Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте www.za4et.net.ru

Химия Химия

Кремний, полученный с использованием "геттерирования" расплава

Фонарь желаний бумажный, оранжевый.
В комплекте: фонарик, горелка. Оформление упаковки - 100% полностью на русском языке. Форма купола "перевёрнутая груша" как у
87 руб
Раздел: Небесные фонарики
Ночник-проектор "Звездное небо, планеты", черный.
Оригинальный светильник-ночник-проектор. Корпус поворачивается от руки. Источник света: 1) Лампочка (от карманных фанариков); 2) Три
350 руб
Раздел: Ночники
Ночник-проектор "Звездное небо и планеты", фиолетовый.
Оригинальный светильник - ночник - проектор. Корпус поворачивается от руки. Источник света: 1) Лампочка (от карманных фонариков) 2) Три
330 руб
Раздел: Ночники

Кремний, полученный с использованием" геттерирования расплава. В бездефектной технологии изготовления ИС для уменьшения влияния термодефектов используются методы пассивного геттерирования примесей в пластинах. К таким методам относятся "внешнее геттсрирование" - нанесение внешних покрытий (поликремния, Si-, ^, переходных металлов) или механических повреждений на нерабочую сторону кремниевой пластины и "внутреннее геттерирование" — намеренное обеспечение путем термообработок выделений второй фазы Si0, на которых адсорбируются микродефекты, примеси тяжелых и щелочных металлов. Однако в результате таких воздействий на пластины ухудшаются механические свойства, что особенно заметно на подложках диаметром 100 и более миллиметров. Процесс образования геттерирующей зоны происходит в несколько стадий, при этом самая высокая температура термообработки (ТО) не превышает lOOO^C, в то время как многоступенчатая технология изготовления ИС включает более высокотемпературные операции, например диффузию, эпитаксию. Известно, что при температурах выше 1000°С кислород из выделений вновь переходит в состояние твердого раствора, и при последующих термоциклах (430-500 и 600-800^0 опять появляются доноры, разрушаются комплексы примесей и микродефектов, что, в свою очередь, приводит к нарушению термостабильности, снижению выхода годных, увеличению отказов. Активное воздействие на дефекты и примеси предполагает легирование монокристаллов в процессе их выращивания добавками, оказывающими влияние на свойства, состав расплава и твердого тела. При этом легирующий компонент должен удовлетворять следующим требованиям: — коэффициент распределения, значительно отличающийся от единицы; — эффективное изменение коэффициента распределения удаляемых примесей; — отсутствие вредного влияния атомов "геттера" на свойства полупроводника. Использование в качестве геттера водорода, предложенное Декоком, не нашло применения в промышленности, так как водород в процессе отжига удаляется из кристалла, вновь освобождая кислород и оставляя после себя напряженные участки кристаллической решетки. Добавление в кремний изоморфных примесей (Ge, Pb, S ) сказывается лишь на кинетике образования термодоноров, при этом сохраняется зависимость их поведения от температуры. Легирование металлами, изобарный потенциал реакции окисления которых больше, чем изобарный потенциал окисления кремния при температуре его плавления, дает возможность связывать кислород и порождаемые им термодефекты. Для этой цели могут быть выбраны примеси, образующие с кислородом более химически и термически стойкие оксиды, чем Si0^, которые к тому же электронейтральны в кремнии. Такими примесями являются щелочноземельные металлы (Mg, Са, Sr, Ва), электрически нейтральные вследствие образования с кремнием полупроводниковых соединений с ковалентной связью , и переходные металлы IV группы ( i, Zr, Hf), нейтральные по причине сходства строения электронных оболочек их атомов с атомами кремния и также образующие стехиометрические фазы с кремнием. Экспериментальные данные показывают, что при добавлении этих металлов в расплав кислород связывается в жидком кремнии в прочные комплексы, содержащие атомы кремния и кислорода, коэффициент распределения которых гораздо меньше, чем у кислорода, который не связан в комплексы.

В результате введения примесей -геттеров содержание кислорода в выращенных методом Чохральского монокристаллах может быть снижено до 2-10^ 7 смЗ. Характер распределения i, Zr и Hf в монокристаллах вдоль оси роста аналогичен наблюдавшемуся ранее для щелочноземельных металлов в германии и кремнии, а также для примеси хрома в арсениде галлия. Методами химико-спектрального и активационного анализов, методом радиоактивных индикаторов (для циркония и гафния) показано, что в начальной части формируется концентрационный профиль со снижением концентрации, затем переходная область, за которой следует область нарастания концентрации вплоть до выпадения второй фазы. Распределение примесей-геттеров, а также уровень их концентрации в твердой фазе свидетельствует о том, что их взаимодействие с кислородом происходит в расплаве с последующим распределением атомов металла, связанного и не связанного с кислородом, с различными коэффициентами сегрегации. Более высокая концентрация примеси в начале слитка по сравнению со средней его частью противоречит диаграммам состояния кремний-титан (цирконий, гафний), имеющим эвтектический переход, соответственно которому элементы IV группы должны иметь коэффициент распределения меньше единицы. Отсутствие зависимости характера распределения от условий -перемешивания расплава подтверждает данные о взаимодействии примесей с кислородом. Следствием такого взаимодействия является различное поведение растворенного металла при кристаллизации кремния. Образуя комплексы, соответствующие соединениям с высокой температурой плавления и прочными химическими связями, примесь металла IV-B может иметь коэффициент распределения больше единицы. Коэффициенты распределения титана, циркония и гафния, не связанных с кислородом, меньше единицы, и эти металлы оттесняются в конечную часть слитка. Снижение содержания кислорода в монокристаллах, выращенных методом Чохральского с добавкой геттера, по сравнению с обычными монокристаллами подтверждает факт взаимодействия этих примесей в расплаве. Источником обнаруженного оптически активного кислорода, по-видимому, служит тигель (Si0,). Физическая модель процесса внутреннего геттерированияв кремниевой технологии. Как известно, металлические примеси Au, Fe, i, Си и другие приводят к возникновению генерационно-рекомбинационных центров в активных областях приборов на основе кремния, что в свою очередь вызывает деградацию свойств приборов. Совокупность технологических приемов, позволяющих снизить концентрацию таких центров, локализуя их вблизи преципитатов Si0x (xw2), расположенных вдали от активных областей приборов, называется методом внутреннего геттерирования (ВГ). По технологии ВГ накоплен обширный фактический материал, однако физические принципы его механизма в настоящее время окончательно не установлены [1, 2). Широкое распространение, например, получили представления о том, что центрами геттерирования являются дислокации и дефекты упаковки, возникающие вследствие релаксации упругих полей и пересыщения по межузельному кремнию в процессе преципитации кислорода при Г>700°С. Однако эти представления не являются универсальными, что было доказано рядом исследований.

Так, в работе [3) показано, что в ряде случаев эффект геттерирования проявляется и в отсутствие дислокаций и дефектов упаковки, при этом сам кислородный преципитат является геттером. Другие авторы [41 обнаружили гексагональные и ромбические дислокационные петли в отсутствие кислородных преципитатов, на основании чего сделано предположение о том, что дислокационные петли возникают при высокотемпературном отжиге вследствие растворения преципитатов, образовавшихся ранее во. время низкотемпературного отжига. В данной работе представлены результаты исследований физических закономерностей процесса ВГ, выполненных на кафедре общей физики МИЭТ, в которых развита модель дальнодействующего механизма взаимодействия примесь-центр геттерирования. Рассмотрена модель комплекса примесь-точечный дефект, рассчитаны параметры таких комплексов и найдено их неоднородное распределение в упругом поле преципитата. Представлена также диффузионная модель ВГ на основе взаимодействия дипольных комплексов с кислородным преципитатом. Комплексы примесь-точечный дефект и их неоднородное распределение вблизи центра гетгерировання Принципиальное отличие упругого взаимодействия примеси с дислокацией от взаимодействия со сферическим геттером проявляется в том, что упругое поле последнего характеризуется чисто сдвиговой деформацией и энергия упругого взаимодействия равна нулю : где К — модуль всестороннего сжатия материала среды, ?o — изменение объема, обусловленное примесным атомом, ?ii —дилатация упругого поля центра. Поэтому в условиях отсутствия ди-латацнонного взаимодействия и наличия пересыщения по собственным дефектам дальнодейст-вующий механизм упругого взаимодействия может быть реализован взаимодействием диполь-ного типа. Дипольные свойства примесного атома могут быть реализованы в случае образования комплекса из двух точечных дефектов: атом примеси—собственный точечный дефект или атом примеси—атом другой примеси. Количественной мерой взаимодействия комплекса точечных дефектов с упругим полем центра дилатации является тетрагональность поля упругих искажений, создаваемых комплексом. В рамках континуальной теории упругости энергия точечного дефекта в поле ?ii задается выражением: Тензор ?IJ, называемый тензором объемных деформаций, полностью характеризует упругие свойства точечного дефекта. Для упругого диполя с осевой симметрией он имеет вид : i и j — направляющие косинусы оси симметрии диполя. Для последовательного.количественного описания образования примесных сегрегаций вблизи центра геттерирования необходимо знать параметры ?o и ?1, характеризующие отдельный комплекс и определить распределение таких комплексов в пространстве, окружающем центр геттерирования. Расчеты характеристик комплекса проводились методом молекулярной статики. За основу был принят так называемый метод флекс-1 (метод гибкой границы с перекрывающимися областями). Кристалл разбивается на три области. Область 1, непосредственно окружающая кристалл, рассматривается как дискретная. В этой сильно искаженной области координаты атомов учитываются индивидуально, а энергия рассчитывается с помощью межатомного потенциала.

Федерального закона от 09.10.2002 P122-ФЗ) некорректное сравнение хозяйствующим субъектом производимых или реализуемых им товаров с товарами других хозяйствующих субъектов; (в ред. Федерального закона от 25.05.1995 P83-ФЗ) продажа, обмен или иное введение в оборот товара с незаконным использованием результатов интеллектуальной деятельности и приравненных к ним средств индивидуализации юридического лица, индивидуализации продукции, выполнения работ, услуг; (в ред. Федеральных законов от 25.05.1995 P83-ФЗ, от 09.10.2002 P122-ФЗ) получение, использование, разглашение информации, составляющей коммерческую, служебную тайну и охраняемую законом тайну. (в ред. Федерального закона от 09.10.2002 P122-ФЗ) 2.PНе допускается недобросовестная конкуренция, связанная с приобретением и использованием исключительных прав на средства индивидуализации юридического лица, индивидуализации продукции, выполняемых работ или оказываемых услуг. (пункт 2 введен Федеральным законом от 09.10.2002 P122-ФЗ) 3.PРешение антимонопольного органа, касающееся нарушения положений пункта 2 настоящей статьи в части индивидуализации продукции, выполняемых работ или оказываемых услуг, направляется в федеральный орган исполнительной власти в области патентов и товарных знаков для решения вопроса о досрочном прекращении действия регистрации объекта исключительных прав или о признании регистрации этого объекта недействительной в порядке, установленном законодательством о товарных знаках, знаках обслуживания и наименованиях мест происхождения товаров. (пункт 3 введен Федеральным законом от 09.10.2002 P122-ФЗ) Раздел IV

1. Кремний, полученный с использованием "геттерирования" расплава

2. Получение, использование цемента и его продуктов (Доклад)

3. Получение и использование электрической энергии

4. Получение Pt-Re катализатора с использованием возвратных Pt и Re

5. Получение технического кремния в электропечах

6. Права и свободы политических партий. Получение разрешения на хранение, ношение и использование оружия
7. Создания интерактивных WEB - страниц для получения информации в сети Интернет с использованием форм, заполняемых пользователем
8. Разработка технологии электротермического получения силикоалюминия с использованием малозольных восстановителей

9. Установка и способ для получения расплавов железа

10. Использование дефектов, возникающих при имплантации водорода или гелия, для формирования глубинных структур в кремнии

11. Получение моноклональных антител

12. Использование фитонцидных растений для оздоровления воздуха помещений

13. Полиплоидия и получение полиплоидов

14. Организация и порядок использования в бою мотопехотной (пехотной, танковой) (бригады армий вероятного противника)

15. Глобальные проблемы человечества. Использование Мирового океана

16. Платежи за использование природных ресурсов

Пеногенератор для минимоек, для пистолета 375 серии.
Пеногенератор для мойки высокого давления ЗУБР предназначен для расширения функциональности моек ЗУБР. Регулировка выхода пены. Большой
1855 руб
Раздел: Мойки высокого давления
Настольная игра "Маленький балансир".
Классическая настольная игра – балансир. Смешные, зеленые лягушата прыгают в пруду, нужно помочь им забраться на кувшинки. Настольная игра
1699 руб
Раздел: Игры на ловкость
Сейф-книга Alparaisa СС0072/1 "Вокруг света", 17х11х5 см.
Размеры: 17х11х5 см. Бокс-сейф в виде книги для хранения мелких ценных вещей. Встроенный замок, запирающийся на ключ. Аксессуары: ключ - 2 штуки.
572 руб
Раздел: Копилки

17. Банковские операции с использованием векселей

18. Авторский договор как основание правомерного использования произведения

19. Получение взятки ст.311 УК Республики Казахстан

20. Порядок формирования и использования средств Фонда социального страхования РФ

21. Земля как объект использования и охраны в Республике Молдова

22. Использование интегрированных курсов при изучении иностранного языка
23. Использование библейских сюжетов в проектной деятельности учащихся старших классов средней школы (на примере немецкого языка)
24. Художественные средства и их использование в творчестве живописцев авангарда начала XX века

25. Использование художественной литературы на уроках истории

26. Неологизмы, их типы и стилистическое использование

27. Использование переносного значения слова для создания художественных тропов

28. Конвертер программы с подмножества языка Си в Паскаль с использованием LL(1) метода синтаксического анализа (выражения)

29. Опыт и перспективы использования сети Интернет в коммерческих целях

30. Проблемы использования и пути развития интернет-компьютерных технологий в России

31. Использование Интернет-технологий для обеспечения информативности населения

32. Учебно-лабораторный комплекс по удаленному администрированию цифровых телефонных станций с использованием локально-вычислительной сети

Настольная игра "Свинтус. Правила Этикета" (новая версия).
Об игре Перед вами расширенная версия карточного бестселлера «Свинтус»! Помимо полного набора карт из оригинала, в игру добавлены новые 12
390 руб
Раздел: Игры в дорогу
Мозаика-чемодан со схемами "Мозайкин".
Состав набора: игровое поле, 16 картинок, 48 деталей мозаики. Размер поля: 28x21,5 см. Диаметр фишки: 3 см. Материал: картон, пластик.
399 руб
Раздел: Пластмассовая
Комод четырехсекционный "Орнамент" (белый/мраморный).
Комод поможет вам поддерживать порядок и сделает интерьер уютнее. В нём найдётся место для канцтоваров, игрушек, сувениров, текстиля и
1302 руб
Раздел: Комоды

33. Использование компьютеров в управлении предприятием

34. Возможности средств мультимедиа и перспективы их использования

35. Представление и использование знаний об объектах

36. Различные классы баз данных по предметным областям использования

37. Принципы проектирования и использования многомерных баз данных

38. Программа сложной структуры с использованием меню
39. Кадры с использованием программы Microsoft Access 97
40. Использование макросов в MS Access 2000

41. Создание проекта с использованием программы GeniDAQ и контроллеров серии АДАМ-4000

42. Графы. решение практических задач с использованием графов (С++)

43. Использование СУБД ACCESS 7.0

44. Использование полей и закладок для оформления и автоматизации редактирования и обработки экономической информации в документах Word

45. Использование гиперссылок при создании Веб-страницы

46. Использование электронных таблиц в Power Poin

47. Опыт использования ЭВМ на уроках математики

48. Графы. решение практических задач с использованием графов (С++)

Коллекция "Качели".
Игрушка выполнена в традиционной для коллекции мебели и домиков цветовой гамме. Качели станут прекрасным дополнением к кукольной мебели
346 руб
Раздел: Прочие
Ручка перьевая "Golden Prestige", синяя, 0,8 мм, корпус черный/золото.
Перьевая ручка Golden Prestige. Цвет корпуса: черный/золото. Материал корпуса: металл. Материал пера: иридий.
410 руб
Раздел: VIP-ручки
Матрас-кокон "Зевушка".
«Зевушка» - это удобная постель для деток в возрасте до 6 месяцев, в которой они быстрее засыпают, лучше спят и проще адаптируются к
5200 руб
Раздел: Матрацы до 120 см

49. Использование грибов в медицине (фунготерапия)

50. Ретроспективный cанитарно – эпидемиологический анализ по определению связи между заболеваемостью населения ОКИ и факторами внешней среды по эпидемиологически значимым объектам (с использованием статистического метода ранговой корреляции ) за 2000 –2002 г

51. Об использовании лекарственных растений в фармации и медицине

52. Использование криминалистических средств и методов в установлении лица совершившего преступление

53. Использование механизма следообразования при раскрытии преступлений

54. Осмотр места происшествия с использованием огнестрельного оружия
55. Незаконное получение и разглашения сведений, составляющих коммерческую или банковскую тайну
56. Соотношение доказательств и данных, полученных в результате ОРД

57. Рациональное использование водных ресурсов

58. Риформинг как способ получения бензинов с улучшенными характеристиками

59. Охрана и использование водных ресурсов

60. Проблема хозяйственного использования и освоения территорий, подвергшихся радиационному заражению

61. Долгосрочная стратегия охраны ОС и рационального использования природных ресурсов на Земле

62. Глобальные проблемы человечества. Использование Мирового океана

63. Использование аэрокосмического мониторинга в экологических исследованиях

64. Рациональное использование и охрана животных

Мелки восковые супер мягкие в пластиковом держателе, 6 цветов.
Мелки восковые супер мягкие в пластиковом держателе. Количество цветов: 6. Возраст: с 3 лет.
324 руб
Раздел: Восковые
Мешок для обуви "Monster Truck", 2 отделения, светоотражающая полоса.
Количество отделений - 2. Материал - полиэстер. Размер - 370x470 мм. Цвет - цветной/рисунок. Светоотражающий элемент - есть.
316 руб
Раздел: Сумки для обуви
Сиденье детское для купания (бирюзовый).
Сиденье детское для купания. Материал: пластик. Цвет: бирюзовый. Ширина: 320 мм. Длина: 320 мм. Высота: 222 мм.
325 руб
Раздел: Горки, приспособления для купания

65. Современные теории получения экологически чистой энергии

66. Методика преподавания темы: "Использование электронных таблиц для финансовых и других расчетов" в 10 классе

67. Подготовка к школе. Развитие речи, логического мышления и познавательных способностей дошкольников с элементами обучения грамоте и использованием математического материала

68. Использование проблемных ситуаций на уроках математики в развитии творческого мышления младших школьников

69. Методика преподавания темы “Электромагнитные колебания” в средней школе с использованием компьютерных технологий

70. Использование библейских сюжетов в проектной деятельности учащихся старших классов средней школы (на примере немецкого языка)
71. Психолого-педагогические проблемы использования компьютерных игр, программ с игровой компонентой в образовании
72. Использование различных методов обучения с целью активизации познавательной деятельности на уроках технологии

73. Использование компьютера в учебно-воспитательном процессе

74. Использование видео на уроках английского языка

75. Грибы и их использование

76. Использование сети Интернет в политике

77. Обзор методов получения пленок и их свойства

78. Использование чёрной и цветной металлургии, их процессы и характеристики

79. Разработка технологии получения отливок «корпус» из сплава МЛ5 в условиях массового производства

80. Состояние и перспективы использования ветроэнергетики

Стиральный порошок "INDEX", универсал, 4500 грамм.
Предназначение: для стирки изделий из хлопчатобумажных, льняных, синтетических тканей, а также тканей из смешанных волокон (кроме изделий
786 руб
Раздел: Стиральные порошки
Сумка-транспортный чехол усиленная для колясок "Книжка".
Сумка чехол выполнена из прочной и легко чистящейся ткани оснащена двумя ручками для переноски. Размеры: 93x50x36 см.
907 руб
Раздел: Дождевики, чехлы для колясок
Магниты "Standart", 0,7 кг, 30 мм, темно-синие, 10 штук.
Диаметр: 30 мм. Сила: 0,7 кг. Материал: цельный ферритный магнит. Количество: 10 штук. Цвет: темно-синий.
318 руб
Раздел: Магниты канцелярские

81. Топливо. Его виды и характеристика. Области эффективного использования. Топливный баланс страны

82. Разработка модели технологического процесса получения ребристых труб и ее апробация

83. Полупроводниковые пластины. Методы их получения

84. Автоматизация процесса получения диоксида титана

85. Расчёт и проектирование установки для получения жидкого кислорода

86. Порядок использования водных объектов для плавания на маломерных плавательных средствах и эксплуатации баз (сооружений) для их стоянок в пределах административных границ Мурманской области в прибрежной полосе Баренцева и Белого морей
87. Исследование возможности использования эффекта автодинного детектирования в генераторах на диоде Ганна для контроля параметров вибрации
88. Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании

89. Получение тонкопленочных электретов на основе фторопласта - 4 и изготовление приборов на их основе

90. Учебно-лабораторный комплекс по удаленному администрированию цифровых телефонных станций с использованием локально-вычислительной сети

91. Экономическая эффективность использования земельных угодий в ОГУСП «Пригородный»

92. Использование социальной психологии в PR деятельности

93. Исследование и использование эффеката Кирлиан

94. Определение времени жизни носителей в высокоомном кремнии. Влияние времени жизни на параметры высоковольтных приборов на кремнии

95. Атомная энергетика. Использование и перспективы развития

96. Расчёт и проектирование установки для получения жидкого кислорода

Игра настольная "Кто в яйце".
В набор входят: - 4 лукошка для яиц разных цветов; - 4 набора фишек в соответствии с цветом лукошка; - 24 половинки яиц с изображениями
605 руб
Раздел: Прочие
Матрешка 5 в 1 (Д-282).
Игрушка из натуральной древесины. Матрешки: 5 в 1. Игрушка расписана цветными красками. Цель игры: развитие мелкой моторики, координации
435 руб
Раздел: Матрешки
Набор цветных карандашей "Noris Club", акварельные, 36 цветов, с кистью.
Детские цветные акварельные карандаши в картонной коробке. Серия «Noris Club» предназначена для использования детьми. Специальное защитное
859 руб
Раздел: Акварельные

97. Использование пеших и лыжных прогулок в целях оздоровления человека

98. БАД к пище и их использование в бодибилдинге

99. Восстановление и использование закономерностей в планировании тренировок

100. Промышленное получение азотной кислоты


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.