Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте www.za4et.net.ru

Химия Химия

Моделирование процессов ионной имплантации

Пакеты с замком "Extra зиплок" (гриппер), комплект 100 штук (150x200 мм).
Быстрозакрывающиеся пакеты с замком "зиплок" предназначены для упаковки мелких предметов, фотографий, медицинских препаратов и
148 руб
Раздел: Гермоупаковка
Брелок LED "Лампочка" классическая.
Брелок работает в двух автоматических режимах и горит в разных цветовых гаммах. Материал: металл, акрил. Для работы нужны 3 батарейки
131 руб
Раздел: Металлические брелоки
Браслет светоотражающий, самофиксирующийся, желтый.
Изготовлены из влагостойкого и грязестойкого материала, сохраняющего свои свойства в любых погодных условиях. Легкость крепления позволяет
66 руб
Раздел: Прочее

Московская Государственная Академия Тонкой Химической Технологии им. М. В. Кафедра ТПМ КУРСОВАЯ РАБОТА Тема: «Математическое моделирование ионно-имплантированных структур». Руководитель Евгеньев С. Б. Выполнил Гнездилов А. Л. МОСКВА 1999г. ПЛАН РАБОТЫ: 1. Общие сведения о процессе ионной имплантации. 2. Постановка задачи. 3. Математическая модель. 4. Программное обеспечение. 5. Техническое обеспечение. 6. Результаты расчета. 7. Заключение. 8. Литература. Общие сведения о процессе ионной имплантации. НАЗНАЧЕНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИИонной имплантацией называется процесс внедрения в мишень ионизованных атомов с энергией, достаточной для проникновения в ее приповерхностные области. Успешное применение ионной имплантации определяется главным образом возможностью предсказания и управления электрическими и механическими свойствами формируемых элементов при заданных условиях имплантирования. Наиболее распространенным применением ИИ в технологии формирования СБИС является процесс ионного легирования кремния. Часто приходится проводить имплантацию атомов в подложку, которая покрыта одним или несколькими слоями различных материалов. Ими могут быть как тонкие слои тяжелых металлов (например, Та или aSi2), так и диэлектриков. Существование многослойной структуры способно вызвать резкие перепады в профиле легирования на границе отдельных слоев. За счет столкновения ионов с атомами приповерхностных слоев последние могут быть выбиты в более глубокие области легируемого материала. Такие "осколочные эффекты" способны вызвать ухудшение электрических характеристик готовых приборов. Во многих случаях для получения необходимого профиля распределения легирующей примеси в подложке применяют метод, основанный на предварительной загонке ионов с их последующей термической разгонкой в мишени. При этом имплантация проводится с малой энергией ионов. Общая траектория движения иона называется длиной пробега R, а расстояние, проходимое внедряемым ионом до остановки в направлении, перпендикулярном к поверхности мишени, проецированной длиной пробега Rp. СХЕМА УСТАНОВКИСхема установки для ионной имплантации приведена на рис. 1.1 - источник ионов 2 - масс-спектрометр 3 - диафрагма 4 - источник высокого напряжения 5 - ускоряющая трубка 6 - линзы 7 - источник питания линз 8 - система отклонения луча по вертикали и система отключения луча 9 - система отклонения луча по горизонтали 10 - мишень для поглощения нейтральных частиц 11 - подложка 12 - электрометр Магнитный масс-спектрометр предназначен для отделения ненужных ионов от легирующих, электрометр - для измерения величины имплантированного потока ионов. Маски для ИИ могут быть изготовлены из любых материалов, используемых в технологии СБИС (фоторезист, нитриды, окислы, поликремний). Управление дозой при ИИ затруднено рядом факторов. Это наличие потока нейтральных частиц, обмен энергии ионов с молекулами газов, вторичная электронная эмиссия из мишени, эфект обратного ионного распыления. Для ликвидации последствий действия этих факторов используют следующие технические приемы. Нейтральные молекулы отсеивают с помощью масс- спектрометра (его магнитным полем не отклоняет нейтральные частицы и они не попадают в апертурную диафрагму).

Кроме того, в камере поддерживается достаточно высокий вакуум, предотвращающий процесс нейтрализации ионов. Вторичную электронную эмиссию подавляют, располагая около мишени ловушку Фарадея. От загрязнений поверхности кремния вследствие полимеризации углеводородов ИИ проводят через окисную пленку, которую затем удаляют. Профиль распределения примеси при ионной имплантации бора различных энергий в кремний приведен на рис. 2. Для корректного теоретического расчета профиля, особенно для больших значений энергий пучков ионов, используют два объединенных распределения Гаусса , где D - поглощенная доза, Rm - модальная длина пробега (аналог проекционной длины пробега при Гауссовском распределении), (R1, (R2 - флуктуации первого и второго распределения, (Ri=(R1 при x>Rm, (Ri=(R2 при x 800 C для устранения более сложных радиационных дефектов по сравнению с отжигом слоев, имплантированных бором. Когда имплантированный слой фосфора становится аморфным (при дозе выше 3 1014 см-2), начинает действовать другой механизм отжига. Температура отжига при этом несколько меньше, чем для кристаллических слоев и составляет 600 С. Более сложные процессы происходят при отжиге скрытых слоев с аморфной структурой, расположенных на определенной глубине под поверхностью подложки. Эпитаксиальная перекристаллизация начинается на обеих поверхностях раздела аморфных и монокристаллических областей. 3. Изотермический отжиг Дополнительная информация о характере распределения имплантированных примесей может быть получена при проведении отжига при постоянной температуре, но в течение различного времени. По мере увеличения времени отжига электрическая активность легирующей примеси возрастает относительно медленно; при этом доля электрически активных атомов бора повышается от начального значения до величины, составляющей более 90 % этого значения. Энергия активации соответствует генерации и миграции термически введенных вакансий. Термически генерированные вакансии мигрируют к межузельным образованиям. При этом происходит внедрение атомов бора в узлы кристаллической решетки. 4. Диффузия имплантированных примесей. Коэффициент диффузии бора может быть повышен за счет уничтожения кремниевых вакансий и межузельных кластеров, при этом вакансии могут увеличить коэффициент диффузии по узлам кристаллической решетки, а межузельные атомы кремния могут вытеснять атомы бора из ее узлов, что приведет к быстрой диффузии комплексов межузельный атом кремния - атом бора. 5. Быстрый отжиг. Имплантированные слои могут быть подвергнуты лазерному отжигу с плотностью энергии в диапазоне 1-100 Дж/см2. Вследствие короткого времени нагрева имплантированные слои могут быть термообработаны без заметной диффузии примеси. Имплантированные аморфные слои толщиной 100 нм перекристаллизуются в течение нескольких секунд при Т= 800 С по механизму твердофазной эпитаксии. Процесс быстрого отжига относиться к категориям чистых процессов, и загрязнения от элементов конструкции оборудования не создают серьезной проблемы. Лазерная энергия может быть локализована на отдельной части кристалла ИС, так что некоторые р- переходы схемы могут размываться во время отжига за счет диффузии в большей степени, тогда как другие не претерпевают изменений.

Значительное преимущество метода то, что после расплавления и кристаллизации аморфных слоев по методу жидкофазной эпитаксии в них отсутствуют линейные дефекты. С использованием технологии лазерного отжига создают биполярные и МОП- транзисторы, кремниевые солнечные батареи. 6. Отжиг в атмосфере кислорода. Процессы отжига, в результате которых все имплантированные ионы занимают электрически активные положения в узлах кристаллической решетки, обычно приводят к возникновению микродефектов. Эти дефекты называют вторичными дефектами. Любые внешние микродефекты развиваются в большие дислокации и дефекты упаковки. Эти дефекты, называемые третичными дефектами, имеют достаточно большие размеры. ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ СБИС Создание мелких переходовТребование формирования слоев, залегающих на небольшой глубине, для СБИС можно легко удовлетворить с помощью процесса ионной имплантации Аs. Мышьяк имеет очень малую длину проецированного пробега (30 нм) при проведении обычной имплантации с энергией ионов 50 кэВ.Одной из прогрессивных тенденций развитии СБИС является создание КМОП- транзисторов. В связи с этим большое значение имеет получение мелких p - слоев. Такие слои очень сложно сформировать путем имплантации ионов В .Решение проблемы, связанной с имплантацией бора на небольшую глубину, на практике облегчается использованием в качестве имплантируемых частиц ВF2. Диссоциация молекулы ВF2 при первом ядерном столкновении приводит к образованию низкоэнергетических атомов бора. Кроме того, использование молекулы ВF2 имеет преимущество при проведении процесса отжига структур. Геттерирование Процесс геттерирования основан на трех физических эффектах: -освобождение примесей или разложение протяженных дефектов на составные части. -диффузия примесей или составных частей дислокаций. -поглощении примесей или собственных межузельных атомов некоторым стоком. Рассмотрим четыре основные механизма геттерирования примесей. 1. Образование пар ионов. Диффузия фосфора является эффективным методом геттерирования. Профиль распределения таких примесей, как медь, которая в основном находится в междоузлиях в решетке нелегированного кремния и диффундирует по межузельному механизму, принимает форму диффузионного профиля распределения фосфора. Атомы меди занимают положения в узлах кристаллической решетки кремния в области, легированной фосфором, а затем захватываются вакансиями, расположенными около атомов фосфора, образуя пары Р Сu3- . Энергия связи и коэффициент диффузии ионных пар определяются обоими ионами. 2. Геттерирование с использованием нарушенных слоев. Геттерируюшее действие дефектов было исследовано с использованием пескоструйной обработки, механического абразивного воздействия ультразвуком или шлифованием. Особенности дефектов зависят от концентрации и вида имплантированных частиц. Оптимальная температура геттерирования определяется для каждого конкретного случая. Время жизни неосновных носителей в слое, имплантированном аргоном, существенно увеличивается после отжига при температуре 850 С. 3. Внутреннее геттерирование Геттером может служить преципитаты SiOx и комплексы дислокаций, присутствующие в объеме кремниевой подложки после предварительной имплантации в нее кислорода.

Приведенное разделение способов прогнозирования доста­точно условно, т.к. на практике они взаимно пересекаются и до­полняют друг друга. Ни один из них, взятый сам по себе, не может обеспечить значительную степень достоверности, точ­ности, дальности прогноза. В определенных же сочетаниях они оказываются в высокой степени эффективными. Так, прогноз­ная оценка обязательно включает элементы экстраполяции и моделирования; процессы экстраполяции невозможны без элементов оценки и моделирования; моделирование подразу­мевает предварительную оценку и экстраполирование. В прак­тике прогнозирования постоянно применяются 10—15 (а в те­ории существует свыше полутораста) методов прогнозирова­ния, куда входит несколько методов опроса экспертов, а так­же несколько способов разработки экстраполяционных и раз­личных других (сценарных, матричных, сетевых, имитацион­ных и т.д.) моделей. Прогностическое исследование требует тщательной орга­низации. Опыт показывает, что даже для относительно неслож­ного социального прогноза требуется исследовательская груп­па в 5—7 специалистов и срок в несколько месяцев (обычно от квартала до полугода)

1. Моделирование учебного процесса на примере темы "Издержки производства"

2. Экономико-математическое моделирование транспортных процессов

3. О роли заказчика в организации строительного процесса на Руси в XVII в.

4. Процессный подход к управлению, моделирование бизнес-процессов. Разработка ПО

5. Стандарты и методологии моделирования бизнес-процессов. Управление основной деятельности риэлторской фирмы

6. Обеспечение качества моделирования бизнес-процессов
7. Моделирование бизнес-процессов трикотажной фабрики
8. Основы моделирования производственных процессов

9. Особенности моделирования социальных процессов

10. Проектирование строительных процессов при производстве работ нулевого цикла

11. Анализ и моделирование бизнес-процессов компании

12. Моделирование макроэкономических процессов и систем

13. Математическое моделирование экономических процессов на железнодорожном транспорте

14. Экономико-математическое моделирование процессов инвестиционно-строительной деятельности

15. Моделирование процессов переработки пластмасс

16. Моделирование процессов переработки пластмасс

Каталка детская "Mercedes-Benz SLS AMG С197" (красная).
Детская каталка машинка - это роскошная модель для самых маленьких водителей от 12 месяцев. Каталка с 4-я колесами из пластика, имеющими
2590 руб
Раздел: Каталки
Концентрат от клещей "HELP", для защиты дачного участка до 20 соток, 100 мл.
Уничтожает клещей разных видов — иксодовых (ixodes), Dermacentor и других. Действует быстро — уже через 30 минут после обработки.
327 руб
Раздел: Прочее
Багетная рама "Bridget", 30x40 см.
Багетные рамы предназначены для оформления картин, вышивок и фотографий. Оформленное изделие всегда становится более выразительным и
651 руб
Раздел: Багетные рамы, для икон

17. Моделирование процессов разряда-ионизации серебра на поверхности твердого электрода

18. Моделирование процессов переработки пластмасс

19. Сетевое моделирование при планировании. Задача о коммивояжере...

20. Источники венчурного капитала и стимулирование инновационной активности в процессе антикризисного управления

21. Использование цепей Маркова в моделировании социально-экономических процессов

22. Развитие методологии реинжиниринга: моделирование приоритетных бизнес-процессов региональных компаний сотовой связи
23. Ионный источник Кауфмана
24. Радиационные процессы в ионных кристаллах

25. Моделирование процессов разряда-ионизации серебра на поверхности твердого электрода

26. Инвестиции и их виды, источники и факторы, влияющие на инвестиционный процесс

27. Основные источники эффективности разработки и внедрения систем автоматизированного управления процессом бурения

28. Математическое моделирование процесса триплет-триплетного переноса энергии

29. Моделирование основных бизнес-процессов предприятия

30. Сетевые источники питания

31. Логистический процесс обеспечения поставок нерудных строительных материалов на речном транспорте

32. Механизмы имплантации в металлы и сплавы ионов азота с энергией 1-10 кэВ

Музыкальный центр "Парк развлечений".
Это детское пианино с диапазоном в одну октаву предназначено для малышей. Над клавиатурой пианино расположены кнопки с изображением
1575 руб
Раздел: Сортеры, логические игрушки
Датчик обнаружения угарного газа.
Ежегодно сотни людей по всему миру погибают от отравления угарным газом. Именно поэтому в каждом доме, где используется любая
783 руб
Раздел: Детекторы, датчики движения
Таблетки для посудомоечных машин "Paclan Brileo. Classic", 80 штук.
Таблетки обладают отличным моющим действием за счет входящих в состав "умных" энзимов (амилазы и протеазы). Отлично моют посуду,
592 руб
Раздел: Для посудомоечных машин

33. Моделирование процесса производства кефира

34. Источники информации о населении и демографических процессах

35. Изучение основных технологических процессов, состава и структуры фондов строительной организации

36. Технологическая карта производства бетонных работ при возведении типового этажа в процессе проектирования строительного генерального плана

37. Исследование переходных процессов в электрических цепях с источником постоянного напряжения

38. Закономерности процесса формования электродов на основе оксида меди и влияние параметров процесса на эксплуатационные характеристики литиевых источников тока
39. Использование методов линейного программирования и экономического моделирования в технологических процессах
40. Строительные Нормы и Правила (СНиП 2.08.02-89*)

41. Математическое моделирование биосинтеза продуктов метаболизма

42. Биологическая роль гидролиза в процессах жизнедеятельности организма

43. Вода — источник жизни

44. Нетрадиционные источники энергии

45. Нетрадиционные источники энергии

46. Социально-экономическая модель в Швеции: процесс становления и развития

47. Методы и модели демографических процессов

48. Опасные геологические процессы на городских территориях

Ковш для ванны "Flipper", с лейкой, мятный.
Ковшик для купания и мытья головы Flipper в виде дельфина превратит каждое купание вашего малыша в веселую игру! Мягкий край из
406 руб
Раздел: Ковшики
Настольная игра "Спящие королевы".
Проснитесь и играйте! Королева Роз, Королева Тортов и десять их ближайших подруг заснули, поддавшись сонным чарам и именно вам предстоит
606 руб
Раздел: Карточные игры
Настольная игра "Морской бой для детей" (арт. Ин-1761).
Традиционная настольная игра для всей семьи теперь в новом исполнении! Двум капитанам предстоит сразиться на безбрежной глади океана. Тот,
396 руб
Раздел: Классические игры

49. Бюджетный процесс ( и налоговый кодекс, налоговая декларация, закон Красноярского края "о плате за землю")

50. Организация бюджетного процесса

51. Административный процесс

52. Источники конфликтов в сфере исполнительной власти

53. Участники арбитражного процесса

54. Письменные доказательства в арбитражном процессе
55. Участники арбитражного процесса: классификация, права и обязанности, характеристика правового положения. Представительство в арбитражном процессе
56. Договор строительного подряда

57. Особенности и проблемы правового регулирования договора строительного подряда

58. Гражданский процесс

59. Гражданский процесс (Контрольная)

60. Гражданский процесс (Контрольная)

61. Доказательства в гражданском процессе

62. Прокурор в гражданском процессе

63. Шпаргалка по гражданскому процессу

64. Представительство в гражданском процессе

Мультиплеер "Антошка".
Супермодный плеер для малышей "Антошка" в оригинальном дизайне! В нем собрано 15 популярных песенок и 5 любимых сказок. Бонус!
344 руб
Раздел: Смартфоны, мультиплееры
Ниблер силиконовый "Зайчик", голубой.
Каждая мама знает, насколько важный этап в жизни младенца представляет собой прикорм. Но как же проблематично скормить хотя бы ложечку
373 руб
Раздел: Ниблеры
Мягкий пол универсальный, зеленый, 33x33 см (9 деталей).
Данный вид напольного покрытия прекрасно совмещается с ковриками-пазлами "Морские животные", "Листья" и
729 руб
Раздел: Прочие

65. Лица, участвующие в процессе

66. Письменные доказательства в системе доказательств гражданского процесса

67. Законодательный процесс в Древних Афинах

68. Основные черты афинского права. Источники, право собственности, обязательственное право, брачно-семейное право, уголовное и процессуальное право

69. Источники и кодификация права Украины в составе России в 18 ст.

70. Процесс становления системы революционных трибуналов РСФСР
71. Бюджетный процесс в Украине
72. Предмет, источники и система конституционного права зарубежных стран

73. Законотворческий процесс в Республики Казахстан

74. Избирательная система РФ (избирательное право, виды избирательных систем, избирательный процесс)

75. Источники международного частного права

76. Уголовный процесс зарубежных стран

77. Институции Гая как источник римского права

78. Понятие источника (формы) права

79. Формы (источники права)

80. Международный договор как источник права

Подставка для ручек с часами, 11,8х10,2х5,2 см.
Подставка для ручек с часами. Материал корпуса: пластик. Механизм: электронный. ЖК дисплей. Дополнительные функции: часы, будильник,
540 руб
Раздел: Подставки, лотки для бумаг, футляры
Туалетная бумага "Zewa Deluxe" (без запаха), трехслойная, 12 рулонов.
Подарите себе удовольствие от ежедневного ухода за собой. "Zewa Deluxe" с новыми впитывающими «подушечками» деликатно
343 руб
Раздел: Бумага туалетная
Машинка "Бибикар (Bibicar)" с полиуретановыми колесами (салатово-оранжевая).
Оснащена улучшенными колесами, выполненными из высококачественного полиуретана. Теперь езда на этой удивительной машинке стала еще более
2650 руб
Раздел: Каталки

81. Источники права

82. Общие, специальные и локальные нормативные акты - источники трудового права РФ. Суммированный учёт рабочего времени

83. Источники и этапы формирования японского традиционного искусства гэйдо

84. Структура и организация учебного процесса в средневековом университете (Болонья, Париж, Прага)

85. Памятники саргатской культуры как источник для реконструкции социально-экономических отношений и мировоззрения населения

86. Проблема воздействия телевизионной рекламы на процесс инкультурации в современном российском обществе
87. Сниженная лексика в современном немецком языке; источники пополнения и особенности функционирования в молодежном сленге
88. Петр I, взаимосвязь политических и социально-экономических процессов

89. Конституционный процесс в Украине. Конституция Украины 1996 года

90. История Московского Государственного Строительного Университета (бывшего МИСИ)

91. Роль личности в глобальном процессе управления определяющем ход истории

92. Русская Правда как источник социально-политического обустройства Древнерусского государства

93. Имитационное моделирование компьютерных сетей

94. Проектирование и разработка сетевых броузеров на основе теоретико-графовых моделей

95. Построение локальной компьютерной сети масштаба малого предприятия на основе сетевой ОС Linux

96. Принципы работы системы управления параллельными процессами в локальных сетях компьютеров

Карандаши акварельные "Jumbo", 12 цветов, с точилкой.
Акварельные цветные карандаши с утолщенным корпусом 10 мм, с толщиной грифеля 5 мм. Длина карандаша: 17 cм. Пригодны для детей младшего
376 руб
Раздел: Акварельные
Ростомер деревянный (ростомер-пазл).
Ростомер способствует развитию малыша, помогает наблюдать за ростом, служит отличным украшением детской. Как измерить рост? Соберите
324 руб
Раздел: Ростомеры
Шкатулка для рукоделия "Цветочная поляна" 26x16x18,5 см.
Шкатулка настольная, с выдвижным ящичком. Материал: МДФ, внешнее покрытие - текстиль, внутреннее покрытие - флок. Размер: 26x16x18,5 см.
2452 руб
Раздел: Шкатулки для рукоделия

97. Сетевые операционные системы

98. Сетевые средства DOS

99. Сетевые операционные системы Novell


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.