Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте www.za4et.net.ru

Промышленность и Производство Промышленность и Производство

Термическое окисление кремния

Ночник-проектор "Звездное небо, планеты", черный.
Оригинальный светильник-ночник-проектор. Корпус поворачивается от руки. Источник света: 1) Лампочка (от карманных фанариков); 2) Три
350 руб
Раздел: Ночники
Пакеты с замком "Extra зиплок" (гриппер), комплект 100 штук (150x200 мм).
Быстрозакрывающиеся пакеты с замком "зиплок" предназначены для упаковки мелких предметов, фотографий, медицинских препаратов и
148 руб
Раздел: Гермоупаковка
Забавная пачка денег "100 долларов".
Купюры в пачке выглядят совсем как настоящие, к тому же и банковской лентой перехвачены... Но вглядитесь внимательней, и Вы увидите
60 руб
Раздел: Прочее

Федеральное агентство по образованию Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Новгородский государственный университет имени Ярослава Мудрого Институт электронных информационных систем Кафедра «Проектирования и технологии радиоаппаратуры» ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ КРЕМЛЕНИЯ Реферат по дисциплине: «Физико-химические основы технологии электронных средств» Специальность 210201 Руководитель Л.В. Быстрова “ ” 2009 г. Студент группы 6023зу Д.А.Смирнов “ ” 2009 г. Содержание1. Оборудование для термического окисления 2. Модель Дила-Гроува 3. Зависимость толщины окисла от времени окисления 4. Особенности роста тонких и толстых плёнок двуокиси кремния 5. Свойства плёнок SiO2 Список литературы 1. Оборудование для термического окисления Слой двуокиси кремния формируется обычно на кремниевой пластине за счет химического взаимодействия в приповерхностной области полупроводника атомов кремния и кислорода. Кислород содержится в окислительной среде, с которой контактирует поверхность кремниевой подложки, нагретой в печи до температуры = 900 - 1200 єС. Окислительной средой может быть сухой или влажный кислород. Схематично вид установки показан на рис. 1 (в современных установках пластины в подложкодержателе располагаются вертикально). Рис. 1Требования к оборудованию: контролируемая с точностью до 1 градуса температура подложкодержателя, обеспечение плавного повышения и понижения температуры в реакторе (двухстадийный нагрев), отсутствие посторонних частиц в реакторе (подложкодержатель сначала вводится в трубу реактора, а затем опускается на дно), отсутствие посторонних примесей, в частности, ионов натрия на внутренней поверхности реактора (с целью их удаления проводится предварительная продувка трубы реактора хлором), обеспечение введения кремниевых пластин в реактор сразу после их химической очистки. Химическая реакция, идущая на поверхности кремниевой пластины, соответствует одному из следующих уравнений: окисление в атмосфере сухого кислорода (сухое окисление): Siтверд. O2 = SiO2; окисление в парах воды (влажное окисление): Siтверд. 2H2O = SiO2 2H2; термическое окисление в присутствии хлора (хлорное окисление); термическое окисление при взаимодействии молекул воды, синтезированных из атомарно чистых кислорода и водорода непосредственно у поверхности кремния, с атомами кремния (пирогенное окисление). Время окисления в стандартных технологических процессах составляет 4 - 5 часов. Значительным достижением в совершенствовании технологии окисления кремния явилось добавление в окислительную среду в процессе окисления хлорсодержащих компонентов. Это привело к улучшению стабильности порогового напряжения полевых МДП транзисторов, увеличению напряжения пробоя диэлектриков и повышению скорости окисления кремния. Главная роль хлора в пленках двуокиси кремния (обычно с концентрацией хлора 1016- 1020 см-3) заключается в превращении случайно проникших в SiO2 примесных ионов натрия или калия в электрически неактивные. 2. Модель Дила-Гроува Методом радиоактивного маркера показано, что рост SiO2 происходит за счет диффузии кислорода к поверхности кремния.

Выход SiO2 за границы начального объема, занимаемого кремнием, обусловлен их разными плотностями. Для теоретического обоснования было предложено множество моделей, основанных на объемной диффузии заряженных частиц или нейтральных пар, а также эффектах туннелирования электронов, кинетике адсорбции, образования пространственного заряда, изменении граничных концентраций диффундирующих частиц в зависимости от толщины пленки и многих других. К сожалению, ни один из указанных механизмов не способен полностью объяснить обширный класс имеющихся к настоящему времени экспериментальных данных. Что касается получения пленок двуокиси кремния, то кинетику ее роста в широком диапазоне толщин SiO2 можно объяснить, исходя из достаточно простой модели Дила-Гроува. Процесс окисления происходит на границе Si - SiO2, поэтому молекулы окислителя диффундируют через все предварительно сформированные слои окисла и лишь затем вступают в реакцию с кремнием на его границе. Согласно закону Генри, равновесная концентрация твердой фазы прямо пропорциональна парциальному давлению газа P: C = HP, где C - максимальная концентрация окислителя в газе для данного значения давления P, H - постоянный коэффициент Генри. В неравновесном случае концентрация окислителя на поверхности твердого тела меньше, чем C . Поток F1 определяется разностью между максимальной и реальной поверхностной концентраций окислителя: F1 = h(C - C0), где C0 - поверхностная концентрация окислителя, h - коэффициент переноса. Значение концентрации окислителя C0 зависит от температуры, скорости газового потока и растворимости окислителя в SiO2. Для того чтобы определить скорость роста окисла, рассмотрим потоки окислителя в объеме окисла F2 и на его границе с кремнием F3. Согласно закону Фика, поток через объем окисла определяется градиентом концентрации окислителя: F2 = - D(dC/dz) = D(C0 - Ci)/z0, (1) где Ci - концентрация окислителя в молекулах на кубический сантиметр при z = z0, D - коэффициент диффузии при данной температуре, z0 - толщина окисла. Величина потока F3 на границе окисла с полупроводником зависит от постоянной K скорости поверхностной реакции и определяется как: F3= kCi (2) При стационарных условиях эти потоки равны, так что F3 = F2 = F1 = F. Следовательно, приравняв соотношения (1) и (2), можно выразить величины Ci и C0 через C : (3) Для того чтобы определить скорость роста окисла, представим поток F3 как изменение числа молекул в слое dz0 за время d . Тогда уравнение потока на границе SiO2 - Si будет иметь следующий вид: (4) Скорость роста окисла определяется потоком F3 и количеством молекул окислителя i , входящих в единичный объем окисла. Поскольку концентрация молекул SiO2 в окисле равна 2.2 1022 см-3, то для получения двуокиси кремния требуется такая же концентрация молекул кислорода или в два раза большая концентрация молекул воды. Соотношение между величинами z0 и определяется интегралом вида 3. Зависимость толщины окисла от времени окисления Следовательно, для малых времен окисления толщина окисла определяется постоянной скорости поверхностной реакции K и прямо пропорциональна времени окисления (8).

Для больших времен окисления скорость роста зависит от постоянной диффузии D (9), а толщина окисла пропорциональна корню квадратному из времени процесса. На скорость окисления влияют также ориентация подложки, присутствие паров воды, наличие натрия, хлора и концентрация легирующей примеси в кремнии. На рис. 3 приведена зависимость толщины пленки SiO2 от времени окисления во влажном кислороде при парциальном давлении паров воды 85 103 Па. Для широкого класса полупроводников и металлов кинетика процесса активного окисления характеризуется в равновесии линейным законом, то в случае пассивного окисления физическая картина процесса усложняется процессом переноса реагента к реакционной поверхности раздела сквозь растущую пленку. При этом кинетика окисления может быть аппроксимирована следующими законами: линейным Х(т) = К1 т; (1) параболическим Х2(т) = К2 т; (2) кубическим Х3(т) = К3 т; (3) логарифмическим Х(т) = К4 lg(В т 1); (5) обратно логарифмическим K5/X(т) = А - lg(т) (6) Существование каждого из этих законов определяется условиями проведения процесса окисления и свойствами исходного материала. Константы К1- К5 зависят от температуры, давления реагента и природы окисляемого материала. Зависимость экспериментально наблюдаемых кинетических закономерностей от температуры процесса приведена в Таблице 1. 4. Особенности роста тонких и толстых пленок двуокиси кремния Отметим, что в микроэлектронике наиболее часто используются окислы кремния толщиной в несколько десятых долей микрона а верхний предел по толщине для обычного термического окисления составляет 1-2 мкм. В технологии СБИС используются также как более тонкие, так и более толстые пленки SiO2. Одним из приборов, в которых используются сверхтонкие слои двуокиси кремния толщиной 2 - 5 нм являются энергонезависимые элементы памяти. Обычно для этих целей применяется многослойная структура - металл - нитрид кремния - двуокись кремния - кремний (МНОП транзистор). SiO2 в данной системе позволяет произвести контролируемую инжекцию заряда в нитрид кремния при подаче высокого потенциала на затвор транзистора (цикл записи или стирания информации) и препятствует растеканию этого заряда в отсутствии потенциала на затворе (хранение информации). По мере повышения степени интеграции ИС становится необходимым получение пленок подзатворного диэлектрика с хорошо контролируемыми параметрами толщиной 20-50 нм. В ряде случаев необходимо иметь качественные пленки SiO2 толщиной 5 - 100 нм под маскирующими слоями нитрида кремния для предотвращения появления дефектов в кремниевой подложке, обусловленных наличием механических напряжений. Обычно для получения воспроизводимых по свойствам пленок в реакторах атмосферного давления подбирают соответствующие температурно-временные условия (см. рис. 4). Однако необходимо учитывать, что для пассивирования ионов натрия хлором, вводимым в пленку в процессе окисления, требуются достаточно высокие температуры окисления. Плотность окисла и концентрация дефектов в кремнии также определяются температурой. Часто применяется двухстадийный процесс сухого окисления кремния, состоящий из окисления с добавлением HCl при средних температурах (около 1000 єС), с последующей термообработкой в атмосфере O2, 2 и HCl при температуре 1150 єС.

Wanne), сосуд, содержащий жидкую среду (воду, раствор, расплав), а также аппарат, основной частью которого является такой сосуд. Различают В. нагревательные для термической обработки деталей в жидкой среде; гальванические (электролитические) для осуществления электролитических процессов (см. Электролизёры ). Термином «В.» называют также расплавленное содержимое некоторых печей (например, стекловаренных), растворы красок для тканей. В. в сантехнике см. Санитарные приборы . Ванная печь Ва'нная печь нагревательная, печь для нагрева материалов в жидкой среде. В. п. применяются в термических цехах для нагрева металлических деталей под закалку, отпуск, нормализацию, обжиг, цианирование, цементацию, а также для патентирования проволоки и ленты.   Наиболее употребительные среды: для нагрева от 700 до 1300°С — хлористые и углекислые соли, от 160 до 500°С — азотнокислые соли, до 250°С — масла; применяют также расплавленные металлы (свинец, сплавы свинца с оловом и силумин).   Преимуществом нагрева в жидких средах по сравнению с нагревом в обычных печах являются быстрота и равномерность нагрева, отсутствие окисления поверхности деталей.   В. п. подразделяются на пламенные и электрические. Пламенная В. п. (рис. 1 ) имеет тигель из жароупорной стали с толщиной стенки 15—30 мм

1. Проект термического отделения для обезуглероживающего и рекристаллизационного отжига изотропной электротехнической стали третьей группы легирования в толщине 0.5 мм в условиях ЛПЦ-5 АО НЛМК

2. Расчет распределения примесей в кремнии при кристаллизационной очистке и диффузионном легировании

3. Анализ зависимости между уровня комплемента в крови больных системной красной волчанкой и степенью тяжести поражения почек

4. Роль микроэлементов в обменных процессах растений и на накоплении ими биологически активных веществ (Реферат (обзор литературы) () WinWord 97)

5. Некоторые аспекты отравлений азотной кислотой и окислами азота при химических авариях

6. Экономическая сказка-реферат "НДС - вражья морда" или просто "Сказка про НДС"
7. Сравнительные степени прилагательных и наречий (Comparison) Модальные глаголы (Modal Verbs) Цепочки существительных (Атрибутивная, номинативная группа) (Chains of nouns)
8. Зависимость свободы героя от его привязанности: к миру, к месту, к вещам - в произведениях Сергея Довлатова и Венедикта Ерофеева

9. Реферат по научной монографии А.Н. Троицкого «Александр I и Наполеон» Москва, «Высшая школа»1994 г.

10. Корень n-ой степени и его свойства. Иррациональные уравнения. Степень с рациональными показателем

11. Сравнения высших степеней(Конгруенції вищих степенів )

12. Зависимость количества лейкоцитов в крови человека от уровня радиации

13. Наркомания в молодежной среде: история, причины, характеристика, физическая зависимость, лечение

14. История болезни по педиатрии - Железодефецитная анемия тяжелой степени

15. Железодефицитная анемия тяжелой степени (история болезни)

16. Зависимость количества лейкоцитов в крови человека от уровня радиации

Пакеты фасовочные в пластах, 18(+8)x35 см (1000 штук).
Область применения: расфасовка, упаковка продуктов питания и товаров народного потребления как на производстве, так и в быту. Размер:
573 руб
Раздел: Пакеты для продуктов
Беговел Tech Team "Big 10", цвет: серый (2018 г).
Детский беговел с платформой и надувными колесами. Ориентирован на малышей до 5 лет. Беговел - это маленький велосипед без педалей,
3000 руб
Раздел: Беговелы
Пирамида "Радуга", 29 см.
Пирамидка - замечательный тренажер для развития мелкой моторики и координации движений. Играя, ребенок знакомится с разными цветами,
320 руб
Раздел: Пластиковые

17. Время приема лекарств в зависимости от приёма пищи

18. Пищевая токсикоинфекция средней степени тяжести

19. Атопическая персистирующая бронхиальная астма средней степени тяжести

20. ОЦЕНКА ЭКОЛОГИЧЕСКОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ НА КАЧЕСТВО ВОДНЫХ РЕСУРСОВ КАЛИНИНГРАДСКОЙ ОБЛАСТИ, В ЗАВИСИМОСТИ ОТ ХАРАКТЕРА ЗАГРЯЗНЕНИЯ (MS Works, ТХТ)

21. Зависимость интенсивности дыхания растительных продуктов от температуры

22. Влияние степени пластической деформации на свойства холоднодеформированной арматуры
23. Кремний, полученный с использованием "геттерирования" расплава
24. Интернет-зависимость и ее психологическая характеристика

25. Несколько рефератов по Исламу

26. Определение времени жизни носителей в высокоомном кремнии. Влияние времени жизни на параметры высоковольтных приборов на кремнии

27. Виды оздоровительной физической культуры (по степени влияния на организм)

28. Реферат по статье П. Вайнгартнера «Сходство и различие между научной и религиозной верой»

29. Зависимость национального дохода от капитальных затрат. Модель Леонтьева

30. Исследование зависимости конкурентоспособности автоуслуг от стратегии ценообразования

31. Реферат по информационным системам управления

32. Генезис капитализма в Мексике. Реферат по истории экономики

Лестница-стремянка, 2 ступени, стальная.
Нескользящие пластиковые коврики. Размер ступеньки: 30x20 см. Материал: сталь. Высота на уровне верхней ступени: 44,5 см. Количество ступеней: 2.
981 руб
Раздел: Лестницы
Дневник школьный "Герб".
Формат: А5. Количество листов: 48. Внутренний блок: офсет 70 г/м2, печать в 1 краску. Тип крепления: книжное (прошивка). Твердый переплет
338 руб
Раздел: Для младших классов
Велосипед трехколесный Moby Kids "Comfort. EVA", цвет: синий.
Детский трёхколёсный велосипед Moby Kids "Comfort 10х8 EVA". В данной модели предусмотрены дополнительные функции и аксессуары,
4216 руб
Раздел: Трехколесные

33. Нормы и степень эксплуатации труда сельскохозяйственных рабов в Италии II в. до н.э. – I в. н.э.

34. Реферат по книге Н. Цеда Дух самурая - дух Японии

35. Роман "Евгений Онегин" -"энциклопедия русской жизни и в высшей степени народное произведение"

36. Зависимость свободы героя от его привязанности: к миру, к месту, к вещам - в произведениях С.Довлатова и Вен. Ерофеева

37. Обзорный реферат по творчеству Ф.И. Тютчева

38. Степени ума
39. Сравнения высших степеней
40. Интегрирование линейного дифференциального уравнения с помощью степенных рядов

41. Гистерезис полевой зависимости сигнала электрооптического светорассеяния в аэрозолях

42. Кремний

43. Оценка степени боли у детей

44. История болезни - терапия (гипертоническая болезнь II степени)

45. Реферат - Физиология (Транспорт веществ через биологические мембраны)

46. Способы борьбы с наркотической зависимостью

47. История болезни - терапия (гипертоническая болезнь II степени)

48. К вопросу о зависимости к бензодиазепинам

Набор карандашей чернографитных "1500", 24 штуки, заточенные, металлический пенал.
Карандаш Koh-I-Noor с обозначением "1500" — это самый известный графитный карандаш в мире. Профессиональные, высококачественные
662 руб
Раздел: Чернографитные
Настольная игра "Гонки ежиков".
Топот ножек и азартное сопение целый день не утихают на лесной полянке. В этой игре для всей семьи игроки управляют ёжиками с помощью
605 руб
Раздел: Классические игры
Набор "Леди Баг и Супер Кот" Дизайн 2, 3 предмета (в подарочной упаковке).
Набор из трех предметов (кружка, салатник, тарелка) в подарочной упаковке с изображением героини из мультсериала "Леди Баг и Супер
454 руб
Раздел: Наборы для кормления

49. Реферат по менеджменту

50. Контактное окисление диоксида серы

51. Зависимость интенсивности дыхания растительных продуктов от температуры

52. От зависимости - к духовной свободе

53. Честность - это фундамент выздоровления от алкогольной зависимости

54. Интернет-зависимость - новая форма аддиктивного поведения у подростков
55. Компьютерная зависимость
56. Внеклассная работа и степень ее влияния на развитие социальных качеств личности

57. Влияние ролевых компьютерных игр на формирование психологической зависимости человека от компьютера

58. Стабильность брака в семьях с разной степенью сплоченности

59. Различия осознаваемых мотивов у подростков с разной степенью компьютерной ориентированности

60. Интернет-зависимость и независимость

61. Cоциально-психологические аспекты интернет-зависимости

62. Зависимость от виртуальной реальности компьютера - новый вид зависимого поведения

63. Реферат монографии А.А. Смирнова Проблемы психологии памяти

64. Зависимость формирования познавательной потребности от удовлетворения социальных потребностей учащихся и их влияние на успешность овладения иностранным языком

Настольная игра "Собери урожай".
Игра на развитие познавательных способностей, зрительно-моторной координации движений. Познакомит с ролевой игрой и укрепит социальное
631 руб
Раздел: Классические игры
Корзина "Плетенка" с крышкой, 35х29х22,5 см (коричневая).
Материал: пластик. Ширина: 29 см. Длина: 35 см. Высота: 22,5 см. Цвет: коричневый.
340 руб
Раздел: Корзины для стеллажей
Этикетки самоклеящиеся "ProMEGA Label", А4, 1 штука, 25 листов, белые.
Этикетки самоклеящиеся для печати на лазерных, струйных принтерах и копировальных аппаратах. При хранении листы с этикетками не слипаются
330 руб
Раздел: Бейджи, держатели, этикетки

65. Как дети попадают в зависимость

66. Психология и клиника наркологической зависимости

67. Ученые степени и звания: кто есть кто

68. Один разговор по поводу игровой зависимости

69. Психология и клиника наркологической зависимости. Современные подходы к реабилитации наркоманов

70. Определение функций электрической цепи и расчет их частотных зависимостей
71. Сборник рефератов о конфликтах
72. Легированные стали

73. Реферат по экскурсоведению

74. Исследование зависимостей между механическими характеристиками материалов

75. Физические упражнения при миопии средней степени

76. Современный взгляд на проблему морфобиомеханических состояний мышц в зависимости от их силовой динамики

77. Реферат по статье Гадамера Неспособность к разговору

78. Определение степени минерализации воды в реках г. Уссурийска

79. Кремний, полученный с использованием "геттерирования" расплава

80. Различные оценки степени загрязнения водоемов

Доска магнитная для рисования, со штампиками.
Магнитная доска предназначена для рисования; у доски стирающееся поле для создания рисунков при помощи специального маркера. На
347 руб
Раздел: Магнитные доски
Уничтожь меня! Уникальный блокнот для творческих людей. Смит К.
Перед вами книга-сенсация, проданная миллионными тиражами по всему миру. Поздравляем, теперь и вы сможете приобщиться к разрушительному
336 руб
Раздел: Блокноты оригинальные, шуточные
Лоток вертикальный, 3 отделения, черный.
Ширину секций данного лотка можно регулировать. Секции маркируются сменной линованной табличкой. Количество секций: 3. Ширина: 230 мм. Цвет: черный.
301 руб
Раздел: Подставки, лотки для бумаг, футляры

81. Зависимость граничной цены от величины дохода

82. Как уменьшить степень риска

83. Изменение себестоимости продукции в зависимости от действия различных факторов производства

84. Реферат Евро

85. Зависимость объема потребления от величины дохода

86. Применимость методов оценки различных видов имущества в зависимости от достоверности получаемых результатов
87. Реферат о прочитаной на немецком языке литературы
88. Исследование статистических зависимостей для контактных систем типа W UMa

89. Лесные пожары - реферат

90. Биологическое окисление

91. Каучуки и кремний органические соединения

92. Реферат о США

93. Изменение химического состава подземных вод в ограниченных карбонатных структурах при окислении пирита покровных отложений

94. Анализ зависимости параметров литологического и химического состава каменноугольных отложений

95. Зависимость инвестиций и качества жизни населения

96. Степени сравнения прилагательных в латинском языке

Подгузники Merries для новорожденных, 0-5 кг, 24 штуки.
Изготовлены из чистого хлопка, гладкого как шёлк и очень мягкого на ощупь. Благодаря мягкой пористой текстуре воздух проникает к коже.
347 руб
Раздел: 0-5 кг
Шторка антимоскитная, бежевая.
Размеры: 100х220 см. Препятствует проникновению насекомых. Не нарушает естественную циркуляцию воздуха. Подходит для любых типов дверных
352 руб
Раздел: Сетки противомоскитные
Трос буксировочный "Stels", 10 тонн, 2 крюка (сумка на молнии).
Тросы буксировочные изготовлены из морозоустойчивого авиационного капрона. Не подвержены воздействию окружающей среды (резкому изменению
388 руб
Раздел: Буксировочные тросы

97. Варианты алгоритма возведения в степень: повышение точности и ускорение

98. Выращивание профильных монокристаллов кремния методом Степанова

99. Математическое и компьютерное моделирование продуктивности растений в зависимости от динамики влажности почвы

100. Свойства силиката магния с примесью хрома в пористом кремнии


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.