Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте www.za4et.net.ru

Химия Химия

Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании

Коврик для запекания, силиконовый "Пекарь".
Коврик "Пекарь", сделанный из силикона, поможет Вам готовить вкусную и красивую выпечку. Благодаря материалу коврика, выпечка не
202 руб
Раздел: Коврики силиконовые для выпечки
Совок большой.
Длина 21,5 см. Расцветка в ассортименте, без возможности выбора.
21 руб
Раздел: Совки
Браслет светоотражающий, самофиксирующийся, желтый.
Изготовлены из влагостойкого и грязестойкого материала, сохраняющего свои свойства в любых погодных условиях. Легкость крепления позволяет
66 руб
Раздел: Прочее

Государственный комитет РФ по высшему образованию Новгородский Государственный университет им. Ярослава Мудрого Кафедра физики твердого тела и микроэлектроники ”РАСЧЕТ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСЕЙ В КРЕМНИИ ПРИ КРИСТАЛЛИЗАЦИОНОЙ ОЧИСТКЕ И ДИФФУЗИОННОМ ЛЕГИРОВАННИИ” Пояснительная записка к курсовой работе по дисциплине ”Физико-химические основы технологии микроэлектроники” Выполнил Студент группы 7033у Н.Е.РодинПроверил Преподаватель кафедры ФТТМ Б.М.Шишлянников 1998 Техническое задание на курсовую работу по дисциплине «Физико-химические основы технологии микроэлектроники» Студенту гр. 7033 Родину Н.Е. 1. Рассчитать распределение примесей вдоль слитка полупроводникового материала при очистке зонной плавкой (один проход расплавленной зоной). материал кремний примеси - Ga,P и Sb исходное содержание примесей (каждой) 0,02% (массовых) Для трех скоростей перемещения зоны Vкр =1,5 ; 5 и 15 мм/мин. 2. Проанализировать бинарную диаграмму состояния Si -Ga и представить графически область существования твердых растворов примеси, найти предельную твердую растворимость примеси и температуру предельной растворимости. Рассчитать и построить распределение указанной выше примеси (Ga) в полупроводнике после диффузионного отжига при различных условия диффузии: • при условии бесконечного источника примеси на поверхности пластины и при температуре, соответствующей максимальной растворимости примеси в полупроводнике; время диффузии – 30 мин. • при температуре 950 оС; время диффузии – 30 мин. • после перераспределения примеси, накопленной в приповерхностном слое полупроводника при температуре 950 оС и времени диффузии – 30 мин . Условия перераспределения - полностью отражающая граница, температура 1150 оС, время 2 часа. Срок сдачи законченной работы руководителю - июнь 1998 г. Шишлянников Студент Родин Реферат. В курсовом проекте производится расчет распределения примеси вдоль слитка кремния зонной плавкой. Расчет производится для трех примесей (Ga,P и Sb) для трех скоростей (Vкр =1,5 ; 5 и 15 мм/мин). Кроме того расчет распределения Ga в кремнии после диффузионного отжига при различных условиях диффузии. Курсовая работа содержит графики распределения примеси как при зонной плавке, так и при диффузии. Содержание. Введение 5 1. Расчетная часть . 6 1.1 Описание процесса зонной плавки и ее математическая модель 6 1.2 Расчет распределения примеси вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной) . 10 1.2.1 Расчет распределения Si-Ga 10 1.2.2 Расчет распределения Si-P . 13 1.2.3 Расчет распределения Si-Sb . 14 1.3 Распределение примесей после диффузии . 18 1.3.1 Распределение примеси при диффузии из полубесконечного пространства (диффузия из концентрационного порога) . 21 1.3.2 Распределение примеси при диффузии из постоянного источника в полубесконечное тело . 22 1.3.3 Распределение примеси при диффузии из слоя конечной толщины (диффузия из ограниченного источника) в полубесконечное тело с отражающей границей . 24 1.3.4 Распределение примеси при диффузии из бесконечно тонкого слоя в полубесконечное тело с отражающей границей 25 1.4

Расчет распределения примеси после диффузионного легирования. 28 1.4.1 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины и при температуре, соответствующей максимальной растворимости примеси в полупроводнике; время диффузии 30мин 28 1.4.2 Диффузия из бесконечного источника примеси на поверхности пластины при Т=9500 С, и времени диффузии 30 мин . 29 1.4.3 Распределение примеси после перераспределения примеси накопленной в приповерхностном слое полупроводника при Т=950ОС и времени диффузии 30мин. Условие перераспределения полностью отражающая граница. Т=1150ОС, время 2 часа . 30 Заключение . 32 Литература . 33 Введение. Каждое вещество может находится в состоянии которое характеризуется содержанием примеси в нем ниже некоторого определенного предела. Предел определяется различными условиями связанными со свойствами, областью применения веществ. Для полупроводниковых материалов достижения собственных свойств или близких к ним является тем необходимым пределом до которого материалы должны очищаться. При обосновании необходимой очистки нужно руководствоваться и экономической целесообразности очистки. Для очистки полупроводниковых материалов в технологии микроэлектронных устройств используется метод зонной плавки (перекристаллизация). В некоторых случаях в технологии полупроводниковых материалов выращивают монокристаллы методом зонной плавки. Достоинством метода является совмещение процесса глубокой очистки полупроводника с последующим выращиванием его монокристалла. В технологии разлагающихся полупроводниковых соединений применение этого метода позволяет совмещать в одном технологическом цикле сразу три операции: синтез, очистку синтезированного соединения и выращивание его монокристалла. Для введения в полупроводник примеси используется процесс диффузии. Для изготовления p- переходов используется химическая диффузия примесных (растворимых) атомов, которые вводятся в кристаллическую решетку для изменения ее электрофизических свойств. Кроме того диффузия используется для перераспределения примеси в полупроводнике. 1.Расчетная часть. 1. 1.1 Описание процесса зонной плавки и ее математическая модель. Очистку полупроводниковых материалов методом зонной плавки предложил в 1952 году Пфанн. В связи с различной растворимостью примесей в твердой и жидкой фазах зонная плавка является одним из наиболее эффективных и производительных методов глубокой очистки монокристаллов. При его реализации перед началом кристаллизации расплавляется не вся твердая фаза кристалла (рис.1 ), а только узкая расплавленная зона, которую перемещают вдоль слитка. Рисунок1 – Схема зонной плавки. Большинство примесей обладает хорошей растворимостью в жидкой фазе по сравнению с твердой (равновесный коэффициент сегрегации k0(1), поэтому по мере продвижения зона плавления все больше насыщается примесями, которые скапливаются на конце слитка. Обычно процесс зонной плавки повторяют несколько раз, по окончании очистки загрязненный конец слитка отрезают. Для ускорения процесса очистки вдоль контейнера ставят несколько индукторов для образования ряда зон плавления.

Для материалов с k0(1 очистка материалов зонной плавкой практически невозможна. Распределение примесей после одного прохода расплавленной зоной при зонной плавке вдоль слитка представляется уравнением (1) где тв – концентрация примеси в закристаллизовавшейся фазе на расстоянии x от начала слитка; о – исходная концентрация примеси в очищаемом материале; x – текущая координата (расстояние от начала слитка); l – длина расплавленной зоны; ko – равновесный коэффициент распределения. Если измерять длину слитка в длинах расплавленной зоны a = x/l, выражение (1) следует записать иначе: (2) Приведенные уравнения (1) и (2) , являющиеся математическим описанием процесса зонной плавки, выведены при определенных допущениях, сформулированных автором метода зонной очистки В. Пфанном при выводе этих уравнений. Эти допущения в литературе принято называть пфанновскими, их суть в следующем: 1 Процессами диффузионного перераспределения компонентов системы в объеме слитка можно пренебречь, т.е. коэффициенты диффузии компонентов в твердой фазе принимаются равными нулю ( Dтв = 0 ). 2 Диффузия компонентов системы в жидкой фазе совершенна - концентрация компонентов постоянна по объему расплава в любой момент процесса; 3 Коэффициент распределения примеси – величина постоянная и не зависит от концентрации примеси в кристаллизующемся веществе (кривые солидус и ликвидус диаграммы состояния прямолинейны); 4 Начальная концентрация компонентов в исходном материале (слитке) одинакова по всем сечениям; 5 Геометрия подвергаемого зонной плавке слитка (длина и поперечное сечение) в ходе процесса остаются постоянными, плотности твердой и жидкой фаз равны (?тв’?ж’?). 6 Расплав и твердая фаза при зонной плавке не взаимодействуют с окружающей средой - атмосферой и контейнером. Другими словами, в системе нет летучих и диссоциирующих компонентов, отсутствует поглощение примесей расплавом из атмосферы, материал контейнера не растворяется в жидкой фазе. Уравнения (1) и (2) справедливы только на участках слитка, на которых зона имеет две границы раздела фаз (постоянный объем). Когда в системе остается только кристаллизующаяся граница, распределение примеси представляется другим уравнением, соответствующим процессу нормальной направленной кристаллизации. Другими словами, если длина очищаемого слитка в длинах зон равна A= L/l, то уравнения (1) и (2) справедливы на длине a = (L - l)/l = A-1. При a > A-1 , (3) где g - доля закристаллизовавшегося расплава последнего участка. Только при проведении процесса при условиях, когда удовлетворяются все требования, приведенные выше, реальное распределение примеси в слитке после зонной плавки будет соответствовать закону, представленному выражениями (1) и (2). Анализ показывает, что в большинстве реально протекаемых процессов зонной очистки полупроводниковых материалов пфанновские допущения не реализуются. Вместе с тем, вывод уравнений (1) и(2) без них был бы невозможен, а менее жесткие допущения приводят к существенному усложнению получаемых выражений. Наиболее жесткими являются условия 2 и 3. Допущение 2 в данной формулировке может выполняться только при бесконечно малых скоростях кристаллизации (скорости движения зоны).

Моисеев утверждал, что ему приходилось лично в 19201925 годах плавить «булат» следующего состава (в%): углерод 1,551,44; хром 0,70,8; марганец 1,521,64; вольфрам 0,690,86. Конечно, свойства этой легированной стали не уступали булату! Таким образом, в начале XX века легированные стали позволяли получать холодное оружие и инструмент очень высокого качества. Необходимость приготовления булата полностью отпала. Узорчатая сталь? Сколько угодно! В XIX веке последователи Аносова, известные русские металлурги П. М. Обухов, А. С. Лавров, Н. В. Калакуцкий развивали его идеи о получении совершенной стали, искали научные обоснования металлургических процессов. Так, например, А. С. Лавров изучал строение стального слитка, впервые применил алюминий для удаления кислорода из стали, выдвинул идею подогрева верхней части слитка термитными смесями для того, чтобы уменьшить его усадку и увеличить выход годного металла. Совместно с Н. В. Калакуцким он открыл и объяснил ликвацию стали неравномерное распределение примесей в объеме слитка

1. Одномерная эхоэнцефалография и повышение внутричерепного давления у детей

2. Электромагнитное перемешивание в системе висмут–олово при бестигельной зонной плавке с индукционным нагревом

3. АСР редукционной установки по давлению пара

4. Планирование и промер глубин в прибрежной зоне судовыми средствами

5. Разработка проекта зоны кратковременного отдыха

6. Медико-тактическая характеристика зон радиоактивного заражения при авариях на АЭС
7. Особенности осушения минеральных переувлажненных почв Нечерноземной зоны с низкой водопроницаемостью
8. Природные зоны Северной Америки

9. Роль финансов в создании и функционировании свободных экономических зон как одном из направлений интеграции России в мировую экономику

10. Ялтинская конференция 1945 года и обсуждение на ней вопроса о зонах оккупации Германии и управлении большим Берлином

11. Круговорот кислорода, углерода, азота, фосфора и серы в биосфере

12. Ударная волна взрыва. Прогнозирование зон разрушения ударной волной и возможных последствий взрыва газовоздушных смесей

13. Правовая охрана окружающей природной среды в энергетике и военной деятельности. Правовые меры охраны озонового слоя атмосферы Земли. Правовой режим зон повышенного экологического риска

14. Взвешенная плавка никелевого концентрата в Печи взвешенной плавки(ПВП)

15. Разработка технологии плавки стали в электродуговой печи ДСП-80 и расчет ее механизма

16. Смазки при обработке металлов давлением

Игровой набор "My Little Pony. Мерцание". Пинки Пай.
Игровой набор "Мерцание" из серии "Май Литл Пони" от популярного бренда Hasbro представляет собой всеми любимую
2018 руб
Раздел: Игрушки
Фоторамка на 7 фотографий С31-017 "Alparaisa", бронзовый, 43x42,5 см.
Размеры рамки: 43х42,5 cм. Размеры фото: - 10х15 см (3 штуки), - 15х10 см (1 штука), - 9х9 см (3 штуки). Фоторамка-коллаж для 7-ми
586 руб
Раздел: Мультирамки
Полка на ванну.
Материал: полипропилен. Размер: 300x70x680 мм. Максимальная нагрузка: 80 кг. В ассортименте без возможности выбора.
469 руб
Раздел: Решетки, сиденья для ванны

17. Анализ возможности перевода энергоблоков 200МВт ВТГРЭС с котлами ПК-47 на режим разгрузок со скользящим давлением во всем пароводяном тракте

18. Организация участка по ремонту колесных пар пассажирских вагонов

19. Проект зон ТО-2 и ПР с разработкой слесарно-механического отделения

20. Организация финансов на коммерческих предприятиях. Экономико-статистический анализ производительности труда в хозяйствах центральной зоны Кировской области

21. Герберт Маркузе "Одномерный человек"

22. Фосфор и его соединения
23. Главные элементы жизни: азот и фосфор
24. Свободные экономические зоны в РФ: проблемы создания и функционирования

25. Свободные экономические зоны в мировой экономике

26. Оффшорные зоны

27. Организация финансов на коммерческих предприятиях. Экономико-статистический анализ производительности труда в хозяйствах центральной зоны Кировской области

28. Свободные экономические зоны

29. Свободные экономические зоны России и перспективы их развития

30. Финансовый механизм функционирования свободных экономических зон

31. Украина и Россия: в зоне отчуждения

32. Пар и Броня

Фоторамка на 4 фотографии С34-009 "Alparaisa", 55,5x18 см (белый).
Размеры рамки: 55,5x18x1 cм. Размеры фото: - 10х15 см, 2 штуки, - 15х10 см, 2 штуки. Фоторамка-коллаж для 4-х фотографий. Материал:
475 руб
Раздел: Мультирамки
Кран башенный.
Тяжелые колеса из ПВХ играют роль инерционного движителя. Стрела поворачивается, трос наматывается на барабан с трещоткой, человечек
499 руб
Раздел: Подъёмные краны, автокраны
Статуэтка "Мисс кокетливость", 10x9x29 см.
Статуэтка - это отличный вариант подарка. Красивый продуманный дизайн и высокое качество фабричного производства непременно порадуют
1485 руб
Раздел: Миниатюры

33. Высокое давление любви

34. "Душа парила ввысь и там звезду нашла…"

35. Маркетинговое исследование рынка рукавов высокого давления

36. Особенности диффузии некоторых переходных металлов в сплавах никеля

37. Исследование достоверности показаний тонометра для измерения внутриглазного давления

38. Сосудистые факторы риска развития глаукомы с нормальным давлением
39. Обоснование эффективности зон повышенной проницаемости в плоской части цилиарного тела
40. Опухоли панкреатодуоденальной зоны

41. Фосфор в организме человека

42. Инвестиции в свободные экономические зоны

43. Свободные экономические зоны в мировом хозяйстве

44. Обработка металлов давлением

45. Новый подход к методам химической очистки призабойной зоны ствола скважины при заканчивании открытым стволом

46. Определение поверхностного натяжения методом максимального давления в газовом пузырьке

47. Разработка и исследование методов уменьшения влияния зоны захвата при работе лазерного гироскопа

48. Обработка материалов давлением, определение потерь напора

Штатив с Bluetooth для создания снимков "selfie" (Camera Stick - Selfie Stick).
Поднимите искусство селфи на новый уровень со штативом. Путешествуйте и фотографируйтесь на фоне живописных пейзажей. Находите самые
309 руб
Раздел: Держатели и подставки
Подгузники Merries для новорожденных, 0-5 кг, экономичная упаковка, 90 штук.
Большая экономичная упаковка мягких и тонких подгузников для новорожденных. Подгузники пропускают воздух, позволяя коже малыша дышать.
1374 руб
Раздел: 0-5 кг
Форма для выпечки на 9 ячеек "Паровозик", 21,5x29x4,5 см (силикон).
Форма для выпечки на 9 ячеек "Паровозик". Силиконовые формы изготовлены из специального силиконового материала, благодаря
333 руб
Раздел: Формы и формочки для выпечки

49. Формирование интереса к физике у учащихся 7 класса при изучении темы "Давление твердых тел, жидкостей и газов"

50. Игра в опасной зоне или искусство уживаться

51. Проект зоны ТО-2

52. Совместимость в супружеских парах. Уровни совместимости и основные проблемы, возникающие на каждом из уровней

53. История становления глубинной психологии

54. Пять базовых зон убеждений
55. Сравнительный Анализ Конструкций и Характеристик Датчиков Давления
56. Реклама: из глубины веков, в будущее

57. Проблема глубины корней эпоса и воспроизводимости архаического клише в поэпическое время

58. Эрогенные зоны

59. Исследование температуры в зоне резания при точении

60. Проект зоны ТО-2

61. Отчуждение. Одномерный человек

62. Фосфор

63. Геопатогенные зоны

64. Метод контроля загрязнения воздуха пылью, парами, газами

Фломастеры с кистевидным узлом "Color peps brush", 10 цветов.
Кистевидные фломастеры. Уникальное решение для детского творчества. Этими фломастерами можно рисовать будто красками, создавая интересные
384 руб
Раздел: 7-12 цветов
Кружка "Лучшая Бабушка в мире", с рисунком.
Качественные керамические кружки с оригинальным рисунком, выполненным в процессе производства (подглазурное нанесение). Упаковка: белый
372 руб
Раздел: Кружки
Пистолет с мыльными пузырями "Щенячий патруль", со звуком.
Пистолет с мыльными пузырями "Щенячий патруль" от компании 1 Toy обязательно порадует поклонников знаменитого одноименного
371 руб
Раздел: Щенячий патруль (Paw Patrol)

65. Вторичные леса таежной зоны Европейской России

66. Воздух рабочей зоны

67. Экология жилища, геопатогенные зоны и опыт использования прибора ига-1 при строительстве

68. Воздух рабочей зоны

69. Свободные экономические зоны в России

70. Зоны свободной торговли
71. Особенности функционирования свободных экономических зон
72. Свободные экономические зоны в мировом хозяйcтве

73. Спеціальні економічні зони та їх роль в залученні іноземних інвестицій

74. Свободные экономические зоны в Российской Федерации: проблемы создания и функционирования

75. Анализ свободных экономических зон: оффшорные центры

76. Роль и место свободных экономических зон в Российской Федерации

77. Опасные зоны при работе производственного оборудования

78. Прогнозирование зон разрушения ударной волной и возможных последствий взрыва газовоздушных смесей

79. Открытие фосфора

80. Фосфор

Бумага "IQ Color", А4, 250 листов, 5 цветов.
Обладает высокой однородностью цвета и точной нарезкой листа. Применяется для печати на копировально-множительной технике, лазерных и
462 руб
Раздел: Формата А4 и меньше
Глобус Земли, физический, 320 мм.
Глобус Земли физический. Диаметр: 320 мм. На пластиковой подставке.
711 руб
Раздел: Глобусы
Телескопическая ложка.
Прикольный подарок, который рассмешит участников любого застолья. При помощи этой ложки Вы можете с невозмутимым видом «подцепить»
397 руб
Раздел: Прочее

81. Удобрение картофеля. Известкование и система удобрения в специализированном севообороте хозяйства Нечерноземной зоны Владимирской области

82. Что такое геопатогенные зоны

83. Климатические характеристики общего содержания озона в долготной зоне 100-110° в.д.

84. Диффузия водорода из мантии Земли в космос

85. Географические зоны Азии

86. Комплексное освоение прибрежной зоны Черного моря – важнейший фактор ее устойчивого развития
87. Техногенные воздействия в береговой зоне моря в Калининградской области
88. Экологическое воздействие разломных зон на окружающую среду на примере мушкетовского надвига

89. Калининградская область - особая экономическая зона

90. Экспериментальные исследования динамики смещений в разломных зонах

91. Глубинное строение Южной Камчатки по геофизическим данным

92. Комплекс оборудования для воздействия на призабойную зону скважин в осложненных условиях

93. Эволюция магматизма в зоне сочленения гранит зеленокаменных и гранулит-гнейсовых областей, Восточные Саяны, Сибирь

94. Радiоекологiя чорнобильської зони

95. Одномерные и двумерные массивы (таблицы)

96. Кровяное давление

Подарочная расчёска для волос "Лиза".
Стильная детская расчёска дарит радость и комфорт. Этот практичный аксессуар по достоинству оценят как маленькие модницы, так юные
372 руб
Раздел: Расчески, щетки для волос
Набор маркеров для досок "Kores", 3 мм, 6 штук.
Набор маркеров для досок. Круглый наконечник. Пластиковый корпус. Стираются с таких гладких поверхностей, как пластик, стекло и эмаль,
390 руб
Раздел: Для досок
Набор капиллярных ручек "Triplus 334", 42 цвета.
Количество цветов: 42 ярких цвета. Эргономичная форма для удобного и легкого письма. Пишущий узел завальцован в металл. Защита от
2653 руб
Раздел: Капиллярные

97. Соя: из глубины веков

98. Тупиковый путь к одномерному миру, или Ошибки, которые могут стать роковыми

99. Защита от психологического давления

100. Менеджмент, зона комфорта, допамин и депрессия


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.