Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте www.za4et.net.ru

Компьютеры, Программирование Компьютеры, Программирование

Классификация физико-химических методов обработки и очистки. Плазменные методы удаления материала с поверхности твердого тела

Ночник-проектор "Звездное небо, планеты", черный.
Оригинальный светильник-ночник-проектор. Корпус поворачивается от руки. Источник света: 1) Лампочка (от карманных фанариков); 2) Три
350 руб
Раздел: Ночники
Забавная пачка "5000 дублей".
Юмор – настоящее богатство! Купюры в пачке выглядят совсем как настоящие, к тому же и банковской лентой перехвачены... Но вглядитесь
60 руб
Раздел: Прочее
Наклейки для поощрения "Смайлики 2".
Набор для поощрения на самоклеящейся бумаге. Формат 95х160 мм.
19 руб
Раздел: Наклейки для оценивания, поощрения

БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИНФОРМАТИКИ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ кафедра ЭТТ РЕФЕРАТ на тему: «Классификация физико-химических методов обработки и очистки. Плазменные методы удаления материала с поверхности твердого тела» МИНСК, 2008 В соответствии с применяемыми средствами очистку делят на жидкостную и сухую. Жидкостная очистка выполняется органическими - растворителями; разнообразными составами, содержащими щелочи, кислоты, пероксид, и другие реактивы, водой. Подобрать жидкое средство, одновременно удаляющее все возможные поверхностные загрязнения, весьма сложно, поэтому жидкостная очистка включает ряд последовательных операций. Нерастворимые в воде органические жировые загрязнения делают поверхность гидрофобной, т. е. плохо смачиваемой водой и большинством растворов. Для равномерной очистки поверхность подложек (пластин) необходимо перевести в гидрофильное, т. е. хорошо смачиваемое водой, состояние. Операция удаления жировых за- Рисунок 1 Классификация методов очистки и травления пластин и подложек грязнений, сопровождаемая переводом поверхности из гидрофобного состояния в гидрофильное, называется обезжириванием. Обезжиривание — первая операция при жидкостной очистке. Сухая очистка применяется на этапе формирования элементов и межэлементных соединений микросхем и, как правило, выполняется непосредственно перед проведением ответственных технологических процессов (напыление пленок, литография) или совмещена, т. е. проводится в одном оборудовании, с последующей обработкой (например, с получением термического оксида, с эпитаксиальным наращиванием полупроводниковых слоев). Методы сухой очистки исключают необходимость применения дорогостоящих и опасных в работе жидких реактивов, а также проблемы межоперационного хранения пластин и подложек и очистки сточных вод, которые являются немаловажными при использовании жидких средств очистки. Кроме того, процессы сухой очистки более управляемы и легче поддаются автоматизации. С точки зрения механизма процессов все методы очистки можно условно разделить на физические и химические (см. рисунок 1). При физических методах загрязнения удаляются простым растворением, отжигом, обработкой поверхности ускоренными до больших энергий ионами инертных газов. В тех случаях, когда загрязнения нельзя удалить физическими методами, применяют химические методы, при которых загрязнения удаляют: их замещением легко удаляемыми веществами, переводом в легко растворимые комплексные соединения или травлением пластин (подложек). Травление сопровождается удалением поверхностного слоя вместе с имеющимися на поверхности загрязнениями. На рисунке 1 мы выделили травление, чтобы подчеркнуть, что в технологии микросхем (как будет ясно далее) травление не всегда имеет целью очистку. Оно применяется для размерной обработки, удаления слоя с нарушенной механическими обработками • структурой, локального удаления слоев различных материалов при формировании топологии микросхем, выявления поверхностных дефектов полупроводников и др. Плазменные методы удаления материала с поверхности твердого тела. Сущность и классификация методов обработки поверхности Плазмохимическое травление, как и ионное, проводят в вакуумных установках и также используют плазму газового разряда.

Плазмохимическое травление (в отличие от чисто физического распыления при ионном травлении) имеет химическую природу. Оно основано на использовании об­ладающих большой реакционной способностью химически активных частиц, получаемых в плазме газового разряда. Процесс плазмохимического травления можно разделить на ряд этапов: доставка плазмообразующего газа, пара или смеси в камеру вакуумной установки; образование химически активных частиц в газовом разряде; доставка их к обрабатываемой поверхности; химические реакции с образованием легко летучих соединений; десорбция и удаление образующихся летучих соединений через откачную - систему вакуумной установки. Плазмообразующие газы выбирают исходя из свойств обрабатываемого материала. Для травления кремния и некоторых металлов применяют галогеносодержащие молекулярные газы, так как именно в их плазме образуются необходимые химически активные частицы, переводящие поверхностные слои в летучие соединения. Для разбавления и обеспечения требуемых параметров травления в плазму дополнительно вводят аргон, кислород, азот. Наиболее часто для травления кремния и его соединений применяют смесь фреона-14 CF4 с (2 . 8)% кислорода. Присутствие кислорода повышает скорость травления и качество очистки. Фреон-14 относительно инертен, при любых температурах он не взаимодействует с кремнием. В плазме химически активные частицы образуются в результате взаимодействия молекул газа с ускоренными электронами, которые в отличие от тяжелых частиц обладают существенно большими энергиями. В плазме фреона-14 с кислородом образование химически активных частиц — возбужденного атома фтора F , положительно заряженного радикала CF3 , атомарного кислорода О — сопровождается реакциями (1) Травление кремния и его соединений сопровождается реакциями: (2) Тетрафторид кремния SiF4 — летучее соединение, легко удаляемое из рабочей камеры установки откачкой. На поверхности кремниевых пластин возможно образование углерода: Si CF3 =&g ; C 3F Si e.(3) Присутствие в плазме кислорода способствует очистке поверхности от углерода за счет его оксидирования до СО или СО2. Кислород также способствует повышению концентрации возбужденных атомов фтора в результате образования радикалов COF и их диссоциации: COF =&g ; F CO.(4) Это увеличивает скорость травления кремния. Атомарный кислород также очищает поверхность от органических загрязнений. При плазмохимическом травлении физическое распыление прак­тически отсутствует, так как энергия ионов не превышает 100 эВ. В зависимости от конструкции установок различают плазменное и радикальное плазмохимическое травление. Плазменное травление осуществляют непосредственно в плазме газового травления, т.е. с участием всех химически активных частиц, как с большим (F — 0,1 . 1 с), так и с малым, временем жизни ('CF з — около 10 мкс). В камерах диодного типа (Рисунок 2) пластины кремния помещают на нижнем медленно вращающемся электроде (0,1 об/с). Пластины электрически, изолированы от электрода, чтобы исключить ионную бомбардировку. Радикальное плазм о химическое травление проводят в области вакуумной камеры отделенной от плазмы газового разряда перфорированным металлическим экраном (Рисунок 3) или магнитными электрическими полями.

ВЧ-плазма возбуждается между цилиндрическими поверхностями рабочей камеры и экрана. Травление осуществляется только нейтральными химически активными атомами О или радикалами F с большим временем жизни, проникающими из плазмы в зону расположения пластин. Заряженные частицы плазмы не могут попасть к поверхности пластин через отверстия цилиндрического экрана. В зоне, свободной от заряженных частиц, возбужденные атомы фтора и атомарный кислород, многократно соударяясь с молекулами рабочего газа, движутся разупорядоченно, что обеспечивает высокую однородность травления от пластины к пластине и по площади каждой пластины. Так как возбужденные атомы и свободные радикалы отличаются высокой реакционной способностью, то эффективность травления существенно повышается. По сравнению с ионным травлением при одинаковых параметрах разряда скорость возрастаег более чем на порядок. Благодаря электрической активации газов илазмохимическое травление проводится при существенно меньших температурах 100. 300 °С по сравнению с обычным газовым травлением. Плазмохимическое травление из-за химического механизма обладает высокой избирательностью относительно раз- Рисунок 2. Схема вакуумной камеры диодного типа для плазмохимического травления непосредственно в плазме: 1 — подача рабочего газа; 2— вакуумная камера; 3 — электрод Рисунок 10.2.1. Схема вакуумной камеры диодного типа для плазмохимического травления непосредственно в плазме: Рисунок 3. Схема вакуумной камеры для радикального плазмохимического травления: 1 — кварцевая камера; 2— перфорированный цилиндр; 3 — кассета с пластинами (подложками); 4 — ВЧ-индуктор; 5—подача рабочего газа; 6 — откачной патрубок личных материалов (например, F травит кремний значительно быстрее, чем диоксид кремния). Благодаря невысокой энергии частиц, поступающих на обра­батываемую поверхность, радиационные дефекты незначительны. Химический механизм травления обусловливает наличие бою вой скорости травления, что является недостатком при локальной обработке. К недостаткам плазмохимического травления можно также отнести: ограниченное количество соединений для получения в плазме химически активных частиц, обеспечивающих образование летучих веществ; сложность химических реакций, протекающих в плазме и на обрабатываемой поверхности; большое число взаимосвязанных технологических и конструктивных параметров. Последние трудности преодолеваются по мере изучения и освоения процессов. Реактивное ионное травление. Реактивное ионное (называемое также ионно-химическим) травление по механизму процесса является комбинированным методом. Удаление обрабатываемого материала происходит в результате его распыления ускоренными ионами и образования легколетучих соединений при взаимодействии с химически активными частицами плазмы. От плазмохимического травления оно отличается тем, что энергия ионов больше и достаточна для распыления, а от ионного травления — тем, что используется не инертная, а содержащая химически активные частицы плазма. При этом физическое распыление интенсифицирует химические реакции, а химические реакции, ослабляя межатомные связи на обрабатываемой поверхности, увеличивают скорости распыления.

Он шел по стопам врачей, то есть старался облегчить страдания, и создал в науке новое направление, чье название еще не определилось. Одни называют его прикладной школьной психологией, другие — научной педагогикой. Нужно вспомнить, что экспериментальная психология была основана в 1860 году физиком Фешнером, привыкшим исследовать вещи, не людей. Он перенес физические методы исследования на психику человека и так создал психофизику. Инструменты его были очень точны, однако разброс данных так велик, что, говоря языком математики, это нельзя объяснить погрешностями измерений, это погрешность метода. Давайте сравним с физикой. Чтобы измерить жидкость, нужен иной инструмент, чем для измерения твердых тел. Нельзя, к примеру, измерять ткань литрами, а вино метрами. Представляете, как велико должно быть различие между инструментами для измерения физических и духовных субстанций! После психофизики усилиями Вандта возникла психофизиология. Вандт, физиолог, применил методы физиологических исследований. И сумел измерить скорость нервных реакций

1. Физико-химические методы определения остаточных концентраций хлорорганических пестицидов в продуктах питания

2. Формы и методы предъявления задач на уроках физике на материале изучения темы "Изменение агрегатных состояний вещества"

3. Обращенная газовая хроматография: физико-химические основы метода, применение, современное аппаратурное оформление

4. Методы выделения мономинеральных фракций

5. Физико-химические изменения, происходящие при приготовлении блюда "Борщ украинский с пампушками"

6. Физико-химические свойства нефтей Тюменского региона
7. Физико-химическая модель генерации и эмиссии метана на донных осадков озера Байкал
8. Химический метод Винклера для определения растворенного кислорода

9. Физико-химический анализ жидких систем

10. Физико-химическое обоснование режимов электрохимического полирования меди

11. Исследование некоторых физико-химических свойств протеиназы Penicillium wortmannii

12. Расчёт выброса загрязняющих веществ, при сжигании топлива в котлоагрегатах котельной

13. Приборы и методы замера вредных веществ в отработавших газах автомобиля

14. Кинетическое и термодинамическое исследование физико-химических процессов

15. Метод выделения единичных вызванных потенциалов из электроэнцефалограммы без шаблона

16. Состав и физико-химические свойства молока

Стул детский Little Angel "Я расту" (цвет: салатовый).
Размер: 30х32,5х58,2 см. Материал: пластик. Цвет: салатовый.
625 руб
Раздел: Стульчики
Двухколесный мотоцикл-каталка со шлемом, значком и протоколом.
Двухколесный мотоцикл-каталка снабжен шлемом, значком и протоколом. Такая игрушка предназначена для детей старше одного года. Она
1765 руб
Раздел: Каталки
Комплект пеленок для мальчика Idea Kids однотонный из бязи (3 штуки, 120х75 см).
Пеленки - это самые первые вещи, в которые Вам предстоит одеть Вашего малыша. Комплект пеленок - станет верным помощником в первые месяцы
357 руб
Раздел: Пелёнки

17. Методы выделения антибиотиков

18. Физико-химические аспекты переработки термореактивных полимеров

19. Исследование физико-химических и прикладных свойств новых полимерных композиционных материалов на основе слоистых силикатов и полиэлектролитов

20. Химические методы анализа

21. Химические методы получения порошкообразных материалов и извлечения железа

22. Энтальпия образования индивидуальных веществ. Прогнозирование энтальпии образования методом Бенсона
23. Методы выделения и анализа кумаринов в лекарственное растительное сырьё
24. Загрязняющие вещества атмосферного воздуха и их влияние на морфофизиологические показатели растений

25. Синергизм в плане загрязняющих веществ

26. Инвентаризация выбросов загрязняющих веществ в атмосферу г. Черемхово от ИТЭЦ-12

27. Применение методов линейного программирования в военном деле. Симплекс-метод

28. Применение метода электрофореза при контроле состава питьевых, природных и сточных вод

29. Химическое загрязнение природных вод

30. Химический анализ дождевой воды

31. Сравнение методов. Очистка воды от загрязнений

32. Метод лінгвістичної географії. Зіставний метод. Структурний метод у лінгвістичних дослідженнях

Матрас-кокон "Зевушка".
«Зевушка» - это удобная постель для деток в возрасте до 6 месяцев, в которой они быстрее засыпают, лучше спят и проще адаптируются к
5200 руб
Раздел: Матрацы до 120 см
Настольная игра "Битва полов", артикул 7747.
Предлагаем вам принять участие в извечном противостоянии мужчин и женщин. В настоящей битве сойдутся мужское мышление и женская логика,
568 руб
Раздел: Игры для взрослых (18+)
Рамочка на 12 фотографий "Первый год" (белая).
Рамочка с отпечатком - это особый подход к созданию очаровательного подарка на память для этого особого периода жизни, с картинкой и
2503 руб
Раздел: Мультирамки

33. Методы поиска новых идей и решений. Совершенствование методов управления в менеджменте

34. Методы очистки воды

35. Влияние химически активных веществ на здоровье человека

36. Исследование влияния функциональных химических веществ на обезвоживание волокнистой массы

37. Методы поиска и исследований в преподавании физики

38. Методы активации химических процессов
39. Использование графического метода при изучении электрического резонанса в курсе физики средней школы
40. Новый подход к методам химической очистки призабойной зоны ствола скважины при заканчивании открытым стволом

41. Развитие творческих способностей учащихся по теме физики 8 класса "Агрегатные состояния вещества"

42. Кислород и водород как химические элементы и простые вещества. Их получение и применение

43. Кислород и водород как химические элементы и простые вещества. Их получение и применение

44. Вредные вещества на рабочем месте и методы их фильтрации

45. Химический состав органических веществ

46. Химическая организация клетки. Органические вещества

47. Характеристика хлора как аварийно химически опасного вещества

48. Опасность в производственной среде: влияние химических веществ

Этикетка самоклеящаяся "Lomond", А4, белая.
Размер этикетки - 210х297 мм. 1 этикетка на листе формата А4. Плотность - 70 г/м2. Тип этикетки - матовая. Цвет - белый.
323 руб
Раздел: Бейджи, держатели, этикетки
Брелок "FIFA 2018. Забивака с двумя подвесками №2".
Брелок с символикой чемпионата мира FIFA 2018. Материал: металл.
491 руб
Раздел: Брелоки, магниты, сувениры
Чудо трусики для плавания, от 0 до 3-х лет, трехслойные, арт. 1433, для девочек.
Детские специальные трусики для плавания в бассейне и открытом водоеме. Плотно прилегают, отлично защищают! Изготовлены из хлопка, имеют
376 руб
Раздел: Многоразовые

49. Изучение химического состава продовольственных товаров (на примере дубильных веществ)

50. Нетрадиционные методы химической завивки

51. Аналогии и модели - один из методов обучения физики средней школы

52. Методы химического анализа

53. Графический метод решения химических задач

54. Химическая физика и некоторые проблемы биологии
55. Концептуальные уровни в познании веществ и химические системы
56. Влияние токсических химических веществ на здоровье человека

57. Методы неценовой конкуренции в химической промышленности

58. Размеры звезд. Плотность их веществ

59. Физика звезд

60. Исследование природных ресурсов планеты с помощью космических методов

61. Исследование клеточного цикла методом проточной цитометрии

62. ОСНОВНЫЕ МЕТОДЫ ГЕНЕТИКИ

63. Методы психогенетики

64. Серое и белое вещество головного мозга

Кружка керамическая "FIFA 2018", 1000 мл.
Объем: 1000 мл. Материал: керамика.
1231 руб
Раздел: Кружки, посуда
Корзина "Плетенка" с крышкой, (350x290x175) (бежевый).
Материал: пластик. Ширина: 29 см. Длина: 35 см. Высота: 17,5 см. Цвет: бежевый.
303 руб
Раздел: Корзины для стеллажей
Сковорода-гриль чугунная, со съемной деревянной ручкой, 25x25х4 см (квадратная).
Размеры: 25х25х4 см. Размер рабочей поверхности: 23х23х2 см. Чугунная литая сковорода-гриль со съемной ненагревающейся деревянной ручкой,
620 руб
Раздел: Сковороды гриль

65. Новейшие методы селекции: клеточная инженерия, генная инженерия, хромосомная инженерия

66. Биологическое и химическое оружие

67. Ядовитые вещества и их влияние на организм человека

68. Влияние радиоактивных веществ на организм человека (WinWord97/2000)

69. Исследования режима защиты рабочих и служащих химического завода в условиях радиоактивного заражения

70. Оценка химической обстановки
71. Оценка химической обстановки при разрушении (аварии) (объектов, имеющих СДЯВ [Курсовая])
72. Способы защиты населения при радиоактивном и химическом заражении местности

73. Ядовитые и отравляющие вещества

74. Очаги ядерного и химического поражения

75. Приборы химической разведки и химического контроля

76. Статистика населения. Методы анализа динамики и численности и структуры населения

77. Химическая промышленность, ее отраслевой состав и значение в народном хозяйстве страны (РФ)

78. Физико-механические свойства мёрзлых грунтов

79. Гидрохимический, атмохический и биогеохимический методы поисков

80. Добыча золота методами геотехнологии

Сундук-бар, 40x30x75 см.
Такой бар не займет много места. А поэтому он гармонично впишется в интерьер абсолютно любого помещения. Сундук-бар будет лучшим подарком
8493 руб
Раздел: Аксессуары для вина
Фоторамка "Clip" (70x100 см).
Рамка настенная может располагаться как вертикально, так и горизонтально. Для фотографий размером: 70x100 см. Материал: стекло.
456 руб
Раздел: Размер 50x60 и более
Набор фломастеров "Korellos", 20 цветов.
Фломастеры с тонким стержнем. В наборе 20 ярких и насыщенных цветов. Тонкий стержень прекрасно подходит для точного и аккуратного
377 руб
Раздел: 13-24 цвета

81. Основні методи боротьби з інфляцією

82. Экономическая сказка-реферат "НДС - вражья морда" или просто "Сказка про НДС"

83. Нелегальная миграция в России и методы борьбы с ней

84. Предмет и метод гражданского права

85. Реферат о Пугачеве

86. Формы и методы государственного регулирования экономики в Казахстане
87. Математические методы и модели в конституционно-правовом исследовании
88. Методы комплексной оценки хозяйственно-финансовой деятельности

89. Цикл-метод обучения. (Методика преподавания эстонского языка)

90. Специфика преподавания иностранного языка и метод проектов

91. Естественная и гуманитарная культуры. Научный метод

92. Соцреализм как метод искусства

93. Дидактические возможности отдельных методов обучения на уроках литературы в старших классах

94. Методы изучения музыкальных произведений крупной формы в старших классах общеобразовательной школы

95. Реферат по научной монографии А.Н. Троицкого «Александр I и Наполеон» Москва, «Высшая школа»1994 г.

96. Ломоносов и его вклад в развитие химической науки

Кубики "Сложи узор".
Игра состоит из 16 пластиковых кубиков, грани которых окрашены в четыре цвета (красный, желтый, синий, белый) определенным
466 руб
Раздел: Кубики (10 и более штук)
Качели подвесные "Гном".
Очень прочные универсальные качели, которые можно использовать как в домашних условиях, так и на природе. Основа выполнена из натурального
1400 руб
Раздел: Качели, кресла-качалки, шезлонги
Тёрка универсальная Nadoba "Sava", четырёхсторонняя.
Тёрка универсальная четырёхсторонняя. Универсальные терки серии Sava изготовлены из высококачественной нержавеющей стали, обладают не
469 руб
Раздел: Тёрки, мультитёрки

97. Метод комплексного археолого-искусствоведческого анализа могильников

98. Конвертер программы с подмножества языка Си в Паскаль с использованием LL(1) метода синтаксического анализа (выражения)

99. Методы компьютерной обработки статистических данных. Проверка однородности двух выборок


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.