Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте www.za4et.net.ru

Промышленность и Производство Промышленность и Производство

Исследование процессов ионного легирования полупроводниковых материалов

Мыло металлическое "Ликвидатор".
Мыло для рук «Ликвидатор» уничтожает стойкие и трудно выводимые запахи за счёт особой реакции металла с вызывающими их элементами.
197 руб
Раздел: Ванная
Чашка "Неваляшка".
Ваши дети во время приёма пищи вечно проливают что-то на ковёр и пол, пачкают руки, а Вы потом тратите уйму времени на выведение пятен с
222 руб
Раздел: Тарелки
Пакеты с замком "Extra зиплок" (гриппер), комплект 100 штук (150x200 мм).
Быстрозакрывающиеся пакеты с замком "зиплок" предназначены для упаковки мелких предметов, фотографий, медицинских препаратов и
148 руб
Раздел: Гермоупаковка

Реферат «Исследование процессов ионного легирования полупроводниковых материалов» Содержание Введение 1. Физические особенности процесса ионного легирования 2. Анализ влияния технологических параметров на процесс ионной имплантации 2.1 Распределение внедренных примесных атомов 2.2 Радиационные дефекты 2.3 Отжиг радиационных дефектов 3. Схема устройства для ионной имплантации 4. Возможности математического моделирования процесса ионной имплантации 4.1 Методы моделирования Список используемой литературы Введение Легирование полупроводника примесями проводится с целью создания различных приборных структур за счет изменения его электрофизических свойств: типа электропроводности, удельного сопротивления и других характеристик. Реализованные и потенциальные преимущества ионного легирования позволяют: осуществлять процесс с высокой производительностью; создавать практически любые профили распределения за счет ступенчатого легирования; совмещать процесс легирования с другими технологическими процессами поверхностей обработки кристалла; получать прецизионное формирование профиля полупроводниковых структур. С другой стороны, ионное легирование имеет недостатки и ограничения. Есть определенные трудности в проведении процесса легирования, связанные с нарушениями, созданными ионной бомбардировкой, и окончательным местоположением внедренных ионов. Как правило, необходимо устранить эти нарушения в виде смещенных из узлов кристаллической решетки атомов полупроводниковой мишени и в то же время сделать внедренные атомы примеси электрически активными. Обычно это достигается частичным или полным отжигом. К другим ограничениям следует отнести трудность создания и воспроизведения глубоких легированных областей, сложность обработки больших полупроводниковых пластин из-за расфокусировки при существенных отклонениях ионных пучков. Большое число регулирующих параметров процесса ионного легирования (доза, тип, энергия ионов, температура и среда отжига и др.) позволяют в широких пределах изменять свойства легированных слоев, но наряду с этим требуют глубокого физического понимания процессов внедрения ионов, их поведения в кристаллической решетке, кинетики образования и устранения радиационных дефектов, что необходимо для высококачественного технологического моделирования в конечном итоге эффективной реализации приборных структур и схем в интегральном исполнении. 1. Физические особенности процесса ионного легирования Процесс ионного легирования полупроводника включает две основных операции: собственно внедрение (имплантацию) ионов примеси и отжиг радиационных дефектов. Ионная имплантация – процесс внедрения в твердотельную подложку ионизированных атомов с энергией достаточной для проникновения их в приповерхностные области подложки (от кило- до мегаэлектронвольт). Наиболее общим применением ионной имплантации является процесс ионного легирования материалов, так как технология ионной имплантации позволяет с высокой точностью управлять количеством легирующей примеси. Ионная имплантация характеризуется универсальностью и гибкостью процесса, что позволяет получать необходимые концентрации примеси в случаях, когда другие методы неприемлемы (легирование бором и фосфором в алмазах).

Маски при данном методе легирования могут быть изготовлены из фоторезистов, окислов, нитридов, поликристаллического кремния и др. Процесс ионной имплантации может осуществляться при низких температурах (вплоть до комнатных), благодаря чему сохраняются исходные электрофизические свойства кристаллов. Процесс ионного легирования заключается в ионизации и ускорении до больших скоростей атомов примеси. Эффективная масса иона в 103 – 105 больше массы электрона, поэтому при заданной энергии ион имеет импульс, в 102 – 104 раз превышающий импульс электрона. Ускоренные атомы примеси внедряются в кристаллическую решетку полупроводника под воздействием приобретенного импульса. Проникая в кристаллическую решетку, ионизированный атом примеси постепенно теряет кинетическую энергию за счет взаимодействия с электронами и упругих столкновений с атомами полупроводника и примеси, т.е. в результате электронного и ядерного торможения. При точной ориентации направления падения пучка ионов вдоль одной из кристаллографических осей пластины полупроводника, часть ионов движется вдоль атомных рядов, между которыми имеются достаточно широкие каналы, свободные от атомов. Это явление называют каналированием. Попав в канал, ионы испытывают менее сильное торможение и проникают в несколько раз глубже, чем в случае неориентированного внедрения. Если энергия, переданная атому решетки, превышает энергию связи атомов в твердом теле, то атом покидает узел. В результате образуется дефект. После имплантации производят отжиг, задача которого – устранить радиационные нарушения и обеспечить электрическую активацию внедренных атомов. 2. Анализ влияния технологических параметров на процесс ионной имплантации На процесс ионной имплантации влияют различные факторы такие как масса и энергия ионов, дозы облучения, материал мишени, её температура и кристаллическая ориентация, наличия на её поверхности загрязнений и т.п. 2.1 Распределение внедренных примесных атомов При имплантации используются три вида материалов: аморфные, поли- и монокристаллические. Аморфные и поликристаллические материалы служат в качестве масок при имплантации ионов. В монокристаллических материалах создаются структуры с заданным профилем концентрации примесей. При внедрении в мишень быстрые ионы в результате столкновений с атомными ядрами и электронами теряют свою энергию и останавливаются. Длина пути ионов от поверхности мишени до точки внедрения называется длиной пробега R, а её проекция на направления первоначального движения – проекцией пробега Rp(рисунок 1), которая является экспериментально определяемой величиной. Распределение пробега ионов в атмосферном теле зависит главным образом от их энергии и атомной массы, а также вещества мишени. Для монокристаллических мишеней на распределение пробега влияет ориентация их граней относительно пучка ионов и наличие эффекта каналирования – движение ионов по каналам, образованным атомными плоскостями. При движении ионов в твердом теле внедряемые в подложку ионы меняют направление своего движения из – за столкновений с атомами мишени, которые могут покидать свои первоначальные положения в узлах кристаллической решетки.

В результате вдоль траектории внедренных ионов образуются многочисленные вакансии и междоузельные атомы. Возникают целые области, в которых нарушена кристаллическая решетка, вплоть до перехода монокристалла в аморфное состояние. При этом обычно оценивают два вида потерь энергии ионами – в результате взаимодействия их с электронами (как связанными, так и свободными) и ядрами. В первом приближении считается, что оба вида потерь не зависят друг от друга и действуют одновременно. Ядерное торможение более существенно при малых энергиях, электронное торможение преобладает при высоких энергиях ионов. С увеличением массы внедряемых ионов возрастают потоки энергии за счет столкновений с ядрами мишени. Среднее значение удельных потерь энергии для одного бомбардирующего иона можно представить в виде суммы ядерной S и электронной Se составляющих процесса торможения. Радиационные нарушения в мишени создаются главным образом при S &g ;&g ; Se.Поэтому при внедрении ионов малых энергий радиационные дефекты образуются вдоль всей траектории, а при высокой энергии ионов – только в конце их пробега. Распределение пробегов ионов в монокристаллических мишенях отличается от их распределения в аморфных тем, что в монокристаллах направление падающего пучка ионов может совпадать с одним из основных кристаллографических направлений мишени, что связано с эффектом каналирования. Движение ионов строго по центру канала маловероятно. Однако может существовать траектория, осциллирующая около оси канала, если имплантированные ионы передвигаются с помощью последовательных легких соударений с атомами, образующими “стенки” канала. Такая траектория движения ионов показана на рисунке 2, где направление пути иона составляет угол φ с осью канала. Максимальный угол φ, при котором исчезает направляющее действие атомов мишени, называется критическим углом каналирования φкр. Он определяет возможность каналирования. Если предположить, что все ионы идеально каналированы, то распределения концентрации ионов в мишени будут иметь два максимума: один для неканалированных ионов, другой для идеально каналированных (рисунок 3). В полупроводниковой технологии эффект каналирования дает возможность получать более глубокие легированные слои и уменьшать число радиационных нарушений. На образцах кремния с ориентацией поверхности (110) относительно пучка, вероятность каналирования с ростом энергии ионов возрастает, а с увеличением дозы облучения падает. Увеличение температуры мишени вызывает деканалирование ионов вследствие тепловых колебаний кристаллической решетки (рисунок 3). 2.2 Радиационные дефекты При облучении твердых тел ионами, так же как и быстрыми частицами (нейтронами, протонами, электронами), образуются радиационные дефекты. Это могут быть либо точечные дефекты (вакансии и атомы в межузлиях, комплексы), либо их скопления, либо линейные и плоскостные дефекты типа дислокаций и дефектов упаковки. Интересным специфическим явлениям при облучении ионами является аморфизация полупроводника, т.е. полное разупорядочение структуры. От наличия дефектов и их концентрации зависят многие свойства полупроводника.

В числе научных работников 23 действительных члена и 26 член-корреспондент АН Латвийской ССР, свыше 220 докторов и 2900 кандидатов наук.   Ведущее научное учреждение республики — Академия наук Латвийской ССР (основана в 1946). В её составе 3 отделения и 16 научно-исследовательских учреждений. Большую научную работу ведут отраслевые институты союзных и республиканских ведомств, Латвийский государственный университет, Латвийская с.-х. академия, Рижские политехнический и медицинский институты и др. вузы Л.   Учёные Л. сотрудничают со специалистами академий наук и др. научно-исследовательских учреждений др. союзных респуолик и всесоюзных научных центров. Так, институт физики АН Латвийской ССР сотрудничает в области исследований тепло- и массопереноса, магнитной гидродинамики, ядерной физики с институтом теоретической физики им. Л. Д. Ландау, Физико-техническим институтом им. А. Ф. Иоффе, институтом гидродинамики Сибирского отделения АН СССР, институтом ядерных исследований АН СССР, институтом физики АН УССР. Физико-энергетический институт АН Латвийской ССР проводит совместные исследования по теории электрофизических процессов в полупроводниковых материалах и структурах со Всесоюзным институтом «Энергосетьпроект», институтом физики и математики АН Литовской ССР и др. научными учреждениями и является головной организацией в разработке проблем энергетики С.-З. СССР

1. Радиационные процессы в ионных кристаллах

2. Аномалии и дефекты физического строения

3. Физические процессы при деформировании грунтов

4. Золотая и медная минерализация: геохимические и физические процессы

5. Физические процессы в хлебопечении

6. Физические процессы и технологии получения материалов
7. Физические процессы в проводниках и их свойства
8. Моделирование физических процессов

9. Проектирование учебно-воспитательного процесса в контексте современной казахстанской модели образования

10. Адсорбенты и ионные обменники в процессах очистки природных и сточных вод.

11. Специальная физическая подготовка и распределение средств в учебном процессе для гимнастов групп начальной подготовки

12. Конверсия основных положении теории спортивной подготовки в процессе физического воспитания

13. Содержание процесса физического воспитания в системе педагогического образования

14. Анализ динамики процесса повышения квалификации специалистов по физической культуре и спорту

15. Ритмическая гимнастика в процессе физического воспитания студентов вуза

16. Модернизация дидактического процесса в вузе физической культуры на базе современной технологии обучения

Аэрозоль Gardex "Extreme" от кровососущих насекомых и клещей, 150 мл.
Уникальный продукт с самым широким спектром действия. От всех летающих кровососущих насекомых: комаров, москитов, слепней, мокрецов,
372 руб
Раздел: Аэрозоль, спрей
Шнуровка-бусы "Весна".
Эта простая, но интересная игрушка увлечет малыша! Цель игры - нанизать на шнурок все бусинки и сделать яркие бусы! Ребенку будет
321 руб
Раздел: Деревянные шнуровки
Подгузники-трусики для девочек Huggies DryNights, 8-15 лет, 9 штук.
Деликатная защита на всю ночь для детей от 4х лет, страдающих энурезом. Одноразовые Трусики Хаггис Драйнайтс для девочек 8-15 лет (30 - 47
427 руб
Раздел: Обычные

17. Роль физической и медицинской реабилитации в процессе восстановления

18. Методы активизации познавательной деятельности учащихся в процессе изучения курса "Физическая география материков и океанов"

19. Дидактические процессы в предмете физическая культура

20. Механизмы имплантации в металлы и сплавы ионов азота с энергией 1-10 кэВ

21. Использование дефектов, возникающих при имплантации водорода или гелия, для формирования глубинных структур в кремнии

22. Планирование процесса физического воспитания
23. Анализ кредитного процесса с физическими лицами
24. Физическое строение Солнца

25. Общая характеристика процесса научения

26. Биологическая роль гидролиза в процессах жизнедеятельности организма

27. Разработка основных биотехнологических процессов производства и системы управления качеством липидных косметических препаратов (на примере тоников для проблемной кожи)

28. Организационно-технические вопросы обучения по темам безопасной эксплуатации радиационно-опасных объектов

29. Перечень радиационно-опасных объектов России

30. Учет и профилактика чрезвычайных ситуаций на радиационно-опасных объектах г.Москвы

31. Приборы для измерения радиационного загрязнения

32. Ответы на госэкзамены по географии (экономической, физической и экологии)

Сумка для обуви "Феи и невиданный зверь".
Пошита из водонепроницаемого износостойкого полиэстра. Подходит для частой стирки, не выцветает. Размер: 31х44 см.
309 руб
Раздел: Сумки для обуви
Цветные акварельные карандаши "Lyra Osiris Aquarell", 24 цвета.
Цветные акварельные карандаши, треугольные с кистью, диаметр грифеля 3,3 мм.
753 руб
Раздел: 13-24 цвета
Подушка детская Dream Time.
Приятная на ощупь подушка сделан из материала, который отличается надежностью, прочностью и легкостью ухода. В качестве наполнителя
698 руб
Раздел: Подушки для детей

33. Социально-экономическая модель в Швеции: процесс становления и развития

34. Физическая география СНГ (Азиатская часть)

35. Интегрированный проект учебного процесса

36. Гамма – каротаж. Физические основы метода

37. Бюджетный процесс ( и налоговый кодекс, налоговая декларация, закон Красноярского края "о плате за землю")

38. Налогообложение физических лиц
39. Экономическая сказка-реферат "НДС - вражья морда" или просто "Сказка про НДС"
40. Адвокат в уголовном процессе

41. Доказательства в арбитражном процессе (Контрольная)

42. Арбитражный процесс

43. Прокурор в хозяйственном процессе

44. Граждане как субъекты гражданского права (физические лица)

45. Гражданский процесс

46. Гражданский процесс (Контрольная)

47. Гражданский процесс (Контрольная)

48. Доказательства в гражданском процессе

Карандаши цветные BIC "Kids ECOlutions Evolution", пластиковые, 24 цвета.
Цветные заточенные карандаши «Evolution Kids», специально для маленьких детей. Грифели не ломаются при падении. Удобное, легкое
503 руб
Раздел: 13-24 цвета
Комплект постельного белья 1,5-спальный "Disney" (с наволочкой 50х70 см).
Добро пожаловать в мир популярных персонажей, супергероев и сказочных существ. Постельное белье для мальчиков и девочек украсит интерьер и
2232 руб
Раздел: Детское, подростковое
Шары Ньютона "Эврика", большие.
Движение – это жизнь! Небольшая настольная кинетическая скульптура в собранном виде демонстрирует закон сохранения энергии, открытый
390 руб
Раздел: Антистрессы

49. Прокурор в гражданском процессе

50. Шпаргалка по гражданскому процессу

51. Представительство в гражданском процессе

52. Лица, участвующие в процессе

53. Письменные доказательства в системе доказательств гражданского процесса

54. Инквизиционный процесс. Формальная система доказательств
55. Реферат о Пугачеве
56. Бюджетный процесс в США

57. Законотворческий процесс в Республики Казахстан

58. Нюрнбергский процесс

59. Виды налогов и порядок уплаты их физическими лицами

60. Налоги на доходы физических лиц

61. Уголовный процесс зарубежных стран

62. Физическое лицо – предприниматель: вопросы правового регулирования в РФ

63. Процесс законотворчества и его стадии в России

64. Налоги на имущество организаций и физических лиц в РФ

Кружка фарфоровая "Olympia", 300 мл.
Кружка фарфоровая "Olympia", украшенная золотой обводкой, станет достойным дополнением к вашей коллекции посуды для чаепития. Объём: 300 мл.
304 руб
Раздел: Кружки
Самоклеящиеся этикетки, A4, 105x57 мм, 10 этикеток на листе, 100 листов.
Формат: А4. Размер: 105x57 мм. В комплекте: 100 листов (на 1 листе 10 этикеток).
500 руб
Раздел: Бейджи, держатели, этикетки
Простыня на резинке "Мокко", 160x200 см.
Трикотажная простыня "Tete-a-Tete" изготовлена из 100% хлопка высокого качества. Натуральный, экологически чистый материал
741 руб
Раздел: Простыни, пододеяльники

65. Структура и организация учебного процесса в средневековом университете (Болонья, Париж, Прага)

66. Процессы ведьм

67. Проблема воздействия телевизионной рекламы на процесс инкультурации в современном российском обществе

68. Реферат по научной монографии А.Н. Троицкого «Александр I и Наполеон» Москва, «Высшая школа»1994 г.

69. Реферат по книге Фернана Броделя

70. История физической культуры Китая
71. Роль личности в глобальном процессе управления определяющем ход истории
72. История развития физической культуры в древней Греции и Риме

73. Принципы работы системы управления параллельными процессами в локальных сетях компьютеров

74. Физические основы действия современных компьютеров

75. Получение уравнения переходного процесса по передаточной функции

76. Лабораторные работы по теории и технологии информационных процессов

77. Семейство операционных систем W2k. Обзор версий. Процессы и очереди

78. Переходные процессы в линейных цепях

79. Информационный процесс. Обработка информации

80. ТИПИЧНЫЕ ДЕФЕКТЫ В КРИПТОГРАФИЧЕСКИХ ПРОТОКОЛАХ

Машинка "Бибикар (Bibicar)" с полиуретановыми колесами, зеленая.
Эта модель оснащена улучшенными колесами, выполненными из высококачественного полиуретана. Теперь езда на этой удивительной машинке стала
2650 руб
Раздел: Каталки
Караоке микрофон "Любимые песенки".
В каждом микрофоне – 12 популярных песенок известных композиторов: "Улыбка", "Пусть бегут неуклюже", "Танец
342 руб
Раздел: Микрофоны
Антистрессовая подушка-турист "КотоПес".
Подушка-антистресс "Котики Обормотики" предназначена для детей от 3 лет. Цветная подушка привлечет внимание ребенка и может
534 руб
Раздел: Дорожные пледы, подушки

81. Использование дифференциальных уравнений в частных производных для моделирования реальных процессов

82. Трансплантация органов и тканей. Определение понятия пластической хирургии. Современная терминология в трансплантологии. Основные виды пересадки кожи. Причины отторжения трансплантантов. Профилактика осложнений. Реплантация. Имплантация

83. Физические и химические основы явлений наследственности

84. Клиника Диагностика и Лечение Гиперпластических процессов эндометрии

85. Патофизиологические процессы в тканях

86. Эффективность влияния озона на течение перитонита и процесс спайкообразования в эксперименте
87. Наркомания в молодежной среде: история, причины, характеристика, физическая зависимость, лечение
88. Комплекс физических упражнений при вертебробазилярной недостачности

89. Лечебная физическая культура при заболевании дыхательного аппарата

90. Перечень и сущность дефектов оказания медицинской помощи

91. Лечебная физическая культура при черепно-мозговых травмах (сотрясениях мозга)

92. Врожденный порок сердца. Дефект межпредсердной перегородки

93. Эмоция любви как биохимический процесс

94. Применение психологических знаний в процессе оперативно - розыскной деятельности

95. Участие прокурора в гражданском процессе

96. Уголовный процесс (Контрольная)

Многоразовые развивающие карточки. Рисование.
Ваш малыш хочет рисовать, но пока не умеет этого делать? Помогите ребенку научиться рисовать при помощи уникальных многоразовых карточек!
344 руб
Раздел: Прочие
Сумка-транспортный чехол Baby care "TravelBag" для коляскок "Трость", чёрный.
Размер: 380х180х1100 мм. Цвет: черный.
634 руб
Раздел: Дождевики, чехлы для колясок
Перчатки Paclan, виниловые, 100 штук, размер M.
Материал: поливинилхлорид. Без внутреннего напыления. Для одноразового применения. Размер M (средний). Комплект: 50 пар (100 шт).
360 руб
Раздел: Перчатки

97. Уголовный процесс (Контрольная)

98. Лекции по уголовному процессу

99. Права подозреваемого и гарантии их реализации в уголовном процессе

100. Подозреваемый и обвиняемый в уголовном процессе


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.