование методов наблюдения доменов в тонких ферромагнитных пленках

3. Диффузионные процессы в тонких слоях пленок при изготовление БИС методом толстопленочной технологии

4. Обзор методов получения пленок и их свойства

5. Метилцеллюлоза и карбоксиметилцеллюлоза: свойства растворов и пленок

6. Эффект возрастания критического тока в YBaCuO пленках
7. Обзор методов получения пленок и их свойств
8. Пленка на поверхности суши

9. Возможные факторы влияния на характеристики термоусадочных пленок

10. Деформационные способы получения полимерных пленок

11. Получение пленок из газовой фазы

12. Влияние испарения оксидной пленки и теплообмена излучением на высокотемпературный тепломассообмен и кинетику окисления вольфрамового проводника

13. Фотопроцессы, индуцированные лазерным излучением в растворах и пленках наночастиц CdSe/ZnS

14. Кинетические закономерности электрохимического окрашивания анодных оксидных пленок на алюминии и его сплавах

15. Исследования Венеры космическими аппаратами

16. Исследование движения центра масс межпланетных космических аппаратов

Деревянный пазл «Часы календарь».
Знакомят ребенка с понятием «время», учат узнавать время по часам, развивают мелкую моторику рук, целостное восприятие, познавательный
309 руб
Раздел: Деревянные пазлы
Измеритель любви.
Измеритель любви - это чувствительный прибор, отмечающий малейшие изменения в вашем внутреннем состоянии. Нижнюю капсулу нужно зажать в
315 руб
Раздел: Прочее
Вкладыши "Лето".
Вкладыши "Лето" - это развивающая игрушка, предназначенная для детей в возрасте старше 3-х лет. При помощи такой игрушки ребёнок
503 руб
Раздел: Рамки-вкладыши

17. Поиск и исследование внеземных форм жизни. Планетарный карантин, необходимый при этом

18. Дрозофила-объект научных исследований

19. Методы исследования в цитологии

20. Исследования Ивана Петровича Павлова в области физиологии пищеварения

21. Исследование "Тактика морского боя"

22. Расовые исследования
23. Некоторые проблемы современных гидрологических исследований на Алтае
24. Исследование удовлетворенности потребителя

25. Substance abuse: Alcohol Consumption and alcohol dependence among the youth (Социологическое исследование проблемы алкоголизма среди студентов)

26. Культурологические и семиотические исследования Ролана Барта

27. Культура как предмет исследования

28. Исследование концептуальных метафор на примере новелл Франца Кафки

29. Опускаясь в смысл былого, познаем смысл настоящего и будущего (по материалам "Слова о полку Игореве"и современным исследованиям политологов)

30. Археологические исследования на территории Дагестана

31. Модели TAKE-GRANT и их исследования

32. Разработка и исследование подсистемы учебно-исследовательской САПР РЭА

Точилка электрическая Attache Selection, 220 В.
Точилка электрическая. Работает от сети 220 В. Оснащена большим контейнером для стружки и отделением для карандаша. Предназначена для
2037 руб
Раздел: Точилки
Карандаши цветные, 24 цвета.
Цветные карандаши заточенные. Количество цветов: 24.
324 руб
Раздел: 13-24 цвета
Подгузники "Солнце и Луна. Нежное прикосновение", размер: 3/M (4-9 кг), 60 штук.
Подгузники "Солнце и Луна. Нежное прикосновение" сделаны по японской технологии в сотрудничестве с японской корпорацией WATASHI
540 руб
Раздел: 0-5 кг

33. Исследование уровня безопасности операционной системы Linux

34. Исследования устойчивости и качества процессов управления линейных стационарных САУ

35. Регрессионный анализ в моделировании систем. Исследование посещаемости WEB сайта (Курсовая)

36. Исследование распределения температуры в тонком цилиндрическом стержне

37. Исследование кривых и поверхностей второго порядка

38. Исследование регрессии на основе численных данных
39. Лучевая диагностика. Магнитно-ядерный резонанс при исследовании спинного мозга
40. Взятие материала для лабораторного исследования на грибок

41. Криминалистические исследования документов

42. Криминалистическое исследование следов ног человека на месте происшествия

43. Судебно-медицинская экспертиза по исследованию огнестрельных повреждений (Контрольная)

44. Применение физики в криминалистических исследованиях

45. Исследования почерка

46. Криминологическое исследование

47. Некоторые результаты исследования горных лиственничных лесов бассейна Верхней Лемвы в 1999-2000 гг.

48. Исследование аспектов применения атомной энергии для решения проблем энергоснабжения районов Крайнего Севера

Коврик для ванной "Kamalak Tekstil", 60x100 см (синий).
Ковры-паласы выполнены из полипропилена. Ковры обладают хорошими показателями теплостойкости и шумоизоляции. Являются гипоаллергенными. За
562 руб
Раздел: Коврики
Маркеры для доски, 8 цветов, футляр.
8 разноцветных маркеров для рисования на демонстрационных досках.
358 руб
Раздел: Для досок
Брелок с кольцом "Lord of the Rings" Wearable One Ring.
Брелок с тем самым Кольцом из известного произведения жанра фэнтези романа-эпопеи "Властелин Колец" английского писателя Дж. Р.
1590 руб
Раздел: Металлические брелоки

49. Программа социологического исследования /выбор формы обучения/ (Контрольная)

50. Исследование факторов эмоционального выгорания педагогов

51. Создание и исследование шпаклевочных паст на основе УПС и АВС

52. Анализ работы подстанции Южная с исследованием надежности

53. Исследование физико-химической сущности коррозионных процессов для обоснования методов защиты металлов от коррозии

54. Исследование методов охлаждения садки колпаковой печи с помощью математического моделирования
55. Исследование влияния функциональных химических веществ на обезвоживание волокнистой массы
56. Проектирование и исследование механизмов двигателя внутреннего сгорания

57. Исследование удовлетворенности потребителя

58. Исследование религиоведческой концепции Фрейда - психоаналитического метода в целом

59. Исследование профессиональной направленности личности студентов химического факультета на педагогическую и исследовательскую специальности

60. Исследование внимания в психофизиологии

61. Исследование образов мужчин и женщин у подростков

62. Наблюдение как метод социально – психологического исследования

63. Исследование социально-психологического климата и стратегий поведения в конфликте членов коллектива

64. Исследование конфликта в организации

Шторка антимоскитная "Кружево" с магнитными замками.
Размеры: 100х220 см. Препятствует проникновению насекомых. Не нарушает естественную циркуляцию воздуха. Подходит для любых типов дверных
424 руб
Раздел: Сетки противомоскитные
Игра "Зообильярд".
Главное достоинство этой игры в том, что в неё могут играть все от мала до велика. Причём не просто играть, а получать удовольствие от
1019 руб
Раздел: Игры на ловкость
Детский бинокль ночного видения "Секретный агент".
Каждый ребенок знаком с героями фильмов, мультфильмов и комиксов, выполняющими секретные задания. И, безусловно, у каждого суперагента
342 руб
Раздел: Шпионские штучки

65. Методы психологических исследований

66. Исследование факторов эмоционального выгорания педагогов

67. Исследование знания юридических терминов

68. Исследование эффекта автодинного детектирования в многоконтурном генераторе на диоде Ганна

69. Изучение и исследование интегрированных RS-триггеров, а также триггеров серии К155

70. Исследование работы реверсивных счетчиков
71. Исследования Согласованного Фильтра
72. Исследование взаимосвязи электрофизических параметров кремния полученного методом карботермического восстановления от технологии его получения

73. Исследование помехоустойчивого канала передачи данных методом имитационного моделирования на ЭВМ

74. Технология получения монокристаллического Si

75. Исследование искажений сигналов на выходе фильтра нижних частот

76. Социологический подход к исследованию общественного мнения воинского коллектива

77. Социологическое исследование на тему "Вредные привычки среди молодежи" (Доклад)

78. Методология и методика эмпирического социологического исследования (Контрольная)

79. Исследование престижности, популярности, объемов продаж, спроса и предложения на автомобили различных фирм на российском рынке

80. Социологическое исследование на тему: «Встреча Нового года»

Тачка "Садовод".
Играя с тачкой «Садовод» ваш малыш сможет почувствовать себя более самостоятельным и взрослым, помогая своим родителям на даче или в
945 руб
Раздел: Садовый инвентарь
Органайзер для автомобиля "Профессионал+".
Органайзер для автомобиля станет оригинальным и недорогим подарком для любого автомобилиста. Выполненный из плотного материала, приятного
364 руб
Раздел: Прочее
Фоторамка на 6 фотографий С32-011 "Alparaisa", 50x34,3 см (бронза).
Размеры рамки: 50х34,5х2 см. Размеры фото: - 15х10 см, 3 штуки, - 10х15 см, 3 штуки. Фоторамка-коллаж для 6-ти фотографий. Материал:
603 руб
Раздел: Мультирамки

81. Семья как объект социологического исследования

82. Контент-анализ как метод конкретных политико-социологических исследований

83. Женский бизнес (социологическое исследование)

84. Методы исследований социально-экономических процессов в регионе

85. Качественный метод социологических исследований

86. Исследования микромира и микрокосмоса
87. Экспериментальные исследования электростатических полей с помощью электролитической ванны (№24)
88. Экспериментальные исследования диэлектрических свойств материалов (№30)

89. Исследование электрических колебаний (№27)

90. Методы поиска и исследований в преподавании физики

91. Основные принципы исследования особенностей проявления биомеханических параметров подъема штанги тяжелоатлетами

92. Научное исследование

93. История как предмет философского исследования

94. Методы научных исследований

95. Монокристаллический кремень

96. Исследование свойств хрома и его соединений

Фломастеры "Замок", 24 цвета.
Количество цветов: 24. Профиль корпуса: круглый корпус. Вид фломастеров: стандартные.
379 руб
Раздел: 13-24 цвета
Настольная игра "Set" (Сет).
Настольная игра «Сет» состоит из 81 карты. На картах нарисованы простые фигуры, обладающие четырьмя характеристиками. Игрокам нужно
754 руб
Раздел: Карточные игры
Тетрадь общая с магнитной закладкой "FLUOR. Салатовый", В5, 120 листов, клетка.
Формат: В5. Материал обложки: картон ламинированный с тиснением 230 г/м2. Материал блока: бумага офсетная 60 г/м2.
418 руб
Раздел: Прочие

97. Исследование способов введения белковых компонентов в синтетический полиизопрен

98. Исследование механизма закрепления гексена, гексина-1 и бензола на поверхности киновари

99. Эпоха промышленного переворота и ее отражение в экономических исследованиях Д. Рикардо


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.