Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте www.za4et.net.ru

Химия Химия

Жидкостное химическое травление

Карабин, 6x60 мм.
Размеры: 6x60 мм. Материал: металл. Упаковка: блистер.
44 руб
Раздел: Карабины для ошейников и поводков
Совок большой.
Длина 21,5 см. Расцветка в ассортименте, без возможности выбора.
21 руб
Раздел: Совки
Совок №5.
Длина совка: 22 см. Цвет в ассортименте, без возможности выбора.
18 руб
Раздел: Совки

Содержание. 1. Введение. 1.1. Термодинамика травления. 1.2. Общие принципы кинетики травления. 1.3. Феноменологический механизм травления. 2. Жидкостное травление. 2.1. Травление SiO2. 2.2. Травление кремния. 2.3. Травление многослойных структур. 2.4. Травление алюминия. 2.5. Травители для алюминия. 2.6. Электрохимическое травление. 3. Практические аспекты жидкостного химического травления. 3.1. Другие характеристики травления. 4. Заключение. 5. Список литературы. Введение. Травление используется для селективной (химической) прорисовки диффузионных масок, формирования изолирующих или проводящих областей, в процессе которого вещество в области, подвергаемой травлению, химически преобразуется в растворимое или летучее соединение. В литографии травление применяется в основном для формирования диффузионных масок в слое термически окисленного кремния или для удаления материала через окна в диэлектрике при изготовлении металлических контактов. Металлическая разводка формируется путем селективного удаления промежутков (обращения изображения); фотошаблоны также изготавливаются травлением металлических пленок. Задача инженера-технолога состоит в том, чтобы обеспечить перенос изображения с резистной маски в подложку с минимальным отклонением размера (Е) и допуском (?Т) (см. рис. 1). Из рисунка видно, что суммарное изменение размера при литографии Е обусловлено искажением изображения в резистной маске (?0.1 мкм), уходом размера в резисте (?0.5 мкм) и уходом окончательного размера в процессе травления ?1.0 мкм с допуском в ?1.0 мкм. Рис. 1. Изменение размеров при переносе изображения из резиста в подложку с помощью изотропного травления. В зависимости от кристалличности пленки и целостности резиста (отсутствие отслоений при жидкостном и эрозии при плазменном травлении) уход размера может достигать толщины пленки D и даже превышать ее. Изотропное жидкостное травление, для которого характерно большое боковое подтравливание (L), пришлось заменить газофазным анизотропным травлением, для которого D/L?1 (рис. 2). Изотропное травление происходит неупорядоченно, с одинаковой скоростью по всем пространственным направлениям - L и D. Анизотропное травление проявляется при некоторых отклонениях от изотропного процесса. Желательно, чтобы глубина травления (D) была много больше величины бокового подтравливания (L). Поскольку травление в вертикальном направлении при достижении глубины D прекращается, перетравливание определяется только скоростью удаления материала в боковом направлении. Степень анизотропии можно определить как отношение L/D, и ее величина зависит от многих физических параметров. Жидкостное травление определяется в основном статическими характеристиками типа адгезии и степени задубленности резиста, состава травителя и т.п. При сухом травлении степень анизотропии во многом зависит от таких динамических параметров, как мощность разряда, давление и скорость эрозии резиста. Величина бокового подтравливания в случае жидкостного травления зависит от предшествующих стадий обработки - подготовки поверхности и термозадубливания. Рис. 2. Анизотропное (слева) и изотропное (справа) травление.

R-резист, S-полложка. Используя жидкостное травление или недавно разработанный и боле предпочтительный метод плазменного сухого травления, можно формировать различные профили в пленках. Жидкие травители дают изотропные или скошенные профили. Скошенный профиль края лучше подходит для последующего нанесения полости металла поперек такой ступеньки. Ширина линии в скомпенсированной маске М, мкм Рис. 3. Связь компенсации (уменьшение размеров окон в маске), необходимый при изотропном и анизотропном (D/L>2) травлении. Для компенсации подтрава при изотропном жидкостном травлении размеры элемента на фотошаблоне следует уменьшать. На рис. 3 показана компенсация размера окон в шаблоне для разных степеней анизотропии травления. Для обычного изотропного травления D/L равно 1 (без разрушения резиста и при хорошей адгезии). Для того чтобы ширина полосы была равна ?е, размер перенесенного в резист изображения ?r должен быть меньше на удвоенную величину бокового подтрава (L): ?r=?е-2L. (1) Рис. 4. Сравнение жидкостного (W) и плазменного (Р) травления.В обоих случаях травление производится через маску Si3 4 толщиной 0.25 мкм. для получения 1-мкм линии при умеренно анизотропном травлении (D/L=3) изображение в резисте следует делать на 0.2 мкм меньше 1 мкм, а ширина элемента на шаблоне (М) должна быть увеличена примерно на 0.05-0.1 мкм для компенсации ухода размера при формировании резистной маски. Если же D/L=10, то полоса шириной 1 мкм может быть подтравлена через резистное окно шириной 0.7 мкм. разница в характеристиках компенсации размера изображения в резисте для сухого и жидкостного травления Si3 4 ясно видна на рис. 4. Термодинамика травления. С точки зрения химии процесс травления можно представить схемой твердая фаза травитель?продукты; при этом к твердой фазе относят кремний, его оксиды и нитриды и многие металлы. Для межсоединений внутри кристалла обычно применяют Al и его сплавы с Si и Cu, причем основным материалом для первого уровня металлизации является Al (табл. 1). Слои оксидов кремния можно выращивать термически, наносить химическим способом или распылением, можно также легировать их фосфором или бором. Металлы используются в виде чистых или пассивированных пленок, сплавов, многослойных структур и интерметаллидов. Поскольку кремний существует в виде монокристаллических или поликристаллических пленок, его структура, как и структура других кристаллических материалов, имеет и ближний и дальний порядок. Поскольку травление переводит упорядоченные структуры в неупорядоченные, термодинамические соображения о поведении свободной энергии ?F системы должны учитывать изменения как энтропии ?S, так и энтальпии ?Н (теплоты растворения или испарения) ?F=?Н-Т?S.(2) Например, реакция травления аморфного оксида кремния является эндотермической, ?Н= 11 ккал/моль: SiO2(тв.) 6HF(ж.)?Н2SiF6 2H2O.(3) Таблица 1. Материалы полупроводниковой электроники. Проводники Ag, Al, Au, Cr, Cu, Mo, i, Pb, P , a, i,W ПолупроводникиSi, Ge, GaAs ДиэлектрикиSiO2, Si3 4, резист, полиимид Преодоление короткодействующих сил в амфорном твердом теле сопровождается ростом энтропии.

Небольшие дефекты, такие, как напряжение, деформация, примесные уровни, также оказывают влияние на скорость травления. В кристаллическом кремнии скорость травления плоскостей с малыми индексами Миллера определяется числом свободных связей и кристаллографической ориентацией (табл. 2). Таблица 2. Влияние ориентации на травление кремния. Кристаллографическая плоскостьОтносительное число свободных связейОтносительная скорость травления (111)(110)(100)0.580.711.000.620.891.00 Переход металла или кремния в растворимое состояние включает в себя ионизацию металла (определяемую потенциалом ионизации) и перенос электрона к соответствующему восстановителю с высоким сродством к электрону М(тв.) ?М (ж.) e.(4) Реакция эта трехстадийная: М(тв.) ?М(газ) сублимация,(5) М(газ) ? М (газ) e ионизация,(6) М (газ) Н2О ? М (ж.) гидратация.(7) Изменение энтальпии при сублимации и ионизации положительно (эндотермические реакции), но гидратация экзотермична (отрицательное ?Н). При газофазном травлении для распыления металла путем его сублимации кинетическая энергия частиц травителя (энергия травления) должна передаваться металлу из газовой фазы. При погружении металлического образца в раствор, содержащий его собственные ионы (уравнение 4), ионы металла переходят в раствор (рис. 5), и образец приобретает отрицательный заряд. Метал образует, таким образом, свой собственный анод. и ионы М притягиваются к нему, формируя двойной электрический слой (слой Гельмгольца). разность потенциалов в нем называется Рис. 5. Двойной слой Гельмгольца на границе металла в равновесии с ионами металла в жидкой фазе (М ) и анионами (Х-). абсолютным электродным потенциалом. Стандартные окислительные и восстано-вительные потенциалы можно найти в литературе по электрохимии. На катоде происходит уравновешиваю-щее окисление, и катодную реакцию в растворе можно записать следующим образом: e X - ?X . (8) итоговое приращение свобод-ной энергии, ?F, составляет ?F=- Ф?Е, (9) где ?Е есть разность анодного и катодного потенциалов, а Ф-число Фарадея. Величина изменения свободной энергии зависит от: 1) чистоты металла, его кристаллической структуры, наличия напряжений, метода осаждения и состава примесей; 2) активности ионов металла в растворе; 3) ионной силы электролита; 4) температуры; 5) состава растворителя. При травлении диэлектриков переноса электронов не происходит, и реакции в этом случае имеют кислотно-основный характер: SiO2 6HF ?H2SiF6 2H2O,(10) SiO2 CF4(газ) ?SiF4 CO2.(11) Si?O-связь заменяется связью Si?F. Поскольку энергии связей Si?O и Si?F близки, знак изменения энтропии определяет, пройдет реакция или нет. Общие принципы кинетики травления. Гетерогенные твердофазные реакции затрагивают различные разделы химии, механики и физики. Типичный процесс включает в себя следующую последовательность реакций: 1) перенос реагента; 2) адсорбция реагента ?Нads; 3) реакция на поверхности ?F; 4) десорбция продуктов ?Нvap; 5) перенос продуктов. Самый медленный этап определяет скорость реакции. В реакциях низшего порядка Скорость=k нулевой порядок,(12) Скорость=kE первый порядок.(13) скорость зависит от концентрации травителя (Е) только в случае реакции первого порядка.

Такое противоречие, в отличие от технического, называется физическим противоречием (ФП). Сформулированные в примере 6.7 ФП позволяют наметить минизадачи и, тем самым, определить область поиска возможных решений (табл. 6.2). Таблица 6.2 Пример 6.7. Для получения рельефной поверхности на крупногабаритных оболочках, например, для образования усилений в местах сварки на днищах топливных баков (ТБ), для получения вафельного силового набора на обечайках ТБ (места А на рис.P6.4) применяется операция избирательного размерного химического травления. Рис.P6.4 Излишки материала удаляются в щелочных растворах. Места, которые не должны подвергаться травлению (поз. А рис.P6.4), покрываются лаком. Проблемная ситуация заключается в том, что необходимо весьма точно нанести защитный лак на участки, которые не должны подвергаться травлению. Лак должен иметь хорошую адгезию к металлу, чтобы в процессе обработки не было подтравливания материала под покрытием. Если лак наносить по трафарету, то не удается получить точный контур. Поэтому было принято решение наносить лак на всю поверхность, а затем по шаблону чертилкой делать разметку, скальпелем надрезать покрытие и удалять лак с тех участков, которые должны подвергнуться химической обработке

1. Химическая связь. Типы взаимодействия молекул

2. Жидкостное химическое травление

3. Жидкостное химическое травление

4. Жидкостные ракетные двигатели (ЖРД)

5. Основные типы химической связи

6. Применение химических веществ группы углеводов в росписи тканей
7. Применение рекурсии в алгоритмах с возвратом. Файловый тип. Ввод/вывод
8. Основные типы психологического воздействия на человека и их применение в рекламе

9. Тепловой эффект химической реакции и его практическое применение.

10. Кислород и водород как химические элементы и простые вещества. Их получение и применение

11. Основные классы неорганических соединений и типы химических реакций

12. Применение и типы графопостроителей (плоттеров)

13. Анализ эффективности применения различных типов организационных структур

14. Определение посадки для подшипника скольжения в условиях жидкостного трения. Средства измерения

15. Травление меди с пробельных мест. Химическая и электрохимическая металлизация

16. Специальные варианты высокоэффективной жидкостной хроматографии

Подушка "Волк Забивака", 30x33 см.
Этот обаятельный, улыбчивый символ Чемпионата мира по футболу ещё и сувенир в память о событии мирового масштаба на всю жизнь! Уже
471 руб
Раздел: Брелоки, магниты, сувениры
Таблетки для посудомоечных машин BIOMIO "BIO-TOTAL" с эфирным маслом эвкалипта, 30 штук.
Экологичные таблетки для посудомоечной машины 7-в-1 "BioMio" эффективно и деликатно, с заботой о посуде, удаляют самые стойкие
502 руб
Раздел: Для посудомоечных машин
Набор контейнеров для хранения грудного молока и детского питания "Happy Baby", 6 штук.
Специальные контейнеры для хранения молока и питания позволяют сохранять ценные питательные элементы сцеженного грудного молока, в том
350 руб
Раздел: Молокоотсосы, аксессуары

17. Обращенная газовая хроматография: физико-химические основы метода, применение, современное аппаратурное оформление

18. Высокоэффективная жидкостная хроматография загрязнителей атмосферного воздуха и воздуха рабочей зоны

19. Типы домов

20. Химический состав звезд

21. Типы Звезд

22. Применение фильтра Калмана в задаче идентификации отказов двигателей стабилизации космического аппарата
23. Бактериальная система секреции белков первого типа
24. Мсб /БТР/ в наступлении на подготовленную оборону противника /ФРГ/ с ходу во втором эшелоне полка в условиях применения противником СДМ

25. Философские основы кибернетики и методология ее применения в военном деле

26. Исследования режима защиты рабочих и служащих химического завода в условиях радиоактивного заражения

27. Оценка химической обстановки

28. Оценка химической обстановки при разрушении (аварии) (объектов, имеющих СДЯВ [Курсовая])

29. Способы защиты населения при радиоактивном и химическом заражении местности

30. Приборы радиационной и химической разведки

31. Некоторые аспекты отравлений азотной кислотой и окислами азота при химических авариях

32. Приборы химической разведки и химического контроля

Развивающая настольная игра "Игротека 5+" (настольные игры "Турбосчет", "Зверобуквы",.
Это идеальная подборка для малышей-дошкольников. На скорость и на подумать. Благодаря увлекательным играм ребенок освоит: порядковый счет,
2048 руб
Раздел: Математика, цифры, счет
Опора для балдахина Карапуз (с обручем).
Держатель балдахина крепится к короткой либо к длинной стороне кроватки, в зависимости от размера и формы балдахина. Чтобы накрыть
349 руб
Раздел: Балдахины, держатели
Багетная рама "Patricia" (цвет - белый + золотой), 30х40 см.
Багетные рамы предназначены для оформления картин, вышивок и фотографий. Оформленное изделие всегда становится более выразительным и
698 руб
Раздел: Размер 30x40

33. Химическая промышленность, ее отраслевой состав и значение в народном хозяйстве страны (РФ)

34. Промышленные типы месторождений титана

35. Структурные типы и районирование месторождений нефти и газа

36. Механизм применения антимонопольных законов

37. Сравнение договоров подряда и купли - продажи, форма расчета-инкассо, типы ведения бизнеса

38. Содержание и порядок применения единого налога на вмененный доход для субъектов малого предпринимательства
39. Дисциплинарная ответственность. Применение дисциплинарного взыскания
40. Феодальный тип государства

41. Типы грамматических форм слова

42. Мифология как исторический тип мировоззрения

43. Особенности исламского типа культуры

44. Илья Ильич Обломов – "коренной народный наш тип"

45. Неологизмы, их типы и стилистическое использование

46. Типы словарей

47. Типы грамматических форм слова

48. Ломоносов и его вклад в развитие химической науки

Доска гладильная НВ1 Валенсия. Принт чехла "Доброе утро", 46x123,5 см..
Гладильная доска выполнена из высококачественного металла. Рабочая поверхность оснащена отверстиями для пара и обтянута чехлом из хлопка.
2647 руб
Раздел: Доски гладильные
Бутылочка для кормления "Avent", 260 мл.
Бутылочка: полипропилен, не содержит бисфенол-А. Соска: силиконовая, не содержит бисфенол-А. Возраст: 0—6 месяцев. При использовании
381 руб
Раздел: Бутылочки
Глобус детский зоогеографический, с подсветкой, 210 мм.
Глобус Земли зоогеографический для детей, с подсветкой. Диаметр: 210 мм. Материал: пластик.
845 руб
Раздел: Глобусы

49. Спарта как тип полиса

50. Применение ЭВМ в жизнедеятельности человека

51. Применение ПЭВМ в подготовка печатных изданий

52. Периферийное устройство ПЭВМ, Характеристика этапов подготовки и решения задач на ПЭВМ в любой системе программирования. Электронная почта, особенности применения

53. Применение методов линейного программирования в военном деле. Симплекс-метод

54. Криптология: подстановочно-перестановочный шифр и его применение
55. Компьютерные вирусы, типы вирусов, методы борьбы с вирусами
56. Применение программного комплекса Electronics Workbench для разработки радиоэлектронных устройств

57. Решение смешанной задачи для уравнения гиперболического типа методом сеток

58. Применение тройных и кратных интегралов

59. Теория графов и её применение

60. Шифросистемы с открытым ключом. Их возможности и применение.

61. ПРИМЕНЕНИЕ "ПУЛЬМОСАНА – 2" ПРИ ЛЕЧЕНИИ ТЕЛЯТ БОЛЬНЫХ БРОНХОПНЕВМОНИЕЙ ( ВЫПУСКНАЯ КВАЛИФИКАЦИОННАЯ РАБОТА )

62. Применение электроники и биомеханики при протезировании

63. Биохимические особенности состава крови у людей разных типов телосложения

64. Гистогенез, морфо-функциональные и гисто-химические особенности мышечной ткани. Механизм мышечного сокращения

Сменная кассета "Барьер 6", для жесткой воды, для всех типов фильтров "Барьер".
Кокосовый активированный уголь очищает от активного хлора, органических загрязнений и т.д. Обработка активированного угля серебром
354 руб
Раздел: Фильтры для воды
Защита "Карапуз" для автомобильного кресла от детских ножек, с карманами.
Во время поездки в автомобиле дети иногда могут пачкать грязью, остающейся на ботинках, заднюю сторону кресел. Защита - это
323 руб
Раздел: Автомобильные коврики
Набор мебели для каминной комнаты "Коллекция".
Красивая игрушка помогает ребенку развить свою фантазию, воспитывает художественный вкус. Кукольная мебель помогает развить
715 руб
Раздел: Гостинные

65. Дезинфицирующие препараты и их применение в хирургии

66. Применение ультразвука в медицине

67. Некоторые аспекты отравлений азотной кислотой и окислами азота при химических авариях

68. Личность преступного типа

69. Применение психологических знаний в процессе оперативно - розыскной деятельности

70. Применение милицией физической силы, спецсредств и огнестрельного оружия
71. Применение судами условного осуждения
72. Химическое загрязнение среды промышленностью

73. Химическое загрязнение среды промышленностью

74. Химическое оружие в Балтийском море

75. Влияние химически активных веществ на здоровье человека

76. Дидактические игры и их применение на уроках английского языка

77. Методические особенности комментированного обучения и применения поурочного балла при изучении трудных тем на уроках русского языка шестых классов

78. Обучение младших школьников с применением компьютерной поддержки

79. Физико-химические изменения, происходящие при приготовлении блюда "Борщ украинский с пампушками"

80. Котел пищеварочный типа КПГСМ-250

Карандаши цветные "Stabilo Trio Jumbo", 12 цветов.
Набор цветных карандашей. Карандаши утолщенной трехгранной формы особенно удобны для детской руки, поэтому ребенок может долго рисовать
647 руб
Раздел: 7-12 цветов
Кольцедержатель "Дерево с оленем", малый, черный.
Стильный аксессуар в виде фигурки оленя с ветвящимися рогами – держатель для украшений, - выполнен из прочного пластика двух классических
375 руб
Раздел: Подставки для украшений
Банка для сыпучих продуктов "Цветовная поэма" квадратная, 800 мл.
Банка для сыпучих продуктов квадратная (клипс). Размер: 9x9x18 см. Объем: 800 мл. Материал: керамика.
305 руб
Раздел: Прочее

81. Происхождение, сущность и типы государств

82. Типы политических систем

83. Сегнетоэлектрики, их свойства и применение

84. Оптико-электронные приборы и их применение

85. Кулисный механизм. Практическое применение

86. Изучение экономической целесообразности применения ООО <Сибирь-связь> зарубежных технологических разработок по строительству офисных телекоммуникационных сетей на базе систем микросотовой связи стандарта DECT
87. Устройства дорожной одежды с применением золоминеральной смеси
88. Исследование физико-химической сущности коррозионных процессов для обоснования методов защиты металлов от коррозии

89. Технико-экономическое обоснование инвестиций в строительство завода по производству кирпича керамического мощностью 30 млн штук в год. Проект повторного применения

90. Способы нанесения тонких пленок

91. Моделирование математического процесса теплообмена в теплообменнике типа "труба в трубе"

92. Химическое закрепление грунтов

93. Гальванотехника и ее применение в микроэлектронике

94. Технологический процесс изготовления микромодуля этажерочного типа применительно к серийному производству

95. Проект восстановления коленчатого вала ЗИЛ 130 с применением ультразвукового упрочнения

96. Нанесение гальванических и химических покрытий

Мягкий пол универсальный, коричневый, 33x33 см (9 деталей).
Данный вид напольного покрытия прекрасно совмещается с ковриками-пазлами "Морские животные", "Листья" и
754 руб
Раздел: Прочие
Светильник "Лампочка на веревке", синий.
Оригинальный пластиковый светодиодный светильник на шнурке длиной 116 - 125 см. Достаточно дёрнуть за лампочку, чтобы включить либо
343 руб
Раздел: Необычные светильники
Трехколесный велосипед Funny Jaguar Lexus Racer Trike (цвет: серебро).
Детский трехколесный велосипед с колясочной крышей на колесах ПВХ – настоящее спасение для мам с маленькими детьми. Главное место для
3600 руб
Раздел: Трехколесные

97. Типы по Юнгу (интроверсии и экстраверсии)

98. Типы характеров и их акцентуация

99. Психологические типы

100. Возраст ребёнка и тип воспитания отца


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.