Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте www.za4et.net.ru

Физика Физика

Фізико-технологічні основи металізації інтегральних схем

Пакеты с замком "Extra зиплок" (гриппер), комплект 100 штук (150x200 мм).
Быстрозакрывающиеся пакеты с замком "зиплок" предназначены для упаковки мелких предметов, фотографий, медицинских препаратов и
148 руб
Раздел: Гермоупаковка
Совок большой.
Длина 21,5 см. Расцветка в ассортименте, без возможности выбора.
21 руб
Раздел: Совки
Забавная пачка денег "100 долларов".
Купюры в пачке выглядят совсем как настоящие, к тому же и банковской лентой перехвачены... Но вглядитесь внимательней, и Вы увидите
60 руб
Раздел: Прочее

МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ І НАУКИ УКРАЇНИ ДЕРЖАВНИЙ ВИЩИЙ НАВЧАЛЬНИЙ ЗАКЛАД Фізико–технологічні основи металізації інтегральних схем Курсова робота З курсу &quo ;Технологічні основи електроніки&quo ; ЗМІСТВСТУП РОЗДІЛ 1. ЕЛЕМЕНТИ І КОМПОНЕНТИ ІНТЕГРАЛЬНИХ МІКРОСХЕМ 1.1 Підкладки інтегральних схем 1.2 Елементи ІС РОЗДІЛ 2. ТЕХНОЛОГІЯ ВИРОБНИЦТВА ІНТЕГРАЛЬНИХ МІКРОСХЕМ 2.1 Масковий метод 2.2 Метод фотолітографії 2.3 Комбінований метод РОЗДІЛ 3. МЕТОДИ МЕТАЛІЗАЦІЇ ІНТЕГРАЛЬНИХ СХЕМ 3.1 Термічне (вакуумне) напилення 3.2 Катодне напилення 3.3 Іонно-плазмове напилення 3.4 Анодування 3.5 Електрохімічне осадження ВИСНОВКИ ЛІТЕРАТУРА ВСТУП Реалізація принципів, ідей, методів напівпровідникової мікроелектроніки привела до створення інтегральних схем, що є цілими пристроями і навіть системами, розміщеними в одному напівпровідниковому кристалі. Проте не всі пристрої можна виготовити за допомогою напівпровідникової технології. Паралельно з напівпровідниковим розвинувся і удосконалювався інший конструктивно-технологічний варіант створення мікроелектронних пристроїв, заснований на технології тонких (до 1 мкм) і порівняно товстих (10 – 50 мкм) плівок. Чисто пасивні плівкові ІМС не набули широкого поширення через обмеження можливостей по виконанню ними функцій обробки сигналів, а реалізація плівкових активних елементів виявилася неможливою через низьку відтворюваність їх характеристик. Поєднання напівпровідникових мікросхем, активних напівпровідникових приладів з пасивними плівковими елементами і плівковою комутацією дозволила створити мікроелектронні пристрої з широким набором функціональних можливостей. РОЗДІЛ 1. ЕЛЕМЕНТИ І КОМПОНЕНТИ ІНТЕГРАЛЬНИХ МІКРОСХЕМ 1.1 Підкладки інтегральних схем Підкладки ІС є діелектричною і механічною підставою для плівкових і навісних елементів і служать тепловідводом. Матеріал підкладки повинен володіти наступними властивостями і характеристиками: 1) високим опором ізоляції і електричною міцністю; 2) великим коефіцієнтом теплопровідності для ефективної передачі теплоти від тепловиділяючих елементів (резисторів, діодів, транзисторів) до корпусу мікросхеми; 3) достатньою механічною міцністю; 4) стійкістю до дії хімічних реактивів в процесі підготовки поверхні підкладки перед нанесенням плівок; 5) стійкістю до дії нагріву в процесі нанесення тонких плівок і термообробки товстих плівок; 6) здібністю до механічної обробки (різанню і так далі). Структура матеріалу підкладки і стан її поверхні впливають на параметри плівкових елементів. Велика шорсткість поверхні підкладки знижує надійність тонкоплівкових резисторів і конденсаторів, оскільки мікронерівності зменшують товщину плівок резисторів. При товщині плівок близько 100 нм допускається висота мікронерівностей приблизно 25 нм. Товсті плівки мають товщину 10 – 50 мкм, тому підкладки для товстоплівкових ІМС можуть мати мікронерівності 1 – 2 мкм. 1.2 Елементи ІС Інтегральні мікросхеми складаються з ізолюючої підстави (підкладки), на поверхні якого розміщені плівкові елементи (резистори, конденсатори, спіралі індуктивності, провідники і контактні площадки), а також навісні безкорпусні мініатюрні активні (транзистори, діоди, напівпровідникові) і пасивні (конденсатори, котушки індуктивності і так далі) компоненти.

Для захисту ІС поміщають в корпус. Плівкові резистори Плівковий резистор розташовують на поверхні діелектричної підкладки, конструктивно він складається з резистивної плівки певної конфігурації і контактних площадок. Розміри контактної області повинні вибиратися такими, щоб при якнайгірших поєднаннях геометричних розмірів резистивного шару і контактних площадок резистивна і провідна плівки перекривалися, забезпечуючи малий перехідний опір контакту в низькоомних резисторах. Як резистивні матеріали тонкоплівкових резисторів використовують чисті метали і сплави з високим електричним опором, а також спеціальні матеріали – кермети, які складаються з частинок металу і діелектрика (наприклад, Cr і SIO). Широко поширені плівки хрому і танталу. На основі керметів, до складу яких входять хром і монооксид кремнію, отримують високоомні резистори. Для виготовлення товстоплівкових резисторів застосовують пасти, що складаються з порошку скла, наповнювача і органічної зв'язки. Широко використовують свинцеві і цинкові борсилікатні стекла. Як наповнювач резистивних паст застосовують срібло, паладій і їх сплави. Резистори, що підганяються Застосовують плавну і ступінчасту підгонку опору резисторів. Плавна підгонка забезпечує точність до сотих доль відсотка, ступінчаста – до одиниць відсотків. Плавну підгонку опору тонкоплівкових резисторів здійснюють, змінюючи або питомий поверхневий опір, або форму резистивної плівки. Питомий поверхневий опір змінюють шляхом термічної, хімічної або механічної дії на матеріал плівки. Форму резистивної плівки коректують шляхом видалення частини резистивного матеріалу. Ступінчаста підгонка опору здійснюється видаленням металевих перемичок в підганяльних секціях. Найбільш поширений спосіб плавної підгонки, пов'язаний із зміною геометрії резистора лазерним променем. В процесі підгонки частина плівки віддаляється і опір збільшується. При лазерній підгонці спочатку проводять грубу підгонку випалюванням плівки упоперек, потім точну – уздовж резистора; випалювання резистивної плівки під кутом дозволяє сумістити грубу і точну підгонку. Плівкові конденсатори Такі конденсатори належать до найбільш поширених елементів ІС. Конструктивно ці конденсатори є тришаровою структурою метал – діелектрик – метал (МДМ-структура) і складаються з нижнього і верхнього обкладань, розділених шаром діелектричного матеріалу. До конструкції конденсаторів пред'являються наступні конструктивно-технологічні вимоги: мінімальні габарити; відтворюваність характеристик в процесі виробництва; сумісність технічних процесів виготовлення конденсаторів з технологічними процесами виготовлення інших елементів ІС. Характеристики конденсаторів визначаються властивостями використовуваних матеріалів. До діелектрика конденсаторів пред'являються наступні вимоги: високі – діелектрична проникність, електрична міцність і опір ізоляції; малі – температурний коефіцієнт діелектричної проникності і діелектричні втрати, хороша адгезія, сумісність з технологічними процесами виготовлення інших елементів мікросхем. Діелектрик конденсатора формується методами термічного напилення, іонно-плазмового і реактивного розпилювання.

Для виготовлення діелектричних тонких плівок застосовують монооксиди кремнію SiO і германію GеO, оксиди алюмінію Al2O3, танталу a2O5, титана iO2 і рідкоземельних металів. Високі питомі ємкості мають титанати барію і кальцію. При виготовленні діелектричних шарів товстоплівкових конденсаторів використовують пасти, які містять титанат барію або діоксид титану, що мають високу діелектричну проникність. Матеріал обкладок конденсатора повинен задовольняти наступним вимогам: мати низький електричний опір обкладань, хорошу адгезію, володіти низькою міграційною рухливістю атомів, високою корозійною стійкістю. Конденсатори, що підганяються Іноді виникає необхідність конструювання плівкових конденсаторів з підвищеною точністю відтворення ємкості, що перевершує технологічні можливості способу їх виготовлення, а також конденсатори, ємкість яких може змінюватися в певних межах. Підгонка може здійснюватися як у бік зменшення, так і у бік збільшення ємкості. Конструкція конденсатора, що підганяється, має підганяльні секції. Підганяльні секції можна довільно розміщувати по сторонах верхньої обкладки. При підгонці можливе збільшення ємкості конденсатора за допомогою дротяних перемичок. Додаткова ємність визначається площею обкладання секції, що додатково підключається. Плівкові індуктивні елементи Такі елементи широко поширені в аналогових ІМС. Індуктивні елементи входять до складу коливальних контурів автогенераторів, смугових фільтрів, ланцюгів корекції частотних характеристик і так далі. Товщина плівкової спіралі залежить від робочої частоти і визначається глибиною проникнення електромагнітної хвилі в матеріал плівкового провідника. Для виготовлення плівкових спіралей застосовують матеріали з високою електропровідністю. Елементи комутації Такі елементи (провідники і контактні площадки) служать для електричного з'єднання компонентів і елементів ІС між собою, а також для приєднання до виводів корпусу. Електро-фізичні властивості комутаційних провідників і контактних площадок визначаються властивостями вживаних матеріалів, до яких пред'являються наступні вимоги: висока електропровідність; хороша адгезія до підкладки; висока корозійна стійкість; забезпечення низького і відтворного перехідного опору контактів; можливість паяння або зварки виводів навісних компонентів; сумісність технології нанесення плівкових комутаційних провідників і контактних площадок, з технологією виготовлення інших елементів мікросхем. Найпоширенішим матеріалом тонкоплівкових провідників і контактних майданчиків в ГІС підвищеній надійності є золото з підшаром хрому, ніхрому або титану. Підшар забезпечує високу адгезію, а золото – потрібну електропровідність, високу корозійну стійкість, можливість паяння і зварки. Плівкові перехідні контакти Контактний вузол двох плівкових елементів ІС має певний опір, залежний від геометрії і розмірів контакту, електропровідності контактуючих матеріалів, питомого перехідного опору контакту. Під питомим перехідним опором розуміють опір одиниці площі контактного переходу струму, що протікає по нормалі до шарів контакту. Цей опір обумовлений розсіянням носіїв струму на неоднорідностях в місці зіткнення двох металевих матеріалів; стрибкоподібною зміною атомної і електронної структури, а також наявністю чужорідних включень в місці контакту.

Можно лишь предполагать, какую форму приняло бы американское государство и общество, если бы историческая судьба американцев была подобна судьбе славян, т.е. окажись они в окружении сильных и агрессивных соседей. 52 Независимый (англ.). 53 Уравнитель (англ.). 54 Манипулятивный тоталитаризм система тотального контроля над обществом с помощью ненасильственных манипулятивных технологий. Его основой является информационнопсихологическая обработка массового сознания при помощи СМИ, политической пропаганды, образования, искусства, массовых шоу и т.п. 55 «Покупка» депутатов парламента в современных демократиях является устоявшейся латентной формой управления, которую использует олигархия. Спектр ее методов весьма широк, он варьируется от денежной взятки, если парламентарий недостаточно богат, до организации госзаказа для бизнесструктуры, интересы которой депутат неофициально представляет в законодательном органе. Существует масса других вариантов «покупки» парламента. 56 В дальнейшем идеи И. Бентама были творчески развиты З.Фрейдом, о чем подробней будет сказано ниже. 57 Интересной и в некоторой степени забавной особенностью западных мыслителей является их искренняя убежденность в том, что придумываемые ими схемы человеческой природы универсальны и отражают не их собственные духовнопсихологические особенности, а раскрывают душу всего человечества. 58 На данный момент существует масса западных программ, направленных на сдерживание рождаемости в незападных странах, реализуемых разнообразными, так называемыми международными неправительственными организациями. 59 Был правой рукой лорда Г. Д

1. Фізико-технологічні основи одержання чутливих елементів для датчиків газів

2. Товарне виробництво: загальні економічні основи, мета та еволюція

3. Расширение гуманитарных технологий на основе компетентностного подхода

4. Ергономічні основи проектування

5. Агротехнічні основи захисту земель від ерозії

6. Основи організації бухгалтерського обліку
7. Загальна характеристика фінансової основи організації діяльності місцевих рад
8. Технологічні аспекти теорії проектування інформаційних систем

9. Роботизовані технологічні комплекси

10. Методологічні основи міжнародного маркетингу

11. Основи організації виробництва і виробничої діяльності підприємства

12. Теоретико-методологічні основи планування

13. Культурологічний підхід як основа модернізації змісту астрономічної освіти у загальноосвітніх навчальних закладах

14. Педагогічні основи використання самостійних робіт у малокомплектній початковій школі

15. Педагогічні основи розвитку процесів запам’ятовування у молодших школярів

16. Психолого-педагогічні основи розвитку пізнавальних інтересів молодших школярів на прикладі уроків курсу "Я і Україна"

Блокнот в точку. Bullet Journal.
Bullet Journal — эффективная система органайзеров, в основе которой лежит чистая страница в точку. В Bullet journal нет строгих правил —
422 руб
Раздел: Блокноты художественные
Детский трехколесный велосипед Jaguar (цвет: красный).
Облегченный трехколесный велосипед с родительской ручкой, для малышей от 2 до 4 лет. Удобный, маневренный, отличная модель для получения
2500 руб
Раздел: Трехколесные
Багетная рама "Agata" (цвет: бежевый), 40x50 см.
Багетные рамы предназначены для оформления картин на холсте, на картоне, а также вышивок и фотографий. Оформленное изделие всегда
698 руб
Раздел: Размер 40x50

17. Некорректные технологии как основа "чёрного PR" и методы противодействия

18. Технологічні процеси виготовлення заготовок

19. Психофізіологічні основи емоцій

20. Методологічні та гносеологічні основи вивчення феномена безсмертя

21. Методологічні основи наукових досліджень

22. Основи організації та роботи фондової біржі в Україні
23. Біологічні основи інтродукції видів рододендрон в Житомирському Поліссі
24. Економічні та правові основи управління організацією

25. Межбанковские отношения на основе использования высоких технологий интербанковских телекоммуникаций

26. Основы информационных технологий

27. Основы промышленного рыболовства и технология рыбных продуктов

28. Основы промышленного рыболовства и технология рыбных продуктов

29. Складання логічних схем з метою проектування комбінаційних пристроїв

30. Технология молока и молочных напитков (схема)

31. Наукоемкие технологии, технопарки и технополисы - основа венчурного бизнеса

32. Маркетинговая деятельность на основе технологий Интернет

Защита "Карапуз" для автомобильного кресла от детских ножек, с карманами.
Во время поездки в автомобиле дети иногда могут пачкать грязью, остающейся на ботинках, заднюю сторону кресел. Защита - это
323 руб
Раздел: Автомобильные коврики
Набор мебели для каминной комнаты "Коллекция".
Красивая игрушка помогает ребенку развить свою фантазию, воспитывает художественный вкус. Кукольная мебель помогает развить
715 руб
Раздел: Гостинные
Электронная метеостанция "Синоптик Colored".
Электронная метеостанция «Синоптик Colored» позволяет измерить температуру и уровень влажности воздуха в комнате, имеет встроенный
450 руб
Раздел: Метеостанции

33. Компьютерные информационные технологии - основа образования XXI века

34. Складання логічних схем з метою проектування комбінаційних пристроїв

35. Розробка технологічної схеми абсорбційної очистки повітря від сполук аміаку

36. Некоторые проблемы подготовки специалистов на основе перспективных инфор-мационных технологий

37. Основы информационных технологий

38. Новые технологии измерений на основе виртуальных измерительных систем
39. Стратегия модернизации учебного процесса в сельской школе на основе развивающей эвристической технологии
40. Развитие банковских операций на основе современных электронных технологий. Интернет-банкинг

41. Теоретические основы и технологии начального образования по естествознанию

42. Альтернативные технологии возделывания и уборки кукурузы на силос с основами программирования в севооборотах Слобода Туринского района Свердловской области

43. Основы технологии производства, хранения, переработки и сертификации продукции животноводства

44. Технологія післязбиральної обробки, реалізації, переробки сільськогосподарських продуктів

45. Основи інтеграції та гармонізації аудиту в Україні

46. Організація, тактика та психологічні особливості накладання арешту на кореспонденцію і зняття інформації з каналів зв’язку

47. Компьютерные технологии обработки экономической информации на основе использования систем управления базами данных

48. Основы компьютерных технологий

Повязка-держатель для головы "Соня".
Предназначена для фиксации головы ребенка, при поездки в автокресле. Хлопок 100% Товар в ассортименте, без возможности выбора.
321 руб
Раздел: Прочее
Шторка антимоскитная "Цветок" с магнитными замками.
Размеры: 100х220 см. Препятствует проникновению насекомых. Не нарушает естественную циркуляцию воздуха. Подходит для любых типов дверных
372 руб
Раздел: Сетки противомоскитные
Пеленка-кокон Папитто на липучке (двухслойная).
Пеленка выполнена из двойного интерлока (100% хлопок), а это отличный материал для пошива одежды для новорожденных. Пеленка-кокон это
388 руб
Раздел: Пелёнки

49. Основы технологии программирования

50. Разработка школьной информационной системы на основе IT-технологий

51. Технології віртуалізації: вчора, сьогодні, завтра

52. Изучение исторических источников на основе применения количественных методов и новых информационных технологий

53. Анализ процессов в электрических цепях с ключевыми элементами на основе компьютерных технологий

54. Методи автоматичного контролю та оптимізації технологічних комплексів мокрої магнітної сепарації залізних руд
55. Схема и конструкция монитора на основе электронно-лучевой трубки VIEWSONIC 17GA/GL
56. Основы технологии пива. Пиво 60-х годов

57. Організація і технологія продажу товарів та обслуговування в спеціалізованих магазинах

58. Технологія організації презентації на основі маркетингових досліджень ринку

59. Оптимізація умов праці диспетчерів залізничного транспорту на основі гігієнічної оцінки за новою технологією управління процесом перевезень

60. Экспертные системы – основа технологии информатизации врачебной деятельности

61. Міжнародні економічні організації та їх роль в інтернаціоналізації виробництва

62. Україна та міжнародні економічні організації

63. Організаційно-економічні засади ефективності виробництва озимої пшениці

64. Реінжиніринг бізнес-процесів на базі лізингової схеми реалізації обладнання для стоматологічних кабінетів

Игрушка-антистресс "Fidget Cube. Green White".
Поклацать ручкой, подергать ножкой, скрутить в трубочку билетик и лопнуть все пупырышки на пленке. О, да! Эти житейские радости знакомы
465 руб
Раздел: Антистрессы
Дождевик на коляску универсальный в сумке.
Погода бывает капризной. Минуту назад светило солнышко, но набежала тучка и пошел дождь, а то и град. Защитить малыша и продолжить
323 руб
Раздел: Дождевики, чехлы для колясок
Доска пробковая, с алюминиевой рамой, 90x60 см.
Доска выполнена из пробки высокого качества, имеет регулируемые элементы крепления, алюминиевая рамка соединяется пластиковыми уголками.
1065 руб
Раздел: Демонстрационные рамки, планшеты, таблички

65. Організація самостійної роботи студентів вищих навчальних закладів в умовах застосування інформаційно-комунікаційних технологій

66. Педагогические основы обработки материалов на уроках технологии

67. Развитие творческих способностей учащихся на основе использования инновационных технологий в образовательном процессе начального профессионального образования

68. Технология интенсификации обучения на основе схемных и знаковых моделей учебного материала на уроках физики

69. Технологія використання психолого-педагогічної діагностики в соціально-педагогічній роботі

70. Оптимізація і скорочення часу відновлення технологічної системи
71. Основы технологий производственных процессов
72. Фізико-хімічні методи обробки матеріалів

73. Технологія і організація санітарно-технічних робіт житлового 18-ти квартирного будинку в м. Чернігів

74. Організація технологічного процесу ремонту в цеху правки

75. Організація технології роботи вантажної станції

76. Кристалоквазіхімія дефектів. Фізико-хімічні властивості легованих кристалів телуриду кадмію

77. Совершенствование теоретической подготовки студентов факультета физической культуры на основе компьютерных технологий

78. Совершенствование технологии изготовления вкладыш-пустотообразователя на основе полипропилена

79. Научные основы технологии и оборудования гранулирования активных масс и формования положительных электродов литиевых источников тока

80. Перспективные композиты XXI века на основе органических и неорганических полимеров. Новые металлические сплавы, приоритетные технологии

Кролик "Bunnies" с магнитами, 9,5 см.
Симпатичные кролики приглашают вас весело провести время! Благодаря магнитным свойствам вы можете комбинировать их по-разному. Материал:
386 руб
Раздел: Дикие животные
Глобус "Двойная карта" диаметром 320 мм, с подсветкой.
Диаметр: 320 мм. Масштаб: 1:40000000. Материал подставки: пластик. Цвет подставки: черный. Мощность: 220 V, может использоваться в
1141 руб
Раздел: Глобусы
Сетка москитная белая.
Сетка москитная препятствует проникновению насекомых. Не нарушает естественную циркуляцию воздуха. Подходит для любых типов дверных
372 руб
Раздел: Сетки противомоскитные

81. Методика решения задач по теоретическим основам химической технологии

82. Екологічні проблеми зберігання та утилізації відходів

83. Роль лісу в екологічній стабілізації ландшафтів

84. Основи ринкової лібералізації

85. Технология возведения одноэтажного промышленного здания

86. Влияние космоса на современные информационные технологии
87. Экологические основы устойчивости растений
88. Основы ведения наступления подразделениями и частями

89. Схема вызова всех служб города Кургана

90. Гамма – каротаж. Физические основы метода

91. Правовые и организационные основы деятельности паспортно-визовой службы органов внутренних дел РФ

92. Правовые основы валютного регулирования и валютного контроля в Российской Федерации

93. Финансовые и правовые основы полного товарищества

94. Правовые основы наследования в Российской Федерации

95. Сравнительная характеристика рабовладельческих государств на основе источников

96. Основы полномочия парламента

Глобус Земли политический, диаметр 420 мм.
Политический глобус Земли. Диаметр: 420 мм. Масштаб: 1:30000000. Материал подставки: пластик. Цвет подставки: прозрачный. Цвет дуги может
1981 руб
Раздел: Глобусы
Магическая кружка-мешалка, черная.
Оригинальная кружка с двойными металлическими стенками (нержавеющая сталь). Сохраняет напиток горячим в течение дольшего времени (в
554 руб
Раздел: Кружки
Кружка фарфоровая "Olympia", 300 мл.
Кружка фарфоровая "Olympia", украшенная золотой обводкой, станет достойным дополнением к вашей коллекции посуды для чаепития. Объём: 300 мл.
304 руб
Раздел: Кружки

97. Правовые основы государственной службы в зарубежных странах

98. Основы Конституционно-правового статуса субъектов РФ

99. Правовые основы взаимоотношений представительного и исполнительного органов местного самоуправления


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.