Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте www.za4et.net.ru

Промышленность и Производство Промышленность и Производство     Техника Техника

Распределение примесей в кремнии

Мыло металлическое "Ликвидатор".
Мыло для рук «Ликвидатор» уничтожает стойкие и трудно выводимые запахи за счёт особой реакции металла с вызывающими их элементами.
197 руб
Раздел: Ванная
Коврик для запекания, силиконовый "Пекарь".
Коврик "Пекарь", сделанный из силикона, поможет Вам готовить вкусную и красивую выпечку. Благодаря материалу коврика, выпечка не
202 руб
Раздел: Коврики силиконовые для выпечки
Забавная пачка денег "100 долларов".
Купюры в пачке выглядят совсем как настоящие, к тому же и банковской лентой перехвачены... Но вглядитесь внимательней, и Вы увидите
60 руб
Раздел: Прочее

”РАСЧЕТ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСЕЙ В КРЕМНИИ ПРИ КРИСТАЛЛИЗАЦИОНОЙ ОЧИСТКЕ И ДИФФУЗИОННОМ ЛЕГИРОВАННИИ” Введение. Каждое вещество может находится в состоянии которое характеризуется содержанием примеси в нем ниже некоторого определенного предела. Предел определяется различными условиями связанными со свойствами, областью применения веществ. Для полупроводниковых материалов достижения собственных свойств или близких к ним является тем необходимым пределом до которого материалы должны очищаться. При обосновании необходимой очистки нужно руководствоваться и экономической целесообразности очистки. Для очистки полупроводниковых материалов в технологии микроэлектронных устройств используется метод зонной плавки (перекристаллизация). В некоторых случаях в технологии полупроводниковых материалов выращивают монокристаллы методом зонной плавки. Достоинством метода является совмещение процесса глубокой очистки полупроводника с последующим выращиванием его монокристалла. В технологии разлагающихся полупроводниковых соединений применение этого метода позволяет совмещать в одном технологическом цикле сразу три операции: синтез, очистку синтезированного соединения и выращивание его монокристалла. Для введения в полупроводник примеси используется процесс диффузии. Для изготовления p- переходов используется химическая диффузия примесных (растворимых) атомов, которые вводятся в кристаллическую решетку для изменения ее электрофизических свойств. Кроме того диффузия используется для перераспределения примеси в полупроводнике. 1.Расчетная часть. 1.1 Описание процесса зонной плавки и ее математическая модель. Очистку полупроводниковых материалов методом зонной плавки предложил в 1952 году Пфанн. В связи с различной растворимостью примесей в твердой и жидкой фазах зонная плавка является одним из наиболее эффективных и производительных методов глубокой очистки монокристаллов. При его реализации перед началом кристаллизации расплавляется не вся твердая фаза кристалла, а только узкая расплавленная зона, которую перемещают вдоль слитка. Большинство примесей обладает хорошей растворимостью в жидкой фазе по сравнению с твердой (равновесный коэффициент сегрегации k0&l ;1), поэтому по мере продвижения зона плавления все больше насыщается примесями, которые скапливаются на конце слитка. Обычно процесс зонной плавки повторяют несколько раз, по окончании очистки загрязненный конец слитка отрезают. Для ускорения процесса очистки вдоль контейнера ставят несколько индукторов для образования ряда зон плавления. Для материалов с k0>1 очистка материалов зонной плавкой практически невозможна. Распределение примесей после одного прохода расплавленной зоной при зонной плавке вдоль слитка представляется уравнением где тв – концентрация примеси в закристаллизовавшейся фазе на расстоянии x от начала слитка; о – исходная концентрация примеси в очищаемом материале; x – текущая координата (расстояние от начала слитка); l – длина расплавленной зоны; ko – равновесный коэффициент распределения. Если измерять длину слитка в длинах расплавленной зоны a = x/l, выражение (1) следует записать иначе: Приведенные уравнения (1) и (2) , являющиеся математическим описанием процесса зонной плавки, выведены при определенных допущениях, сформулированных автором метода зонной очистки В.

Пфанном при выводе этих уравнений. Эти допущения в литературе принято называть пфанновскими, их суть в следующем: 1 Процессами диффузионного перераспределения компонентов системы в объеме слитка можно пренебречь, т.е. коэффициенты диффузии компонентов в твердой фазе принимаются равными нулю ( Dтв = 0 ). 2 Диффузия компонентов системы в жидкой фазе совершенна - концентрация компонентов постоянна по объему расплава в любой момент процесса; 3 Коэффициент распределения примеси – величина постоянная и не зависит от концентрации примеси в кристаллизующемся веществе (кривые солидус и ликвидус диаграммы состояния прямолинейны); 4 Начальная концентрация компонентов в исходном материале (слитке) одинакова по всем сечениям; 5 Геометрия подвергаемого зонной плавке слитка (длина и поперечное сечение) в ходе процесса остаются постоянными, плотности твердой и жидкой фаз равны (rтв=rж=r). 6 Расплав и твердая фаза при зонной плавке не взаимодействуют с окружающей средой - атмосферой и контейнером. Другими словами, в системе нет летучих и диссоциирующих компонентов, отсутствует поглощение примесей расплавом из атмосферы, материал контейнера не растворяется в жидкой фазе. Уравнения (1) и (2) справедливы только на участках слитка, на которых зона имеет две границы раздела фаз (постоянный объем). Когда в системе остается только кристаллизующаяся граница, распределение примеси представляется другим уравнением, соответствующим процессу нормальной направленной кристаллизации. Другими словами, если длина очищаемого слитка в длинах зон равна A= L/l, то уравнения (1) и (2) справедливы на длине a = (L - l)/l = A-1. При a > A-1 где g - доля закристаллизовавшегося расплава последнего участка. Только при проведении процесса при условиях, когда удовлетворяются все требования, приведенные выше, реальное распределение примеси в слитке после зонной плавки будет соответствовать закону, представленному выражениями (1) и (2). Анализ показывает, что в большинстве реально протекаемых процессов зонной очистки полупроводниковых материалов пфанновские допущения не реализуются. Вместе с тем, вывод уравнений (1) и(2) без них был бы невозможен, а менее жесткие допущения приводят к существенному усложнению получаемых выражений. Наиболее жесткими являются условия 2 и 3. Допущение 2 в данной формулировке может выполняться только при бесконечно малых скоростях кристаллизации (скорости движения зоны). В этом случае сравнительно быстрая (по сравнению с диффузией в твердой фазе) диффузия в жидкой фазе в состоянии постоянно выравнивать концентрации компонентов системы в объеме расплавленной зоны. Использовании выражений (1) и (2) для представления распределения примеси при реальных скоростях кристаллизации приводит к необходимости изменить формулировку допущения 2. Выполнение условия постоянства концентрации компонентов по объему расплава возможно в данной ситуации только при реализации полного (идеального) перемешивания жидкой фазы. Предполагается, что в этом случае перераспределение компонентов и выравнивание состава в жидкой фазе происходит мгновенно - т. е. эффективный коэффициент диффузии в жидкой фазе Dж = Ґ .

Условие полного перемешивания на практике реализовать невозможно. Процессы массопереноса в расплавленной зоне при реальных скоростях кристаллизации и разумной интенсивности перемешивании всегда приводят к образованию диффузионного слоя на границе раздела фаз в области кристаллизации. Наличие слоя жидкости с концентрационным пиком, из которого и происходит кристаллизация, влияние его на условия разделения компонентов учитывается введением в выражения (1) и (2) эффективного коэффициента распределения kэфф вместо равновесного ko. Равновесный коэффициент сегрегации связан с эффективным соотношением Бартона-Прима-Слихтера: где Vкр - скорость перемещения расплавленной зоны (скорость кристаллизации); d - толщина диффузионного слоя; Dж - коэффициент диффузии примеси в жидкой фазе. Эта замена является лишь более или менее удачным приближением к реальной ситуации, и не соответствует требованию условия постоянства концентрации. Распределение примеси после зонной плавки для реальных процессов описывается выражением Данное выражение позволяет анализировать влияние на сегрегационные процессы скорости перемещения зоны и условий перемешивания жидкой фазы. Условие 3 справедливо только для сильно разбавленных растворов, т.е. при малых концентрациях примеси в системе. Кроме того, условие малости концентрации должно соблюдаться на протяжении всего процесса зонной плавки. Для того, чтобы допущение 3 оказалось состоятельным, требуется использовать при кристаллизационной очистке исходные материалы прошедшие предварительную очистку. 1.2 Расчет распределения примеси вдоль слитка кремния после зонной плавки (один проход расплавленной зоной) 1.2.1 Расчет распределения Si-Ga. Рассчитаем распределение галия в слитке кремния для трех скоростей перемещения зоны Vкр =1,5 ; 5 и 15 мм/мин. 0=0.02% (массовых). Длина зоны l составляет 10% от длины слитка L. Испарением примеси при переплавке пренебречь. Распределение сурьмы вдоль слитка определяется уравнением (5) на длине слитка a = (L - l)/l = A-1, т.е. при 0 Ј a Ј 9. При a>9 распределение примеси представляется уравнением (3). Доля закристаллизовавшегося расплава g на этом участке изменяется от нуля до величины, близкой к единице. Для g = 1 уравнение (3) не имеет смысла. Прежде чем приступить к расчету переведем 0 из % (массовых) в % (атомные), а затем в см3. Для этого воспользуемся формулой перевода. где А1, А2–атомные массы компонентов; 2–второй компонент смеси. Атомная масса–для галлия = 69,72 Концентрация собственных атомов в кристаллической решетке кремния соб=5Ч1022 см-3. Следовательно, исходная концентрация галлия в слитке: 0=8,06Ч10-5Ч5Ч1022=4,03Ч1018 см-3 Для расчета эффективного коэффициента сегрегации воспользуемся выражением (4). Для галлия в кремнии k0=8Ч10-3 . Отношение d/Dж=200 с/см из задания. Подставляя значения k0, d/Dж, Vкр в (4), вычислим kэфф. Для этого Vкр переведем из мм/мин в см/с, получим Vкр=2,5Ч10-3; 8,33Ч10-3; 2,5Ч10-2 см/с. Соответственно получим kэфф=1,3Ч10-2; 4,09Ч10-2; 0,545 Заполняем расчетную таблицу, меняя с выбранным шагом расстояние от начала слитка в длинах зоны a (на участке зонной плавки).

При неравномерном распределении примесей мраморы имеют пеструю окраску с различными узорами, придающими камню декоративность. Мраморы отличаются высокой плотностью, малым водопоглощением, большой прочностью при сжатии, но обладают небольшой твердостью. Мрамор хорошо шлифуется и полируется, распиливается на тонкие плиты. Его широко применяют для внутренней облицовки стен, изготовления ступеней, подоконных досок и других изделий. Разновидности мрамора, непригодные для штучных изделий, или отходы при обработке мрамора в виде крошки используют в качестве заполнителя для отделочных растворов и бетонов. Для наружной облицовки зданий большинство мраморов применять не рекомендуется, так как под влиянием атмосферных агентов (воды, сернистого газа, изменений температуры и др.) поверхность мрамора теряет декоративный вид и подвергается заметной коррозии (становится тусклой, шероховатой и более пористой). Кварциты образовались в результате видоизменения кремнистых песчаников. Они имеют плотную структуру и состоят из перекристаллизованных зерен кварца, скрепленных кварцевым цементом

1. Математическое моделирование биосинтеза продуктов метаболизма

2. Математическое моделирование прыжка с трамплина

3. Математическое моделирование биологических форм

4. Математическое моделирование

5. МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОПЕРАЦИЙ МЕХАНИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ ЛЕЗВИЙНЫМ ИНСТРУМЕНТОМ

6. Математическое моделирование биполярных транзисторов типа p-n-p
7. Экономико-математическое моделирование
8. Экономико-математическое моделирование. Коммерческие банки. Анализ деятельности с точки зрения ЭММ

9. Математическое моделирование как философская проблема

10. Математическое моделирование в экономике

11. Математическое моделирование потребностей регионов в педагогических кадрах

12. Математическое моделирование в медицине

13. Математическое моделирование и оптимизация элементов тепловой схемы энерготехнологического блока

14. Математическое моделирование в физике XIX века

15. Экзаменационные билеты с вопросами за весенний семестр 2001 года по: математическое моделирование экономических систем

16. Математическое моделирование высокочастотных радиоцепей на основе направленный графов

Ручка шариковая "Excellence", розовая.
Новая подарочная шариковая ручка имеет необычный дизайн, который притягивает взгляд. Металлический миниатюрный корпус полностью усыпан
444 руб
Раздел: Металлические ручки
Машина-каталка "Лидер", цвет: бордовый.
Игрушечный автомобиль снабжен рулем, фарами, зеркалами заднего вида и звуковыми модулями, а его корпус оформлен в приятном бордовом цвете.
2947 руб
Раздел: Каталки
Игрушка-плита со звуком и подсветкой"Miele".
Все как у мамы! Точная игрушечная копия фирменной плиты MIELE. Игрушка функциональная: конфорки и духовка светятся, издает реалистичные
1680 руб
Раздел: Плиты

17. Математическое моделирование физических задач на ЭВМ

18. Математическое моделирование экономических систем

19. История развития экономико-математического моделирования

20. Математическое моделирование в сейсморазведке

21. Экзаменационные билеты математическое моделирование экономических систем осенний семестр 2000 года

22. Экзаменационные билеты математическое моделирование экономических систем осенний семестр 2000 го2
23. История математического моделирования и технологии вычислительного эксперимента
24. Математическое моделирование при решении экологических задач

25. Математическое моделирование экономических систем

26. Математическое моделирование волнового движения воды в узком глубоком непризматическом водохранилище с учетом упругости воды

27. Использование сетей Петри в математическом моделировании

28. Математическое моделирование в задачах расчета и проектирования систем автоматического управления

29. Математическое моделирование и расчет систем управления техническими объектами

30. Математическое моделирование пластической деформации кристаллов

31. Обзор и математическое моделирование суспензионной полимеризации тетрафторэтилена

32. Математическое моделирование тепловой работы вращающейся печи

Полотенце вафельное "Сластена полосатка", банное, пляжное, 100х150 см.
Вафельное полотенце "Сластена полосатка". Легкое и практичное полотенце удобно использовать на пляже, в бане и в бассейне.
304 руб
Раздел: Большие, ширина свыше 40 см
Средство для мытья посуды Finish "All in 1 Max", в посудомоечных машинах таблетки, 65 штук.
Таблетки идеальны для использования на коротких циклах - таблетки быстро растворяются. Таблетки не нужно разворачивать! Специальные
880 руб
Раздел: Для посудомоечных машин
Шкатулка для ювелирных украшений, 13x13x6 см, арт. 84412.
Шкатулка сохранит ваши ювелирные изделия в первозданном виде. С ней вы сможете внести в интерьер частичку элегантности. Регулярно удалять
832 руб
Раздел: Шкатулки для украшений

33. Методика математического моделирования специализации и сочетания отраслей сельскохозяйственного предприятия

34. Математическое моделирование экономических процессов на железнодорожном транспорте

35. Математическое моделирование и оптимизация в химической технологии

36. Методы математического моделирования экономики

37. Моделирование математического процесса теплообмена в теплообменнике типа "труба в трубе"

38. Экономико-математические методы моделирования в землеустройстве
39. Методы алгебраических и дифференциальных уравнений для анализа и качественного исследования социально-экономических явлений (По дисциплине: Математические методы моделирования процессов управления в социальной сфере)
40. Экономико-математические методы моделирования в землеустройстве

41. Элементы учебных математических исследований в начальной школе

42. Моделирование распределения потенциала в МДП-структуре

43. Моделирование процессов разряда-ионизации серебра на поверхности твердого электрода

44. Моделирование датчиков случайных чисел с заданным законом распределения

45. Математическое развитие ребенка в системе дошкольного и начального школьного образования

46. Развитие математических способностей учащихся в процессе внеклассной работы по математике в начальной школе

47. Моделирование распределения примесей в базе дрейфового биполярного транзистора

48. Фитопланктон как начальная стадия в рационе питания гидробионтов

Молокоотсос ручной "Avent" с контейнерами для хранения молока.
Ручной молокоотсос Avent с контейнерами для хранения молока - это необходимая вещь для молодых мам, которые испытывают сложности со
2872 руб
Раздел: Молокоотсосы, аксессуары
Подарочная расчёска для волос "Настенька".
Стильная детская расчёска дарит радость и комфорт. Этот практичный аксессуар по достоинству оценят как маленькие модницы, так юные
372 руб
Раздел: Расчески, щетки для волос
Пенал школьный "Pixie Crew" с силиконовой панелью для картинок (зелёная клетка).
Повседневные вещи кажутся скучными и однотонными, а тебе хочется выглядеть стильно и быть не как все? "Pixie Crew" сделает твою
1096 руб
Раздел: Без наполнения

49. Начальный период ВОВ

50. Математические методы и модели в конституционно-правовом исследовании

51. Первые годы У. Шекспира в театре. Начальное творчество У. Шекспира

52. Начальный этап работы над музыкальным произведением

53. Внешняя и внутренняя политика СССР накануне немецко-фашистской агрессии. Причины поражения Красной Армии на начальном этапе войны

54. Оптимальное управление вычислениями в распределенных вычислительных системах на основе графа потоков данных
55. Динамическое распределение памяти
56. Программное обеспечение в фазе модернизации

57. Задачи графических преобразований в приложениях моделирования с использованием ЭВМ

58. Динамическое распределение памяти

59. Математическое программирование

60. Масштабирование. Геометрическое моделирование

61. Моделирование систем

62. Разработка математической модели и ПО для задач составления расписания

63. Автоматизированная система распределения мест и оценок качества олимпиадных заданий

64. Изучение взаимно влияющих друг на друга математических параметров

Пенка для купания малышей "Arau Baby", 400 мл.
Нежная пенка для тела с устойчивой обильной пеной отлично очищает, при этом не раздражает нежную детскую кожу. Содержит натуральные масла
417 руб
Раздел: Гели, мыло
Набор мягкой мебели для гостиной "Коллекция".
Набор мягкой мебели для гостиной "Коллекция" станет украшением любой кукольной комнатки. Кресла и диван выглядят как красивая
662 руб
Раздел: Гостинные
Точилка "Berlingo" механическая.
Одно отверстие. Надежно крепится к столу. Карандаш фиксируется с помощью металлических зажимов и затачивается при вращении ручки. Диаметр
326 руб
Раздел: Точилки

65. Трехмерное параметрическое моделирование на персональном компьютере

66. Разработка САППР вакуумных систем на начальных этапах проектирования

67. Теория вероятности и математическая статистика

68. Математический анализ. Регрессия

69. Математическая статистика

70. Оценивание параметров и проверка гипотез о нормальном распределении (WinWord, Excel)
71. Математическая статистика
72. Математические методы в организации транспортного процесса

73. Содержание и значение математической символики

74. Исследование распределения температуры в тонком цилиндрическом стержне

75. Программа государственного экзамена по математике для студентов математического факультета Московского городского педагогического университета

76. Моделирование значений случайных векторов

77. Природа математических абстракций

78. Лекции по Методике математики в начальных классах (4-5 семестры)

79. Бруцеллез. Этиология и географическое распределение, профилактика болезни

80. ТЕОРЕТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ФУНКЦИЙ УПРАВЛЕНИЯ В ПОДРАЗДЕЛЕНИЯХ ОМОН И ВНУТРЕННИХ ВОЙСКАХ МВД РОССИИ (низшие структурные подразделения: отделение, взвод)

Корзина универсальная, 550x170x395 мм.
Материал: пластик. Размер: 550x170x395 мм. В ассортименте без возможности выбора.
390 руб
Раздел: Корзины для стеллажей
Набор для приготовления роллов "Мидори".
С набором "Мидори" Вы сможете приготовить роллы различной формы в домашних условиях. В комплект входят специальные
562 руб
Раздел: Принадлежности для суши
Настольная игра "Барабашка (Geistestesblitz)".
У вас в руках оказались фотокарточки, сделанные каким-то странным фотоаппаратом: фотографируя всего пять предметов, он постоянно путает их
1071 руб
Раздел: Внимание, память, логика

81. Проблема твердых бытовых отходов. ТБО в Московском регионе

82. Твердые отходы

83. Нормирование предельно допустимых концентраций и предельно допустимых выбросов

84. Моделирование учебного процесса на примере темы "Издержки производства"

85. Подготовка к школе. Развитие речи, логического мышления и познавательных способностей дошкольников с элементами обучения грамоте и использованием математического материала

86. Роль дидактических игр в развитии элементарных математических представлений дошкольника
87. Особенности экологического воспитания в начальной школе
88. Формирование грамматических навыков на начальном этапе обучения иностранному языку

89. Взаимные превращения жидкостей и газов. Твердые тела

90. Интеграция как методическое явление. Возможности интеграции в начальном обучении

91. Особенности интеллекта учеников специализированных классов (гуманитарного и математического)

92. Технические средства статической проекции и методика их применения в начальной школе

93. Формирование художественно-графических умений у учащихся 5 классов на уроках технологии при изучении раздела "Конструирование и моделирование швейных изделий"

94. Оценка систем дистанционного образования (математическая модель)

95. Расчет начального состава бетона

96. Электрооборудование и электропривод механизма подъема мостового крана

Стакан складной (110 мл).
Компактный складной стакан легко умещается в кармане. Благодаря карабину его можно повесить на ремень, либо подвесить с внешней стороны к
360 руб
Раздел: Наборы для пикника
Пенал школьный "Pixie Crew" с силиконовой панелью для картинок (фиолетовый, алфавит).
Повседневные вещи кажутся скучными и однотонными, а тебе хочется выглядеть стильно и быть не как все? "Pixie Crew" сделает твою
1096 руб
Раздел: Без наполнения
Игра логическая "IQ-Элемент".
Q-Элемент - игра-головоломка для одного игрока. Суть игры: расположить на игровом поле все детали, чтобы поверхность была ровная, без
544 руб
Раздел: Игры логические

97. Расчет электрического привода механизма подъема башенного крана

98. Моделирование процессов функционирования технологических жидкостей в системе их применения

99. Психология математических способностей

100. Моделирование АСОиУ


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.