Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
Библиотека Рефераты Курсовые Дипломы Поиск
сделать стартовой добавить в избранное
Кефирный гриб на сайте www.za4et.net.ru

Химия Химия

Химические способы очистки поверхностей полупроводниковых пластин

Наклейки для поощрения "Смайлики 2".
Набор для поощрения на самоклеящейся бумаге. Формат 95х160 мм.
19 руб
Раздел: Наклейки для оценивания, поощрения
Забавная пачка "5000 дублей".
Юмор – настоящее богатство! Купюры в пачке выглядят совсем как настоящие, к тому же и банковской лентой перехвачены... Но вглядитесь
60 руб
Раздел: Прочее
Ручка "Шприц", желтая.
Необычная ручка в виде шприца. Состоит из пластикового корпуса с нанесением мерной шкалы. Внутри находится жидкость желтого цвета,
31 руб
Раздел: Оригинальные ручки

Содержание 1.Введение 2.Подложки интегральных микросхем и их назначение 2.1.Назначение подложек 2.2.Кремний - основной материал полупроводникового производства 3.Виды загрязнений поверхности подложек и пластин 3.1.Возникновение загрязнений 3.2.Источники загрязнений 3.3.Виды загрязнений 4.Методы удаления загрязнений 4.1.Классификация методов очистки пластин и подложек 4.2.Способы жидкостной обработки пластин и подложек 4.2.1.Обезжиривание 4.2.2.Травление 4.2.3.Промывание пластин и подложек 4.2.4.Интенсификация процессов очистки 4.3.Способы сухой очистки пластин и подложек 4.3.1.Термообработка 4.3.2.Газовое травление 4.3.3.Ионное травление 4.3.4.Плазмохимическое травление 4.4.Типовые процессы очистки пластин и подложек 5.Заключение 6.Список литературы 1. Введение Современный этап развития радиоэлектроники характеризуется широким применением интегральных микросхем (ИМС) во всех радиотехнических системах и аппаратуре. Это связано со значительным усложнением требований и задач, решаемых радиоэлектронной аппаратурой, что привело к росту числа элементов в ней. За каждое десятилетие число элементов в аппаратуре увеличивается в 5-20 раз. Разрабатываемые сейчас сложные комплексы аппаратуры и системы содержат миллионы и десятки миллионов элементов. В этих условиях исключительно важное значение приобретают проблемы повышения надежности аппаратуры и ее элементов, микроминиатюризации электро-радиокомпонентов и комплексной миниатюризации аппаратуры. Все эти проблемы успешно решает микроэлектроника. Интегральная и функциональная микроэлектроника являются фундаментальной базой развития всех современных систем радиоэлектронной аппаратуры. Они позволяют создавать новый вид аппаратуры - интегральные радиоэлектронные устройства. Микроэлектроника - одно из магистральных направлений в радиоэлектронике, и уровень ее развития в значительной степени определяет уровень научно-технического прогресса страны. Применяют два основных метода изготовления ИМС - полупроводниковый и пленочный. Первый метод заключается в локальной обработке микроучастков полупроводникового кристалла и придании им свойств, присущих функциям отдельных элементов и их соединений (полупроводниковые интегральные микросхемы). Второй метод основан на использовании послойного нанесения тонких пленок различных материалов на общее основание (подложку) при одновременном формировании на них схемных элементов и их соединений (пленочные интегральные микросхемы). В обоих случаях важное значение имеет качество обработки поверхности полупроводниковых пластин и подложек. Подложка - заготовка, предназначенная для нанесения на нее элементов гибридных и пленочных ИМС, межэлементных и (или) межкомпонентных соединений, а также контактных площадок. 2. Подложки интегральных микросхем и их назначение. Подложки в технологии изготовления и конструировании пленочных и гибридных ИМС в микросборках играют очень важную роль. Подложки являются основанием для группового формирования на них ИМС, главным элементом конструкции ИМС и микросборок, выполняющим роль механической опоры, обеспечивают теплоотвод и электрическую изоляцию элементов.

2.1. Назначение подложек. В технике ИМС подложки выполняют две функции: а) являются основанием, на поверхности или в приповерхностном слое которого по заданному топологическому рисунку формируют структуры ИМС; б) являются элементом конструкции, обеспечивающим практическое применение ИМС в корпусном или бескорпусном исполнении. Подложки классифицируют как по структурным признакам, так и по назначению. По структурным признакам подложки подразделяют на аморфные, поликристаллические и монокристалличёские, а по назначению - на подложки для полупроводниковых, пленочных, гибридных ИМС и микросборок. Для изготовления полупроводниковых ИМС применяют в основном полупроводниковые монокристаллические подложки (полупроводниковые пластины), а для пленочных и гибридных ИМС - аморфные поликристаллические (диэлектрические) подложки. Полупроводниковая пластина - заготовка из полупроводникового материала, используемая для изготовления полупроводниковых ИМС. В отдельных случаях при изготовлении полупроводниковых ИМС используют диэлектрические подложки, а при изготовлении гибридных ИМС и микросборок - металлические подложки. К конструкции и материалу подложек предъявляется ряд требований, вытекающих из необходимости воспроизведения и обеспечения заданных электрических параметров элементов и ИМС, их надежности в самых различных условиях эксплуатации, и обусловленных также особенностями технологии изготовления и сборки ИМС. Монокристаллические пластины из разных полупроводниковых материалов составляют основу для изготовления полупроводниковых ИМС различного конструктивно-технологического исполнения и функционального назначения. Пригодность полупроводникового материала для использования в интегральных микросхемах определяется в основном параметрами, зависящими от его физических свойств: оптических, термических, термоэлектрических, зонной структуры, ширины запрещенной зоны, положения в ней примесных уровней и др. Очень важны электрические свойства полупроводникового материала: тип электропроводности, концентрация носителей заряда, их подвижность, удельное сопротивление, время жизни неосновных носителей заряда и их диффузионная длина - существенно зависящие от технологии получения полупроводника. 2.2. Кремний - основной материал полупроводникового производства. В настоящее время из всех полупроводниковых материалов наибольшее применение для изготовления полупроводниковых ИМС получил кремний. Кремний - элемент IV группы Периодической системы элементов Д.И.Менделеева, один из самых распространенных элементов на Земле, содержание его в земной коре составляет 29,5%. В природе кремний встречается только в соединениях в виде окисла и в солях кремниевых кислот. Чистота природной окиси кремния в виде монокристаллов кварца иногда достигает 99,99%; в ряде месторождений чистота песка составляет 99,8-99,9%. Технический кремний, получаемый восстановлением двуокиси кремния SiO2 в электрической дуге между графитовыми электродами, содержит около 1% примесей и как полупроводник не может быть использован; он является исходным сырьем для получения кремния полупроводниковой чистоты, примесей в котором должно быть менее .

Разработана промышленная технология, позволяющая получать особо чистый кремний с содержанием примесей Более широкое применение кремния обусловлено преимуществом его физических и технологических свойств по сравнению с другими полупроводниками (в частности, с германием). Для изготовления полупроводниковых приборов и ИМС используют выпускаемые промышленностью пластины кремния четырех видов: 1) Однослойные p- и - типов; 2) Двухслойные р- или - типа с эпитаксиальным -слоем, покрытые оксидом либо нитридом кремния; 3) Двухслойные р-типа с эпитаксиальным - слоем и скрытым - слоем; 4) Гетероэпитаксиальные структуры типа кремний на сапфире. Однослойные пластины кремния р- и -типов получают резкой слитков монокристаллического кремния диаметром 50-150 мм на пластины толщиной 0,25-0,4 мм. Промышленностью выпускаются слитки монокристаллического кремния, которые в зависимости от типа электропроводности и значения удельного сопротивления подразделяются на пять групп. Подготовка пластин, получаемых из слитков монокристаллического кремния, является одним из важнейших этапов производства ИМС и включает в себя следующие операции: ориентацию слитков по кристаллографическим осям, резку слитков на пластины, шлифование, полирование, травление и очистку поверхностей от загрязнений различных типов, приобретённых на предыдущих этапах обработки. 3. Виды загрязнений поверхности подложек и пластин. 3.1. Возникновение загрязнений. Электрические характеристики ИМС и их надежность во многом обусловливаются степенью совершенства кристаллической решетки и чистотой обрабатываемой поверхности пластин и подложек. Поэтому обязательным условием получения бездефектных полупроводниковых и пленочных структур является отсутствие на поверхности пластин и подложек нарушенного слоя и каких-либо загрязнений. Как известно, нарушенный приповерхностный слой полупроводниковых пластин является следствием их механической обработки. Используемые при подготовке пластин методы шлифования, полирования и травления позволяют удалить нарушенный слой (рис. 1). Рис. 1. Изменение толщины нарушенного слоя при механической обработке монокристаллических полупроводниковых пластин: 1) после резки; 2) после шлифования; 3)после полирования; 4) после травления. Однако атомы материала пластины (подложки), расположенные на ее поверхности, имеют намного больше ненасыщенных связей, чем атомы в объеме. Этим объясняются высокие адсорбционные свойства и химическая активность поверхности пластин. В условиях производства ИМС пластины и подложки соприкасаются с различными средами, и полностью защитить их от адсорбции различного рода примесей невозможно. В то же время получить идеально чистую поверхность (без посторонних примесей) тоже практически невозможно. Поэтому применяемое в технике понятие «чистая поверхность» имеет относительный характер. Технологически чистой считают поверхность, которая имеет концентрацию примесей, не препятствующую воспроизводимому получению заданных значений и стабильности параметров ИМС. Допустимая концентрация примесей на поверхности пластин зависит от сложности ИМС и способа ее формирования, в худшем случае она не должна превышать .

Доставленный из космоса образец фосфатного стекла частично состоит из зон с газовыми включениями, а частично из зоны однородного материала. У полученного сплава алюминийстекло отмечены полупроводниковые свойства. Медико-биологические препараты Одна из важных задач, связанных с производством медико-биологических препаратов (вакцин, ферментов, гормонов и т.Pп.), состоит в их очистке. Известно, например, что повышение чистоты используемых вакцин уменьшает при их употреблении вероятность проявления вредных побочных эффектов, а это, в свою очередь, позволяет повысить дозировку и поднять эффективность лечебного препарата. Один из наиболее распространенных способов очистки и разделения клеточного биологического материала основан на использовании электрофореза. Это явление наблюдается в дисперсных системах, т.Pе. таких системах, которые состоят из двух или большего числа фаз с сильно развитой поверхностью раздела между ними, причем одна из фаз (дисперсная фаза) распределена в виде мелких частиц капелек, пузырьков и т.Pп.P в другой фазе (дисперсионная среда)

1. Принцип межпредметных связей при решении химических задач. Разбор основных способов решения расчетных задач

2. Полупроводниковые пластины и их параметры. Подготовка, разрезание полупроводникового слитка на пластины и обработка

3. Способы защиты населения при радиоактивном и химическом заражении местности

4. Обзор методов и способов измерения физико-механических параметров рыбы

5. Модельно-целевой способ построения спортивной подготовки высококвалифицированных спортсменов

6. Изучение и разработка способа очистки стоков от ионов тяжёлых металлов
7. Бытовые способы очистки воды
8. Способы объединения придаточных в сложноподчиненном предложении: практикум для подготовки к части В единого экзамена

9. Этапы развития жизни на Земле по эрам и периодам. Химический способ распознавания минералов

10. Нанесение и получение металлических покрытий химическим способом

11. Подготовка воды для производственных процессов. Изложение способов водоподготовки на предприятии

12. Солнечные пятна, динамика и механизм их образования, способы их учета в экологии и астрофизике

13. Поражающие факторы ядерного оружия и способы защиты от него

14. Способы эксплуатации нефтяных и газовых скважин в Украине

15. Вещно-правовые способы защиты права собственности

16. Залог - как способ обеспечения исполнения обязательств

Светильник настольный Лючия "Верона", 552, 60 Вт, Е14 (бежево-серый).
Светильник данного типа используется для освещения прикроватного пространства, журнального столика, подоконника или рабочего стола. Патрон
556 руб
Раздел: Декоративные
Рюкзачок "Олень".
Это очаровательный и очень милый детский аксессуар. Он отлично подойдет для маленьких путешественников и путешественниц. В него можно
706 руб
Раздел: Детские
Шкатулка, 30x23.5x16 см (арт. 3668-RT-43).
Шкатулки — стильный аксессуар и для рукодельницы, и для филателиста, и для всех, кому приходится на время прятать используемые в хобби
1324 руб
Раздел: Шкатулки для рукоделия

17. Гражданско-правовые способы защиты права собственности и ограниченных вещных прав

18. Ипотечное жилищное кредитование как способ улучшения жилищных условий

19. Способы формирования муниципальной собственности: правовое регулирование и сравнительный анализ

20. Пробелы в праве и способы их устранения

21. Функционально-направленное обучение грамматике АЯ как эффективный способ формирования коммуникативной компетенции

22. Монтаж как выразительное средство. Внутрикадровый монтаж. Монтаж как способ режиссёрского мышления
23. Способы выравнивания когнитивного диссонанса в переводе поэтических произведений (на материале сонетов Шекспира)
24. Археология, как способ познания мира на примере городища Аркаим

25. Теорема Пифагора и способы ее доказательства

26. Несколько способов решения одной геометрической задачи

27. Открытые способы лечения перитонита

28. Риформинг как способ получения бензинов с улучшенными характеристиками

29. Функционально-направленное обучение грамматике АЯ как эффективный способ формирования коммуникативной компетенции

30. Особенности производственной программы, способов и режимов тепловой обработки, технологии приготовления блюд ресторана с немецкой кухней

31. Политическое отчуждение личности и способы его преодоления

32. Виды дугогосящих устройств, классификация их по способу воздействия на дугу

Накладка на унитаз "Бегемотик", белая.
Накладка на унитаз подходит ко всем стандартным туалетам. Кроме того, благодаря краям предотвращающим скольжение легко и твердо
302 руб
Раздел: Сиденья
Фоторамка-коллаж для 12 фото, 58x45x2 см, арт. 238642.
Фоторамка украсит интерьер помещения оригинальным образом и позволит сохранить на память изображения дорогих вам людей и интересных
1460 руб
Раздел: Мультирамки
Набор для специй "Садовая ягода", 2 предмета+салфетница, 23x6,5x9 см.
Набор для специй из 2 предметов и салфетницы на деревянной подставке. Размер: 23x6,5x9 см. Материал: керамика.
318 руб
Раздел: Прочее

33. Производство портландцемента мокрым способом

34. Нефть: происхождение, состав, методы и способы переработки

35. Способы разрешения конфликта

36. Способы эффективного общения

37. Характер и способы его воспитания

38. Способ определения живучести связи (вероятности связности)
39. СПОСОБЫ СОДЕРЖАНИЯ КРУПНОГО РОГАТОГО СКОТА
40. Социально-экономические проблемы НТР и способы их решения

41. Традиционные и нетрадиционные способы закаливания детей до 3- х лет

42. Техника плавания способом кроль на груди

43. Методика обучения технике прыжка в высоту с разбега способом "Фосбери – флоп" детей 13-15 лет на этапе начальной спортивной специализации

44. Производство серной кислоты нитрозным способом

45. Производство серной кислоты контактным способом

46. Портланцемент. Сухой способ производства

47. Исследование способов введения белковых компонентов в синтетический полиизопрен

48. Кредитний ризик комерційного банку та способи його мінімізації

Фломастеры-аэрозоль "Blowpens", 10 цветов.
Фломастеры-аэрозоль являются большим развлечением и забавой для самых маленьких. Развивают детское воображение и творческие способности.
447 руб
Раздел: 7-12 цветов
Мягкий пол универсальный, коричневый, 33x33 см (9 деталей).
Данный вид напольного покрытия прекрасно совмещается с ковриками-пазлами "Морские животные", "Листья" и
754 руб
Раздел: Прочие
Светильник "Лампочка на веревке", синий.
Оригинальный пластиковый светодиодный светильник на шнурке длиной 116 - 125 см. Достаточно дёрнуть за лампочку, чтобы включить либо
343 руб
Раздел: Необычные светильники

49. Балансовый способ в анализе хозяйственной деятельности

50. Депозитарные расписки как способ привлечения инвестиций в российские корпорации

51. Способы оценки эффективности управления

52. Предпринимательский риск виды риска, оценка фактов и способы его минимизации

53. Финансовые риски и способы их снижения

54. Способы акционирования и приватизации
55. Черты кризиса рабского способа производства в сельском хозяйстве Италии в I в. н.э.
56. Методи та способи підключення до мережі Internet

57. Особенности производственной программы, способов и режимов тепловой обработки, технологии приготовления блюд

58. Субкультуры как способ межличностной и межкультурной коммуникации

59. Типы односоставного предложения. Способы выражения главных членов в односоставных предложениях

60. Способы образования самостоятельных частей речи

61. Морфологические способы словообразования

62. Религия как способ разрешения нравственных проблем (По роману Достоевского "Преступление и наказание")

63. Авторская позиция в романе И. Бабеля "Конармия" и способы ее выражения

64. Уравнения и способы их решения

Каска "Шеф".
Пластиковая каска с надписью «ШЕФ» - забавный подарок для руководителей любого ранга. Каска имеет внутренний амортизатор и форму, в
577 руб
Раздел: Прочее
Щётка-сметка автомобильная для снега, телескопическая, поворотная, со скребком, 810-1060 мм.
Щетка автомобильная для снега со скребком предназначена для очистки кузова и стекол автомобиля от снега и льда. Автомобильные щетки для
586 руб
Раздел: Автомобильные щетки, скребки
Рюкзак школьный "Multi Pack. Graphic", 40x18x29,5 см.
Вместительный и удобный школьный рюкзак, отличающийся небольшим весом и наличием твердой спинки. Благодаря прочной каркасной конструкции
3707 руб
Раздел: Без наполнения

65. Способ доказательства теоремы Ферма в общем виде с помощью методов элементарной математики

66. Современные взгляды хирургов на выбор оптимального способа хирургического вмешательства при перфоративной язве

67. Умственная деятельность и способы развития

68. Оценка финансового состояния предприятия и основные способы его оздоровления

69. Разработка способов изменения организационной культуры

70. Тайм менеджмент: способы эффективного использования рабочего времени
71. Товарный знак как способ защиты прав, торговая марка как средство продвижения
72. Конструирование психосемантических полей как способ выявления ключей для выбора оптимального названия

73. Способы предоставления налоговых льгот

74. Привычный способ восприятия времени - причина войн на планете

75. О возможном способе возникновения сил природы и их связи между собой

76. Внутренняя структура протона и новый способ получения энергии

77. О понятии интеллектуального потенциала и способах его измерения

78. Биологические ритмы как способ существования живой материи

79. Принцип динамичесого баланса - философская основа мировоззрения, способ повышения эффективности научных исследований

80. Творческое мышление: причины возникновения и способы достижения

Маркер выделитель текста Edding "E-345/6S", 6 цветов 1-5 мм.
Для выделения слов или текста в книгах, брошюрах, письмах и т.п. Практически для любой бумаги для копирования и факсов. Высокая
361 руб
Раздел: Текстовыделители
Кружка-хамелеон "Чеширский кот".
Вам нравятся необычные вещи? Любите удивляться и удивлять всех вокруг? Кружка-хамелеон "Чеширский кот" будет поднимать
304 руб
Раздел: Кружки
Насос ножной Phantom.
Количество цилиндров: 2. Суммарный рабочий объем цилиндров: 0,55 литра. Длина шланга: 0,55 м.
698 руб
Раздел: Насосы, компрессоры автомобильные

81. Моделирование экологических проблем и способов их решений на уроках химии

82. Проблемы наркомании среди молодежи и способы ее профилактики

83. Банкротство - эффективный способ возврата кредита

84. Вещно-правовые способы защиты прав собственности

85. Типичные способы мошенничества в сфере обращения ценных бумаг

86. Вещно-правовые способы в системе защиты гражданских прав
87. Поручительство как способ обеспечения исполнения обязательств
88. Денежное обязательство и способы его исполнения

89. Восстановительные процедуры - способ предотвращения банкротства

90. Понятие банковской гарантии и поручительства как способов обеспечения обязательства

91. Нематериальные блага и способы их защиты

92. Реорганизация, как способ прекращения юридического лица

93. Технико-экономическая характеристика отдельных способов производства стали

94. Cюжеты восприятия - как способ генерирования осознанных сновидений

95. Страх смерти: культуральные источники и способы

96. Инновационная война как способ оптимизации эволюции логико - математических систем

Подставка для бумаг вертикальная "Techno" (классическая).
Классическая вертикальная подставка для бумаг - незаменимый атрибут рабочего стола. Подставка выполнена из высококачественного серого
314 руб
Раздел: Подставки, лотки для бумаг, футляры
Магнитные Пифагорики №1.
«Магнитные пифагорики 3+» - первая ступень обучающего комплекса игр «Пифагорики» для детей старше трех лет. Игровой комплекс построен на
509 руб
Раздел: Игры на магнитах
Противомоскитная сетка, 100х220 см, бежевая.
Материал изготовления: полиэстер 100%, плотность 58 гр/кв. метр. В комплект входят кнопки и двусторонний скотч для крепления к дверному
425 руб
Раздел: Сетки противомоскитные

97. Целеполагание в системе способов трудовой мотивации

98. Способы представления рекламной продукции

99. Стресс, способы его преодоления и предотвращения


Поиск Рефератов на сайте za4eti.ru Вы студент, и у Вас нет времени на выполнение письменных работ (рефератов, курсовых и дипломов)? Мы сможем Вам в этом помочь. Возможно, Вам подойдет что-то из ПЕРЕЧНЯ ПРЕДМЕТОВ И ДИСЦИПЛИН, ПО КОТОРЫМ ВЫПОЛНЯЮТСЯ РЕФЕРАТЫ, КУРСОВЫЕ И ДИПЛОМНЫЕ РАБОТЫ. 
Вы можете поискать нужную Вам работу в КОЛЛЕКЦИИ ГОТОВЫХ РЕФЕРАТОВ, КУРСОВЫХ И ДИПЛОМНЫХ РАБОТ, выполненных преподавателями московских ВУЗов за период более чем 10-летней работы. Эти работы Вы можете бесплатно СКАЧАТЬ.