Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте www.za4et.net.ru

Компьютеры, Программирование Компьютеры, Программирование

Вплив легування цинком на властивості МОН-структур

Чашка "Неваляшка".
Ваши дети во время приёма пищи вечно проливают что-то на ковёр и пол, пачкают руки, а Вы потом тратите уйму времени на выведение пятен с
222 руб
Раздел: Тарелки
Совок №5.
Длина совка: 22 см. Цвет в ассортименте, без возможности выбора.
18 руб
Раздел: Совки
Карабин, 6x60 мм.
Размеры: 6x60 мм. Материал: металл. Упаковка: блистер.
44 руб
Раздел: Карабины для ошейников и поводков

М¶Н¶СТЕРСТВО ОСВ¶ТИ ¶ НАУКИ УКРА·НИ НАЦ¶ОНАЛЬНИЙ УН¶ВЕРСИТЕТ “ ЛЬВ¶ВСЬКА ПОЛ¶ТЕХН¶КА” ¶нститут телекомункацй, радоелектронки та електронно технки Кафедра напвпровдниково електронки ДИПЛОМНА РОБОТА Вплив легування цинком на властивост МОН-структур. Виконав: Студент групи ФБЕ-61 Ревула Р.Л. Науковий кервник: ст.викл., Логуш О.¶. Консультант з економчно частини: доц., Мороз Л.Г. Консультант з охорони прац: доц., Яцюк Р.А. ЛЬВ¶В-2002 Змст Вступ 1. Л¶ТЕРАТУРНИЙ ОГЛЯД 1.1. Методи вирощування плвок термчного SiO2. 1.2. Основн властивост диоксиду кремню та меж роздлу з напвпровдником та металом. . Гетерування дефектв в технолог напвпровдникових приладв. 2. МЕТОДИКА ЕКСПЕРИМЕНТУ 2.1. Методика вирощування плвок термчного SiO2 з одночасним легуванням в процес росту. 2.2. Визначення параметрв технологчного процесу. Методика дослдження дефектност делектричних плвок. 2.4. Методика вимрювання характеристик систем Si-SiO2. 3. РЕЗУЛЬТАТИ ДОСЛ¶ДЖЕНЬ. 3.1. Дослдження пористост плвок термчного SiO2. 3.2 Взамозв’язок структурно досконалост монокристалчно кремнво пдкладки  плвокSiO2. 3.3. Гетеруюча дя цинку. Оптимзаця технологчного процесу за концентрацю домшки. 3.4. Електрофзичн характеристики структур. Висновки. Охорона прац. Економчна частина. Лтература. ВСТУП Використання напвпровдникв в електронц пройшло довгий шлях & dash; вд першого детектора на кристал сульфду свинцю  до сучасно мкро ЕОМ, яка виконана на кремнвй пластин, площею меншою 1 см2. Такий результат досягнутий завдяки успхам технолог, яка, в свою чергу, спираться на фзичну електронку. В наш дн розвиток електронки безперервно стимулються успхами в област фзики напвпровдникв  в област технолог виробництва нових напвпровднкових структур та об’днання х у велик нтегральн схеми (В¶С). Пдвищення ступеня нтеграц В¶С та пов’язана з цим реалзаця граничних розмрв елементв та, вдповдно, граничних значень параметрв вимага яксного вдосконалення практично всх технологчних процесв створення схем. Зокрема, процес окислення повинен вдосконалюватися в напрямку зменшення товщини та дефектност шару оксиду. Перехд вд топологчно норми 2 мкм до 0.5мкм вимага зменшення товщини оксиду вд 0.4-0.8 до 0.1 -0.4 мкм, а його пористост вд 10 до 1 см-2 . З сказаного очевидно, що виробництво великих  надвеликих ¶М представить пдвищен вимоги до якост вихдних матералв. Водночас, зберегти властивост навть деального злитку в реальному технологчному процес неможливо, так як в кремнй вносяться домшки  виникають дефекти. Щоб зменшити вплив цих домшок  дефектв на параметри  надйнсть мкросхем, в технологчн маршрути вводять спецальн операц гетерування, завдяки чому вдаться зберегти яксть робочих областей приладу на заданому рвн. Вирощування легованих плвок SO2, як вдомо з лтератури ,  одним з методв модифкац електричних параметрв як окремих елементв, так  схеми в цлому. Причому, в залежност вд необхдност досягнення заданих параметрв приладу використовують для легування як стандартн, так  нетипов домшки кремню.

Рвн легування використовують також рзн: вд найменших до суттвих, аж до утворення елемент силкатного скла. На даний час процес впливу домшок на характеристики МДН-структур дослджений недостатньо. Домшки можуть створювати пд дю зовншнх факторв, зокрема радац, рзн типи радацйно активних дефектв, як будуть приводити до деградац параметрв приладв. Без всебчного дослдження впливу легування на електрофзичн параметри структур, а також х модифкац пд дю зовншнх факторв неможливе забезпечення стабльност та довговчност роботи приладв. Впровадження методв домшкового гетерування також неможливе без дослдження впливу легування на електрофзичн властивост структур. Метою ц дипломно роботи  всебчне дослдження зарядових характеристик та параметрв розподлу МОН-структур з легованим в процес гетерування дефектв шарв SO2 та структур в цлому. Для дослдження вказаних параметрв вибран стандартн методи С(V)  C( )& dash;характеристик. 1. Л¶ТЕРАТУРНИЙ ОГЛЯД МЕТОДИ ВИРОЩУВАННЯ ПЛ¶ВОК ТЕРМ¶ЧНОГО SO2. Термчне окислення кремню здйснються в системах проточного типу в атмосфер, що мстить кисень, вуглекислий газ, пари води з використанням в якост транспортуючих газв аргону, водню, кисню, або в замкнутих системах при високому тиску окислювача. Головна вдмннсть мж окисленням в парах води  в сухому кисн поляга в тому, що дифундуючою крзь плвку окислу речовиною  не вода, а молекули або они кисню  гдроканальних груп. Дослдження з допомогою звичайно методики мчених атомв продемонструвало, що рст окислу здйснються не на меж газ - оксид, а на меж окисел - кремнй. . Кнетика окислення в област низьких температур обумовлються найчастше не дифузю кисневих онв, а швидкстю реакц на меж роздлу. Вдхилення вд параболчного закону в бк лнйност спостергаться при температурах нижче 1300 К. Установка для окислення в сухому кисн зображена на рис.1.1. Як осушувач можна використовувати виморожуючу пастку, хмчний поглинач або нший пристрй, що дозволя знизити вмст вологи в кисн до точки роси - 200 К. Фльтр служить для видалення частинок розмром 0.5 мкм  вище. Крив окислення при таких умовах виглядатимуть, як на рис.1.2. . У високотемпературнй област експериментальн дан добре узгоджуються одне з одним, в низькотемпературнй - спостергаться великий розкид. Отриман в област високих температур результати добре описуються параболчним рвнянням: x2 = 21. 2 ехр(-1. 33/Т)= & imes;10(1. 326-6100/ ) (1), де: х - товщина плвки, нм, - час окислення, хв, Т - температура процесу, К. О2 4 Рис. 1.1. Окислення в сухому кисн: 1-осушувач;2 & dash; фльтр; & dash; пч для окислення; 4 & dash; термопара. Рис. 1.2. Окислення в сухому кисн при тиску 1 ат. Рис. 1.3. Рст оксиду кремню у вологих газах. Висока енергя активац, характерна для окислення в сухому кисн, вдобража мцнсть зв’язкв кисневих онв в окисл. Про це свдчить також енергя активац дифуз кисню в кварц. Установка для окислення кремню в вологому кисн - це система, в якй сухий кисень з балону спочатку пропускаться через барботер, а потм надходить до печ для окислення.

Вмст вологи в потоц газу визначаться температурою барботера та швидкстю потоку. Оскльки окислення в водяних парах вдбуваться набагато швидше, нж в сухому кисн, вмст вологи в потоц газу-нося  найважлившим фактором, що зумовлю швидксть окислення при заданих значеннях часу та температури. Майже по всьому дапазону типових значень температури водяно бан замна кисню нертним газом-носм не вплива суттво на рст окислу, хоча, як видно з рис. 3, при температур водяно бан 300 К склад газу-нося може вдчутно впливати на швидксть росту . Тут, як  при окисленн в парах води, необхдний пдгрв магстралей, що з’днують водяну баню з реактором. Бажана також фльтраця газу-нося, хоча пробулькування газу через воду саме по соб здйсню на нього фльтруючу дю, вдкидаючи бльшсть частинок, що захоплюються, як правило, субмкронними фльтрами. Головна вдмннсть окислення в вологому кисн вд процесу, який протка в сухому кисн, або в парах води, поляга в легкй змн концентрац окислювача. При окисленн в потоц водяно пари окислювачем  вода при парцальному тиску 1 атм, при окисленн в сухому кисн - кисень при тиску 1 атм. В установц для окислення у вологому кисн, як окислювач використовуться сумш води  кисню, причому спввдношення цих компонентв припуска змни. В принцип можна змнювати швидксть окислення вд величини, що вдповда 100% вмсту кисню, до величини, що вдповда 100% вмсту води. Застосувавши аргон або азот як газ-носй та знизивши температуру барботера до 290 К, досягнемо меншо швидкост окислення, нж в сухому кисн. Практично температура барботера бува не нижчою вд кмнатно, а потк газу-нося склада не менше 200 см /хв для реактора даметром 150 мм. При окисленн у вологому кисн при температур 1300 К величина константи параболчного рвняння швидкост знаходиться мж вдповдними значеннями для окислення в сухому кисн (3.6 х 10-4 мкм2/хв) та для окислення в парах води (99 х 10-4 мкм2/хв). Величина константи швидкост залежить вд парцального тиску водяних парв. Значення констант не змнюються при змн потоку газу вд 30 до 200 см3/хв, що свдчить про насичення газу-носю протягом всього процесу окислення. Рзниця мж константами швидкост в атмосфер нертного газу або кисню приблизно дорвню констант швидкост окислення в сухому кисн (3.6х10-4 мкм2/хв при 1400 К). Енергя активац окислення в вологому кисн зменшуться з збльшенням концентрац парв води, що пов’язано з рзницею мж швидкостями потоку кисню, а також з рзними температурними дапазонами процесв окислення. Енергя активац знаходиться в дапазон вд 0.8 еВ для водяно пари до 133 еВ, що вдповда сухому кисню. Експериментально знайден значення складали 1.6 еВ при окисленн в вологому аргон при температур барботера 290 К . Легування плвок диоксиду кремню найкраще здйснювати в процес росту. При цьому легуючу домшку необхдно вводити в реактор в вигляд пари. Легування плвок ма сво вдмнност при х вирощуванн в “вологих” та “сухих” процесах.

Для ускорения диффузии применяется длительный нагрев сплава (отжиг); уничтожение внутренних напряжений при отжиге металла также есть следствие процессов диффузии и их ускорения при повышении температуры. Создание больших концентраций газа на границе с металлом при создании условий, обеспечивающих некоторое "разрыхление" поверхностного слоя металла, приводит к диффузии газа внутрь металла; диффузия азота в металлы лежит в основе процесса азотирования. Диффузионное насыщение поверхностных слоев металла различными элементами позволяет получать самые различные свойства поверхностей, необходимые в практике. Фактически процессы цементации, алитирования, фосфатирования есть процессы диффузии углерода, аллюминия, фосфора внутрь структуры металла. Скорость диффузии при этом легко регулируется с помощью различных режимов термообработки. А.с Н 461774: Способ производства изделий из низкоуле родистых сталей путем отжига заготовки и холодного вы давливания отличающийся тем, что с целью улучшения ус ловий выдавливания, перед отжигом заготовку подвергают термодиффузионной обработке, преимущественно цемента ции. 3.6. О с м о с

1. Вплив факторів кріоконсервування на морфофункціональні властивості тромбоцитів людини

2. Вплив електронного і гама-опромінення на властивості сплавів заліза

3. Вплив структури аліфатичних карбонових кислот та третинних амінів на каталітичний ацидоліз епіхлоргідрину

4. Типы и элементы планировочной структуры города

5. Структура организации материи

6. Анализ устойчивости и поддержание орбитальной структуры космической системы связи
7. Структура и состояние водоснабжения и водосброса, подземных вод и артезианских скважин города Киева
8. Влияние циано- и тетразольных производных цитозина и тимина на резистентность эритроцитов

9. Статистика населения. Методы анализа динамики и численности и структуры населения

10. Минеральный состав, текстуры и структуры руд.

11. Государственный аппарат и его структура

12. Социально-экономическая структура Верхнеудинска в феодальный период (середина XVII в.- 1862 год)

13. Структура органов власти в США по конституции 1787 года

14. Международная организация труда- создание, структура, задачи и организация её работы

15. Структура закона Саратовской области "О местном самоуправлении в Саратовской области". Полномочия органов местного самоуправления в области жилищного хозяйства, коммунально-бытового и торгового обслуживания населения

16. Структура, содержание и значение общей части Налогового кодекса России

Кастрюля со стеклянной крышкой, 3 л.
Объем: 3 л. Диаметр: 18 см. Глубина: 11,5 см. Толщина стенок: 0,5 мм. Кастрюля из высококачественной нержавеющей стали класса
700 руб
Раздел: До 3 литров
Копилка "Свинка", с молотком, 15x15x14 см, арт. 223016.
Копилка поможет Вам наконец-то собрать требуемую сумму для покупки долгожданной вещицы. Регулярно удалять пыль сухой, мягкой
503 руб
Раздел: Копилки
Набор цветных карандашей STABILO GREENcolors, 12 штук.
STABILO GREENcolors - цветные карандаши, сертифицированные FSC. • Изготовлены на 100% из возобновляемой древесины и покрыты лаком на
414 руб
Раздел: 7-12 цветов

17. Налоги, их состав и структура

18. Понятие права и правовой нормы. Виды и структура правовой нормы. Понятие и виды юридической ответственности

19. Понятие, структура и методики построения страховых тарифов

20. Структура правовых норм

21. Структура и функции государственного аппарата

22. Сравнительное описание слоговых структур английского и каракалпакского языков
23. Культура, её структура и функции
24. Структура и организация учебного процесса в средневековом университете (Болонья, Париж, Прага)

25. Проблематика и структура пьесы Б. Шоу "Пигмалион"

26. Бальзак: структура и основные идеи "Человеческой комедии"

27. Сравнительное описание слоговых структур английского и каракалпакского языков

28. Интернет: административное устройство и структура глобальной сети

29. Глобальные гипертекстовые структуры: WWW

30. Структура персонального компьютера. Основные и периферийные устройства, их характеристики и назначение

31. Разработка алгоритмов и программ выполнения операций над последовательными и связанными представлениями структур данных

32. Формирование структуры электронного учебника и решение задач на ней

Микрофон "Пой со мной! Любимые песенки малышей".
Этот микрофончик светится под музыку, а на каждой его кнопочке записано 5 весёлых песенок, включая «Песню Львёнка и Черепахи»,
314 руб
Раздел: Микрофоны
Стиральный порошок Ушастый нянь, 9000 г.
Стиральный порошок "Ушастый нянь" создан специально для новорожденных детей. Активные добавки, которые входят в состав порошка,
999 руб
Раздел: Для стирки детских вещей
Игровой набор "Строим дом".
Игровой набор "Строим дом" из серии "Детский сад" от компании ПК "Форма" состоит из домика и строительного
646 руб
Раздел: Наборы строительной техники

33. Программа сложной структуры с использованием меню

34. Структуры данных: бинарное упорядоченное несбалансированное дерево

35. Моделирование структуры книги

36. Обзор ситуации с внедрением автоматизированных банковских систем в финансовых структурах России

37. Структура сходящихся последовательностей

38. Структура аффинного пространства над телом
39. Структура отитов у детей по данным ЛОР-отделения ПЦ НЦМ-РБ
40. Системы цифрового видеонаблюдения при организации охранных структур на особо охраняемых объектах

41. Структура и управление МВД КР (Киргизской Республики)

42. Влияние экологических и медико-биологических требований на структуру исследований и разработок

43. Биосфера и её структура

44. Структура педагогических способностей преподавателя

45. Политические аспекты деятельности предпринимательских структур: система взаимоотношений с органами власти, пути решений возникающих проблем; пути лоббирования

46. Структура властных отношений

47. Структура и формирование исходных данных, необходимых для расчета параметров технологических схем

48. Структура строительного комплекса

Подарочная расчёска для волос "Настенька".
Стильная детская расчёска дарит радость и комфорт. Этот практичный аксессуар по достоинству оценят как маленькие модницы, так юные
372 руб
Раздел: Расчески, щетки для волос
Пенал школьный "Pixie Crew" с силиконовой панелью для картинок (зелёная клетка).
Повседневные вещи кажутся скучными и однотонными, а тебе хочется выглядеть стильно и быть не как все? "Pixie Crew" сделает твою
1096 руб
Раздел: Без наполнения
Аэрозоль Gardex "Extreme" от кровососущих насекомых и клещей, 150 мл.
Уникальный продукт с самым широким спектром действия. От всех летающих кровососущих насекомых: комаров, москитов, слепней, мокрецов,
372 руб
Раздел: Аэрозоль, спрей

49. Расчет численостей и расстановка исполнителей в структуре управления предприятием малого бизнеса на строительстве и эксплуатации автомобильных дорог

50. Темперамент в структуре личности

51. Вплив мотивацii на продуктивнiсть пам`ятi пiдлiткiв

52. ВЕДУЩИЕ ФУНКЦИИ И СТРУКТУРА ПРОЦЕССА ОБУЧЕНИЯ

53. Слухи в структуре общественного сознания

54. Моделирование распределения потенциала в МДП-структуре
55. Оптимизация производственно-отраслевой структуры колхоза «Урал» Кудымкарского района
56. Оптимизация производственной структуры сельскохозяйственного предприятия на примере хозяйства "Путь Ленина"

57. Сущность, структура и функции семьи

58. Коммуникации в структуре человеческой цивилизации

59. Социальные ограничения: содержание, структура, функции

60. Структура и свойство материалов (из конспекта лекций)

61. Структура научного знания

62. Образ мира в философии: Структура общества

63. Общество. Понятие, структура, виды общества

64. Структура организации материи

Жидкое средство для стирки детских вещей "Meine Liebe", 800 мл.
Концентрат абсолютно безопасен для здоровья. Не содержит хлора, фосфатов, ароматизаторов, красителей и других химически агрессивных
320 руб
Раздел: Для стирки детских вещей
Датчик утечки газа "Страж".
очевидной пользы, бытовой газ несет страшную опасность: риск отравления или даже взрыва. Датчик утечки газа «Страж» обезопасит Ваш дом от
610 руб
Раздел: Детекторы, датчики движения
Подушка с принтом "FIFA 2018", прямоугольная, синий, 40x29 см.
Подушка с символикой чемпионата мира по футболу 2018 года станет прекрасным дополнением к вашему интерьеру. Изделие выполнено из
403 руб
Раздел: Брелоки, магниты, сувениры

65. Влияние технологических добавок на структуру и свойства резин

66. Шпинель. Структура шпинели

67. Финансовый рынок и его структура

68. Роль коммерческих банков в кредитной структуре

69. Общий анализ структуры баланса предприятия

70. Бухгалтерский баланс, понятие, назначение, порядок составления и структура его статей
71. Структура рынка Чехии, география экспорта и импорта
72. Динамика отраслевой структуры мирового производства

73. Анализ альтернативных подходов к формированию структуры организации

74. Организационные структуры управления (Контрольная)

75. Структура управления предприятием

76. Корпоративное мышление в пермских бизнес-структурах (на примере ОАО "Уралсвязьинформ)

77. Организационные структуры управления

78. Оптимизация организационной структуры управления

79. Разработка организационной структуры ООО ПК "Витязь"

80. Совершенствование структуры управления ОАО «Авиаагрегат». Организационный инжиринг ОАО «Авиаагрегат»

Релаксант-капельки "Спираль большая Эврика".
Отлично смотрится на рабочем столе. Успокаивает и помогает восстановить моральное равновесие. Температурный режим эксплуатации: от 0 °C до
343 руб
Раздел: Антистрессы
Домкрат гидравлический, подкатной, 2 т, 130-315 мм.
Домкрат гидравлический подкатной MIRAX, используется при проведении ремонтно-строительных работ. Эта модель домкрата одна из самых
1865 руб
Раздел: Домкраты, подставки
Дождевик Bambola для колясок прогулок с ручкой перекидной, пвх.
Прозрачный чехол для коляски - защита от дождя и снега.Выполнен из ПВХ - прочный, не трескается, не мутнеет. Подходит для прогулочных
333 руб
Раздел: Дождевики, чехлы для колясок

81. Организационные структуры управления организацией

82. Общая характеристика и структура производственного плана

83. Структура управления строительно-монтажным трестом

84. ФОРМИРОВАНИЕ И АНАЛИЗ СОСТАВА, СТРУКТУРЫ И ИСПОЛЬЗОВАНИЕ БАНКОВСКИХ РЕСУРСОВ

85. Организационная и производственная структура предприятия

86. Организационная структура управления предприятием
87. Общий анализ структуры баланса предприятия (на примере Городокской прицефабрики, Беларусь)
88. Сущность и эволюция развития рынка ценных бумаг, его функции и структура

89. Выбор и обоснование структуры автоматизированной системы управления – АСУ "Супермаркет"

90. Рынок, его структура и механизм функционирования

91. Доходы населения: источники и структура (Украина)

92. Инвестиции и структура экономики Украины

93. Отраслевая структура мирового хозяйства

94. Структура и основные проблемы книги Самуэльсона "Экономикс"

95. Структура страхового рынка

96. Типы рыночных структур

Комплект постельного белья 1,5-спальный "Disney" (с наволочкой 50х70 см).
Добро пожаловать в мир популярных персонажей, супергероев и сказочных существ. Постельное белье для мальчиков и девочек украсит интерьер и
2232 руб
Раздел: Детское, подростковое
Мешок для обуви "Wild", 1 отделение.
Удобный мешок для обуви увеличенных размеров с дополнительным карманом на молнии и сеточкой. Размер: 410х490 мм. Материал: полиэстер.
458 руб
Раздел: Сумки для обуви
Сумка для прогулочной коляски Altabebe, арт. AL1004.
Функциональная и простая. Нет необходимости долго искать мелкие предметы в вашей сумке - теперь вы можете легко найти их, воспользовавшись
1040 руб
Раздел: Сумки и органайзеры

97. Экономические вопросы развития системы торговых предприятий в муниципальных структурах

98. Экономические системы: виды, понятие, структура

99. Рынок: сущность, функции и структура


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.